1、23H1业绩回顾：前道设备盈利能力提升，后道设备业绩阶段承压
　　半导体设备分为晶圆制造环节（前道）和封测环节（后道）。我们选取11家主要半导体前道设备公司北方华创、中微公司、拓荆科技、微导纳米、盛美上海、芯源微、华海清科、至纯科技、精测电子、万业企业、中科飞测，4家半导体封测设备公司华峰测控、长川科技、联动科技、金海通，分别代表前道设备和后道设备板块。
　　前道设备：盈利能力提升，合同负债维持高位。2023H1板块营收192亿元，同比+49%，归母净利润42亿元，同比+124%，板块平均毛利率为46%，同比+0.3pct；板块平均扣非归母净利率为12%，同比+9.1pct，盈利能力提升。23Q2单季度，板块营收104.6亿，同比+41%，环比+19%；归母净利润27亿，同比+97%，环比+83%；毛利率44.7%，环比-2.4pct；扣非归母净利率12.2%，环比+1.7pct。从前瞻指标来看，2023Q2末合同负债180亿元，环比+7%，存货390亿元，环比+11%。板块盈利能力提升，合同负债及存货维持高位，后续业绩增长可期。
　　后道设备：周期下行业绩承压，静待下游需求回升。2023H1板块营收14亿元，同比-32%，归母净利润2亿元，同比-63%，板块平均毛利率为61%，同比-4pct；板块平均扣非归母净利率为17%，同比-18.6pct，盈利能力下滑。23Q2单季度，板块营收7.8亿，同比-33%，环比+17%，归母净利润2亿，同比-53%，环比+285%；毛利率60.1%，环比-1.5pct；扣非归母净利率19.8%，环比+7.9pct。从前瞻指标来看，2023Q2末合同负债1.1亿元，环比10%，存货25亿元，环比+5%，板块盈利能力边际改善，静待下游需求修复。
　　2、板块展望：资本开支逐步提速，国产化率加速推进，政策支持预期加强。
　　驱动一：半导体周期复苏+光刻机交付，国内资本开支有望提速。2024年全球半导体行业有望迎来周期复苏，半导体资本开支有望迎来上行周期，SEMI预计2024年全球半导体设备销售额回升至1000亿美元。23Q2阿斯麦向中国大陆出货量大幅提升，先进光刻机付运延期至年底缓解扩产压力。中芯稼动率环比回升，国内头部Fab厂扩产提速。
　　驱动二：外部管制落地+国产设备突破，看好设备国产化加速。美日荷先进设备管制落地，对成熟制程管制担忧情绪逐步消弭。国内先进制程已实现部分工艺突破，先进制程扩产渐行渐近，设备国产化迎来加速期。
　　驱动三：政策端支持预期加强，集成电路发展需要“举国体制”。半导体自主可控已上升到国家战略高度，期待集成电路支持政策逐步落地。
　　3、投资建议：从基本面看，24年半导体行业有望迎来上行周期，随着下游稼动率回升，国内资本开支有望加速。去年10月美国半导体管制以来，前道设备在各个工艺环节验证加速，国产化率有望全面提升，带动半导体设备需求。1）前道设备：推荐低估值、订单高增长的平台型龙头北方华创，国产化率低的细分环节龙头中微公司（关注关键节点突破）、拓荆科技、微导纳米、精测电子、芯源微，关注盛美上海、华海清科、万业企业、至纯科技等。2）后道设备：推荐新产品逐步放量、绑定大客户的优质龙头，推荐华峰测控，关注长川科技。
　　4、风险提示：国产化进程低于预期风险、管制加剧风险、零部件供应风险、数据选择偏差风险。
　　

研究报告全文：证券研究报告业绩持续高增长看好资本开支国产化率政策支持三轮驱动2023年半导体设备行业半年报总结行业评级看好2023年9月21日分析师邱世梁王华君研究助理王一帆邮箱qiushiliangstockecomcnwanghuajunstockecomcn邮箱wangyifan01stockecomcn证书编号S1230520050001S1230520080005半导体设备业绩持续高增长看好资本开支国产化率政策支持三轮驱动123H1业绩回顾前道设备盈利能力提升后道设备业绩阶段承压半导体设备分为晶圆制造环节前道和封测环节后道我们选取11家主要半导体前道设备公司北方华创中微公司拓荆科技微导纳米盛美上海芯源微华海清科至纯科技精测电子万业企业中科飞测4家半导体封测设备公司华峰测控长川科技联动科技金海通分别代表前道设备和后道设备板块前道设备盈利能力提升合同负债维持高位2023H1板块营收192亿元同比49归母净利润42亿元同比124板块平均毛利率为46同比03pct板块平均扣非归母净利率为12同比91pct盈利能力提升23Q2单季度板块营收1046亿同比41环比19归母净利润27亿同比97环比83毛利率447环比-24pct扣非归母净利率122环比17pct从前瞻指标来看2023Q2末合同负债180亿元环比7存货390亿元环比11板块盈利能力提升合同负债及存货维持高位后续业绩增长可期后道设备周期下行业绩承压静待下游需求回升2023H1板块营收14亿元同比-32归母净利润952亿元同比-63板块平均毛利率为61同比-4pct板块平均扣非归母净利率为17同比-186pct盈利能力下滑23Q2单季度板块营收78亿同比-33环比17归母净利润2亿同比-53环比285毛利率601环比-15pct扣非归母净利率198环比79pct从前瞻指标来看2023Q2末合同负债11亿元环比-10存货25亿元环比5板块盈利能力边际改善静待下游需求修复添加标题2板块展望资本开支逐步提速国产化率加速推进政策支持预期加强驱动一半导体周期复苏光刻机交付国内资本开支有望提速2024年全球半导体行业有望迎来周期复苏半导体资本开支有望迎来上行周期SEMI预计2024年全球半导体设备销售额回升至1000亿美元23Q2阿斯麦向中国大陆出货量大幅提升先进光刻机付运延期至年底缓解扩产压力中芯稼动率环比回升国内头部Fab厂扩产提速驱动二外部管制落地国产设备突破看好设备国产化加速美日荷先进设备管制落地对成熟制程管制担忧情绪逐步消弭国内先进制程已实现部分工艺突破先进制程扩产渐行渐近设备国产化迎来加速期驱动三政策端支持预期加强集成电路发展需要举国体制半导体自主可控已上升到国家战略高度期待集成电路支持政策逐步落地3投资建议从基本面看24年半导体行业有望迎来上行周期随着下游稼动率回升国内资本开支有望加速去年10月美国半导体管制以来前道设备在各个工艺环节验证加速国产化率有望全面提升带动半导体设备需求1前道设备推荐低估值订单高增长的平台型龙头北方华创国产化率低的细分环节龙头中微公司关注关键节点突破拓荆科技微导纳米精测电子芯源微关注盛美上海华海清科万业企业至纯科技等2后道设备推荐新产品逐步放量绑定大客户的优质龙头推荐华峰测控关注长川科技24风险提示国产化进程低于预期风险管制加剧风险零部件供应风险数据选择偏差风险01前道设备收入利润高速增长合同负债维持高位02后道设备周期下行业绩承压目录静待下游需求回升CONTENTS03板块展望资本开支国产化率政策支持三轮驱动04投资建议及风险提示3前道设备收入利润高速增长01合同负债维持高位Partone4收入端订单兑现收入高增长上半年板块营收同比增长49选取11家半导体晶圆制造设备公司代表前道设备板块北方华创中微公司拓荆科技微导纳米盛美上海芯源微华海清科至纯科技精测电子万业企业中科飞测2023H1前道设备板块实现营业收入192亿元同比增长49受益于去年订单高增长前道设备上半年收入维持高增长分增速来看1增速高于1002023H1中科飞测收入增速为202受益于公司产品类型丰富客户群体覆盖扩大2023H1微导纳米万业企业整体收入增速分别为146134其中微导纳米半导体设备营收017亿元同比增长251万业企业半导体设备营收10亿元同比增长182增速高于502023H1拓荆科技华海清科北方华创营收增速分别为927255主要受益于国内晶圆厂持续扩产带来的需求增加在手订单充足带动销售收入放量增长2023H1前道板块营收192亿元同比492023H1前道板块各公司营收同比前道设备板块季度营收百万元及同比2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2公司名称250营收同比营收同比营收同比营收同比营收同比营收同比400006053202北方华创21365033085145687846763338718145553835000484949200中微公司949571023391071461697641223291303275035172拓荆科技1088641665846879714864022746014530000146150134微导纳米132-23-229-2995276-4330612044025000盛美上海354297421128839189568616749943492100芯源微1846232135392100488732885740727200002296530722355华海清科348193369111416665159761677618681922447381500018503228至纯科技548137572-178061231124407844369622154422005精测电子6042501-287155091042601050911000012515106440万业企业97-7769-658412590728812428265286105000中科飞测-U46-75-13741--16225520417000合计55054474194097708012226558764591045941201820192020202120222023H1营业收入百万元同比2023H1公司营收同比5资料来源Wind浙商证券研究所注公司上市前未披露的营收未纳入统计利润端规模效应显现归母净利润增速高于收入端2023H1前道设备板块实现归母净利润42亿元同比增长124利润增速高于收入增速分增速来看1增速超过2002023H1万业企业微导纳米中科飞测归母净利润增速分别为318275243均超过200且超过企业收入增速其中中科飞测微导纳米在2023Q2实现扭亏为盈2增速超过1002023H1北方华创中微公司华海清科归母净利润增速超过100北方华创23H1归母净利润同比138主要系规模效应下期间费用率大幅改善中微公司23H1归母净利润同比114主要系扣非净利润较上年同期增加以及上半年非经常性收益增加扣除非经常性损益的净利润为519亿元同比增长18华海清科23H1归母净利润同比101主要系收入高速增长3拓荆科技2023H1归母净利润增速为15主要系股份支付费用拉低整体利润增速剔除股份支付费用影响后归母净利润同比增长1294精测电子2023H1归母净利润增速为-59主要系研发投入股权激励费用及资产折旧摊销费用增加等影响2023H1前道板块归母净利润42亿元同比1242023H1前道板块公司归母净利润增速前道板块公司分季度归母净利润百万元及同比2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2公司名称归母净归母净利归母净利归母净利归母净利归母净利124400同比同比同比同比同比同比7000140利润润润润润润3186000120北方华创206183548131931168667595921871208120300275中微公司117-1535135325124377-20275135728108100243500073拓荆科技-12-15120扭亏为盈12966131114554扭亏为盈71-416360804000200微导纳米3--42-36-57125-1-14270扭亏为盈60138114盛美上海4-89232347204246228941312937309334010130009586100芯源微323983730743095713566104708820200034-815华海清科9112294222157102159217194112180910-59-2701000-20至纯科技22-7159-2181116120286318646-23U151813982277364963054230-精测电子28-561-99114218128119912-580-720-40-100万业企业27-861-9924-937142580195383296芯源微中科飞测-U-20--12-10-62--31扭亏为盈15扭亏为盈微导纳米北方华创中微公司华海清科盛美上海至纯科技拓荆科技精测电子万业企业合计500-2013906620871452294781497199273397中科飞测归母净利润百万元同比2023H1归母净利润同比增速6资料来源Wind浙商证券研究所注公司未披露的上市前归母净利润未纳入统计毛利率平均毛利率稳步增加反映行业盈利能力增加2023H1前道设备板块毛利率为455同比增长03pct量测设备毛利率略有增长其他毛利率基本稳定1平台型公司北方华创23H1毛利率424同比-40pct主要系电子元器件毛利率下滑所致2量测设备2023H1中科飞测精测电子毛利率分别为512438同比分别11pct03pct毛利率稳中有升3薄膜沉积设备2023H1拓荆科技微导纳米毛利率分别为494430同比分别2787pct4清洗设备2023H1盛美上海至纯科技毛利率分别为5235同比分别46pct-11pct5刻蚀设备2023H1中微公司毛利率为459同比05pct2023H1前道板块毛利率455同比2023H1前道板块中盛美上海中科飞测毛利率领先前道板块公司分季度毛利率03pct70公司名称2021Q12021Q22021Q32021Q42022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q248604544555251492023H1均值为455北方华创395455378367446475411435412434494646464443434395042中微公司409435433447455453458461459459443540拓荆科技3004714904234744665015064984924104144230微导纳米---3633125153904904724203922040盛美上海45739839545447246947053154649710芯源微359431375352388409401353453421380华海清科43640145647547346748148446746036至纯科技415273469375352369346352339361精测电子428414468434423449455446453419万业企业562501474627650560206563525470中科飞测----443537--553481半导体前道设备毛利率2022H1毛利率2023H1毛利率2023H1均值-U7资料来源Wind浙商证券研究所注板块整体毛利率计算使用板块公司平均值扣非归母净利率整体盈利能力提升各家能力分化2023H1前道设备板块扣非归母净利率为120同比91pct盈利能力提升显著分企业来看扣非归母净利率同比增幅较为分化12023H1盛美上海扣非归母净利率为252同比17pct扣非净利率在半导体前道设备中处于领先地位22023H1中科飞测微导纳米扣非归母净利率分别同比620436pct主要系去年同期基数较低32023H1北方华创华海清科扣非归母净利率分别同比7249pct盈利能力同比提升较大42023H1精测电子至纯科技拓荆科技中微公司扣非归母净利率分别同比-47-31-29-18pct2023H1前道板块扣非归母净利率同比91pct2023H1盛美上海华海清科扣非净利率领先前道板块分季度扣非归母净利率情况402525公司名称2021Q12021Q22021Q32021Q42022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2211915平均值120152012北方华创23881178073148182135138236117120232220666中微公司186914115419624919016218622315121399111080拓荆科技-416---153-201170134934976640微导纳米---102--137125-34157-45盛美上海--10118667315253234176300-20芯源微41105836417110785781981140-32华海清科117---224179294221271227-5-67-40至纯科技145710510271102110897436精测电子10410358-7037-301074101-90-10-61万业企业355255-24160255-0623930410245-6020192020202120222023H1中科飞测-2022H1扣非归母净利率2023H1扣非归母净利率--05--704-559-115--0515U2023H1均值半导体前道设备扣非归母净利率-808资料来源Wind浙商证券研究所注板块整体扣非归母净利率计算使用板块公司平均值合同负债增速略有下滑北方华创新签订单增速亮眼2023Q2末前道设备板块合同负债1796亿元较2023Q1环比增长7合同负债仍维持高位但上半年大厂扩产放缓增速略有下滑从合同负债来看2023Q2万业企业微导纳米精测电子至纯科技合同负债环比增加1046640588446北方华创盛美上海中科飞测合同负债环比增长987627华海清科拓荆科技芯源微中微公司环比下滑5178104222从新签订单来看1北方华创2023年1-5月公司新签订单同比增长30且以半导体设备订单为主2微导纳米2023H1末公司在手订单625亿元其中半导体设备在手订单55亿元预计2023年上半年新签订单约3亿元3至纯科技2023H1末公司半导体行业新签订单约24亿元含工艺介质系统4精测电子2023H1末公司半导体在手订单137亿元2023H1末半导体前道设备合同负债达1796亿元前道设备公司订单2023H1前道设备公司分季度合同负债百万元2022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q22022年半导体设22年新签2023年H1半导体签公司名称公司名称合同负债环比合同负债环比合同负债环比合同负债环比合同负债环比合同负债环比备订单情况同比单情况2000017963北方华创5090156781265121571981178229858610中微公司1500915946196924219511232061805-2215270北方华创--1-5月新签订单同比1500030拓荆科技78060108739922-151397511633171506-8中微公司新签632亿元53-微导纳米--291-440516254294852155464盛美上海44322398-10662668222494415101689615拓荆科技新签4362亿元9536-10000芯源微4342362845604-4585-3520-11466-10华海清科新签3571亿元--5060华海清科836710032010646130423133421265-5新签订单约24亿元至纯科技247344781283-37270-530312438455000至纯科技新签18亿元61含工艺介质系统精测电子78217111922633199-12217934459万业企业91548907-19757189-812071042410523Q2末在手订单0微导纳米在手订单257亿-中科飞测-U--301---485-54512559355亿2020202120222023H1合计10323712505211365791527012167931017963723Q2末在手订单精测电子在手订单891亿合同负债百万元-1365亿9资料来源Wind各公司公告浙商证券研究所存货存货水平继续增长增速略有放缓2023Q2末半导体前道设备板块存货合计达到390亿元环比增长112023Q1环比增长14分企业来看半导体前道设备企业存货普遍有所增长2023年二季度末除华海清科下滑7外其他公司存货较2022年末均为增长微导纳米拓荆科技至纯科技存货分别较2022年末增长1144339增幅在前道设备企业中领先前道设备板块存货不断增加前道设备公司存货百万元前道设备公司分季度存货百万元450002022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2390251800016728公司名称40000存货环比存货环比存货环比存货环比存货环比存货环比16000北方华创9712211071010115748130411315012151672811350003080014000中微公司2095192487193240303402537059380533000012000拓荆科技12943615632120903422971027171832882110000微导纳米--573-7623397528144848209044250008000盛美上海1728201937122308192690173156173315520000183756000芯源微108216116681287101213-614401915739380533153288华海清科167514195417225415236152305-22191-540002377219120901500015731469至纯科技12728140010160815170562068212377151100720001192997精测电子100061203201360131354-140841469410000761583670万业企业80214847692910900-3107319119211U5000-中科飞测-U--829---861-91979978芯源微合计2066012246701927413113080012352501439025110北方华创中微公司盛美上海拓荆科技至纯科技华海清科微导纳米精测电子万业企业201820192020202120222023H1中科飞测存货百万元20222023H110资料来源Wind浙商证券研究所后道设备02周期下行业绩承压静待下游需求回升Partone11收入端受周期下行影响后道设备收入下滑较大选取4家半导体封测设备公司代表后道设备板块华峰测控长川科技联动科技金海通2023H1后道板块实现营业收入14亿元同比减少3223年上半年华峰测控长川科技联动科技金海通营收分别实现38761119亿元同比-295-359-412-118受行业下行周期影响封测厂等下游客户稼动率不足资本开支放缓后道设备公司收入下滑较大2023H1后道板块营收14亿元同比-322023H1后道板块营收增速承压后道板块分季度营收百万元及增速情况50001500992022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q24000金海通华峰测控长川科技联动科技824423100公司名称-10营收同比营收同比营收同比营收同比营收同比营收同比3000454026315350-118华峰测控25912428235237-2429221200-23181-362000-20长川科技53882651725654382386320-40442-320100015881444695873-30联动科技67-127-76-1080-3743-3772-43-32-2950-50金海通106-105-----102-485-19-40-359合计97113611649887811119548664-32780-33-412-50营业收入百万元同比2023H1营收同比12资料来源Wind浙商证券研究所注公司未披露的上市前营收未纳入统计利润端盈利能力下滑呈边际修复趋势2023H1后道板块实现归母净利润25亿元同比降低63分公司看2023H1华峰测控长川科技联动科技金海通归母净利润分别实现16020204亿元同比增速分别为-404-916-751-415受需求疲软营收规模下降影响后道设备企业盈利端有所下滑1长川科技净利润下滑幅度较大主要系部分客户2022年Q4采购量提前透支导致2023H1采购量减少叠加管理研发投入加大影响2联动科技盈利下滑主要系加大海外市场开拓下销售费用增加及研发投入较多影响3华峰测控盈利下滑主要系产品结构变化导致毛利率下滑2023H1后道板块归母净利润25亿元同比-632023H1后道板块盈利均同比下滑后道设备公司分季度归母净利润百万元及同比140016220002022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q21341200公司名称归母净利归母净利150华峰测控金海通联动科技长川科技同比同比归母净利润同比归母净利润同比归母净利润同比归母净利润同比1268润润1000-20100华峰测控12235614822111-321451375-3987-428003593835长川科技71601742868010113653-57-18078-5550-40600-404联动科技22-53-27-18924-5481-9518-67-23-4150400-60金海通35-41-----32-9813-685-63401合计251252417150218-73041351-80195-53200-50198153246-800-100-751-100-9162023H1归母净利润同比增速归母净利润百万元同比13资料来源Wind浙商证券研究所注公司未披露的上市前归母净利润未纳入统计毛利率平均毛利率同比下滑部分企业同比持平2023H1后道板块平均毛利率为608同比-37pct分公司来看2023H1华峰测控长川科技联动科技金海通毛利率分别为706554666507同比分别-81-0401-72pct1华峰测控毛利率同比下滑81pct主要系产品结构变化导致毛利率下滑短期器件短缺导致成本上升以及汇率波动影响盈利能力有望逐步修复2长川科技联动科技毛利率同比基本持平3金海通毛利率同比下滑72pct主要系主要受客户产品配置变化和委外加工导致成本上升所致2023H1后道板块平均毛利率608同比2023H1后道设备板块毛利率同比后道板块公司季度毛利率情况-37pct公司名称2021Q12021Q22021Q32021Q42022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2100687062023H1平均值60865780666华峰测控80780780079880077573576269771666646554641641605076356440长川科技5405354765285315815046255605506260820联动科技--667672654671634646669665600华峰测控联动科技长川科技金海通58金海通----565593--535472201820192020202120222023H12022H1毛利率2023H1毛利率半导体后道设备毛利率2023H1均值14资料来源Wind各公司公告浙商证券研究所注板块整体毛利率计算使用板块公司平均值扣非归母净利率同比下滑186pct边际逐步修复2023H1四家半导体后道设备企业扣非归母净利率为170同比-186pct分企业来看12023H1华峰测控长川科技联动科技金海通扣非归母净利率分别为409-111161220同比分别-79-296-216-153pct2长川科技同比下滑较大主要系研发投入及职工薪酬同时增长所致联动科技盈利下滑主要系销售费用及研发投入增长所致金海通主要系研发投入较大加大市场及人员投入所致整体来看后道设备扣非归母净利率呈现边际向好趋势2023Q2华峰测控长川科技联动科技金海通扣非归母净利率环比分别为114168221-186pct后道设备整体扣非归母净利率2023Q2环比79pct2023H1后道设备板块扣非归母净利率为1702023H1华峰测控长川科技扣非归母净利率领先后道设备企业分季度扣非归母净利率情况同比-19pct60488公司名称2021Q12021Q22021Q32021Q42022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q240940338334373377平均值170华峰测控3554925624774685074434663554692704024630220185165170161长川科技144799918511624175161-209-402020100联动科技----311412350296222430华峰测控金海通联动科技长川科技金海通--------305119-20-1112022H1扣非归母净利率2023H1扣非归母净利率半导体后道设备扣非归母净利率2023H1均值15资料来源Wind浙商证券研究所注板块整体扣非归母净利率计算使用板块公司平均值合同负债存货合同负债环比下滑静待下游需求修复2023Q2末后道板块合同负债11亿元环比减少10存货248亿元环比增加5合同负债除长川科技外其他后道公司二季度环比均下滑华峰测控联动科技金海通环比分别下滑261436订单承压存货华峰测控存货环比下滑5其他公司环比增加6后道设备公司季度合同负债百万元23Q2后道合同负债11亿元环比-102502272022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2200公司名称合同负债环比合同负债环比合同负债环比合同负债环比合同负债环比合同负债环比150118110华峰测控124-4101-1886-1555-3644-2032-2610065长川科技3-7192007-265-304-171526550联动科技--56-682155-19723162-1402020202120222023H1金海通--9---4-2-421-36合同负债百万元合计127-4417538161-8118-261223110-102023Q2后道存货25亿元环比5后道设备公司季度存货百万元30002476250022322022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q22000公司名称1440存货环比存货环比存货环比存货环比存货环比存货环比1500华峰测控19852075201-3188-6173-8163-51000704544长川科技9628130135156120161531730718286500282联动科技--136-136-14361571016860201820192020202120222023H1金海通--268---285-29953176合计1160-1911651897-12232182359624765存货百万元16资料来源Wind浙商证券研究所核心驱动板块展望资本开支加速资本开支有望加速先进技术突破03政策支持强化国产化率持续推进Partone17驱动一周期复苏光刻机交付国内资本开支有望提速全球半导体周期触底预计2024年全球资本开支反弹7月全球半导体销售额降幅收窄行业有望迎来底部向上当前全球半导体处于下行周期全球半导体销售额连续11个月同比为负但降幅已逐步收窄23年7月全球半导体销售额432亿美元同比下降12环比上升27月我国半导体销售额127亿美元同比下降19环比上升3根据SIA2023年全球半导体销售额预计同比下降103至5151亿美元2024年预计同比上升118至5760亿美元Q3存储跌价收敛存储已接近周期底部存储芯片是半导体景气度前瞻指标根据TrendForce随着DRAM供应商陆续减产DRAM库存逐步消化加上季节性需求支撑减轻供应商库存压力预期第三季DRAM均价跌幅将会收敛至05SEMI预计2024年全球半导体设备销售额回升至1000亿美元根据SEMI2023Q2全球半导体设备出货额258亿美元同比下降2环比下降4预计2023年全球半导体设备销售额将从2022年1074亿美元减少添加标题186至874亿美元2024年将复苏至1000亿美元同比1442023年7月全球半导体销售额同比降幅收窄2023年7月我国半导体销售额同比降幅收窄SEMI预计2024年全球半导体设备销售额达1000亿美元同比144604020401200120185030301001610002020804014800601012103040100600020820-10-1064000-20104-20-202002-30-400-300-400-60全球半导体月度销售额十亿美元MoM中国半导体月度销售额十亿美元MoM全球半导体设备销售额亿美元同比18资料来源windSEMITrendForce浙商证券研究驱动一周期复苏光刻机交付国内资本开支有望提速国内大厂扩产提速设备招标需求逐步释放23Q2阿斯麦向中国大陆出货量大幅提升先进光刻机付运延期至年底缓解扩产压力2023Q2阿斯麦营收69亿欧元环比增长2其中中国大陆的销售收入占当季收入的24环比提升16pct9月1日荷兰半导体设备出口管制新规生效ASML已获得许可证可在今年年底前继续发运2000i及后续浸没式光刻机ASML光刻机的付运缓解晶圆厂扩产瓶颈压力利好国内先进制程扩产中芯稼动率环比回升预计国内头部Fab厂扩产提速据中芯国际23年中报二季度中芯国际月产能75万片折合8英寸产能利用率783环比提升102pct上半年国内晶圆厂扩产主要在小厂随着周期复苏带动稼动率回升光刻机交付及国内卡脖子设备加速验证预计国内头部Fab厂扩产加速带动设备需求环比提升添加标题2023Q3中芯国际产能利用率回升至7832023Q2阿斯麦实现营收69亿欧元同比272023Q2中国大陆地区占阿斯麦销售额达24环比提升16pct80120800030023Q27070002501006000200608050001505040001004060300050302000040201000-502023Q1100-10000营业收入百万欧元净利润百万欧元2018-052018-032018-072018-092018-112019-012019-032019-052019-072019-092019-112020-012020-032020-052020-072020-092020-112021-012021-032021-052021-072021-092021-112022-012022-032022-052022-072022-092022-112023-012023-032023-05营收同比增速净利润同比增速月度产能万片折合8英寸月度产能利用率19资料来源windASML浙商证券研究驱动二外部管制落地国产设备突破看好设备国产化加速美日荷先进设备管制落地管制担忧情绪逐步消弭2022年10月7日美国BIS对华进行半导体管制范围扩大至先进芯片设备零部件人员等2023年3月31日日本政府跟进7月23日开始对23种芯片制造设备施加限制6月30日荷兰发布半导体设备管制新规对先进光刻机NXT2000i及以上先进浸没式光刻机主要应用在7nm及以下ALD外延low-k沉积设备进行管制国内先进制程已实现部分工艺突破先进制程扩产渐行渐近国内半导体设备厂商持续加大研发除光刻机外其他重点环节均实现28nm制程突破去胶部分刻蚀和清洗已经达到先进制程节点我国半导体设备从成熟迈向先进制程的节奏有望提速公司名称设备类型当前制程及先进制程研发进展刻蚀先进制程刻蚀机已在客户端通过多道制程工艺验证并实现量产应用北方华创薄膜沉积先进制程薄膜沉积设备14nm已在客户端通过多道制程工艺验证并实现量产应用1逻辑12英寸设备已应用于65nm到5nm及更先进生产线上应用于28nm及以下的一体化大马士革刻蚀进展良好CCP2存储设备已在64层和128层3DNAND量产先上应用已通过动态存储器工艺验证并取得订单601极高深宽比刻蚀进展良好ICP可满足55nm到28nm逻辑芯片ICP刻蚀工艺在DRAM3DNAND和存储器件刻蚀应用范围不断拓展已在20家客户产线上量产中微公司1LPCVD设备首台CVD钨设备已交付关键存储客户端验证满足先进逻辑接触填充64层和128层3DNAND应用正在开发新的金属钨填充工艺方案以满足更高深宽比接薄膜沉积触孔及沟道电极需求2ALD设备ALD钨设备正在开发可应用于高端存储已开始实验室测试及与客户对接验证应用于高端存储和逻辑的ALD氮化钛设备已进入实验室测试阶段覆盖全系列PECVD薄膜材料包括SiO2SiNTEOSSiONSiOCFSGBPSGPSG等通用介质薄膜材料以及LoKLoKACHMADCHTNa-Si等先进介PECVD质薄膜材料1逻辑完成28nm量产应用14nm10nm验证中2存储SiNSiONTEOSACHM材料已在64层3DNAND应用128层3DNAND1917nmDRAM产业化验证中拓荆科技SACVDSATEOSBPSGSAF工艺取得客户验证ALDPEALDSiO2SiN产业化应用中TALDAl2O3已在客户端验证HDPCVD可以同时进行薄膜沉积和溅射薄膜致密度更高已通过产线验证可以沉积SiO2FSGPSG等介质薄膜材料微导纳米薄膜沉积1ALD获得逻辑存储化合物新型显示批量订单12寸28nm逻辑high-k设备获得量产验证2CVD设备已与客户试样华海清科CMP1逻辑实现28nm及以上成熟制程的产业化应用高端工艺技术水平14nm制程仍处于客户验证阶段2存储128层3DNAND1X1YDRAM实现量产芯源微Track28nm及以上制程全覆盖offlineI-lineKrF机台实现批量销售浸没式已完成验证盛美上海清洗已应用于逻辑28nm技术节点及DRAM19nm技术节点并可拓展至逻辑芯片14nmDRAM1716nm技术节点3264128层3DNAND至纯科技清洗已能满足28nm全部湿法工艺需求14nm及以下有4台订单交付万业企业离子注入28nm低能大束流低能大束流重金属低能大束流超低温和高能离子注入机以实现商业化膜厚设备OCD设备电子束设备均已取得多家客户批量性订单半导体硅片应力测量设备取得客户订单并完成交付明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单且完成首台套精测电子量检测交付1光学膜厚测量设备可用于28nmFEOL和14nmBEOL节点制程2OCD设备适用于28nm节点及以上制程3电子束检测设备1xnm正在验证中科飞测量检测已量产多款28nm及以上量检测设备2xnm套刻精度量测设备正在验证已取得客户订单1xnm无图形晶圆检测设备处于研发中20资料来源各公司公告浙商证券研究所整理