核心观点：
　　12月，国内晶圆产线招标规模稳步扩张，积塔、华虹招标量居前，量测、刻蚀、PVD招标需求较大。统计样本中发生招标的晶圆产线包括积塔、中芯国际、华虹、长鑫四条产线，合计招标258项，其中，积塔、华虹的设备招标采购量位居前。采购设备方面，量测、刻蚀、PVD、退火、探针台等环节的设备招标需求较大。
　　本土厂商在清洗、去胶、研磨抛光、CVD等设备领域布局卡位，中标设备国产化比例为38%。12月，统计样本中的晶圆产线合计中标118台设备，以探针台、炉管和量测设备居多。中标设备中，国产设备的数量为45台，对应的中标比例为38%，其中，本土半导体设备厂商在清洗、去胶、研磨抛光、CVD等设备领域的中标比例领先。
　　创微微电子、北方华创、上海精测和中科飞测的中标设备数量居多，对应中标比例表现突出。12月，创微微电子、北方华创、上海精测、中科飞测四家国产设备厂商合计中标23台设备，在对应工艺环节的合计中标比例为64%。其中，创微微电子在积塔中标9台清洗设备和4台去胶设备，在12月对应设备领域的中标比例分别为100%和40%。此外，北方华创、上海精测和中科飞测在中标方面表现突出。其中，北方华创在积塔中标5台氧化设备，在12月氧化设备领域的中标比例达63%；上海精测在积塔中标4台量测设备，在12月量测设备领域的中标比例为24%；中科飞测在华虹中标1台检测设备，在12月检测设备领域的中标比例为13%。
　　投资建议：在半导体设备市场规模趋稳，份额提升贡献主要增量的背景下，国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、华海清科、拓荆科技、长川科技*、中微公司*、盛美上海*、芯源微、万业企业、至纯科技*、华峰测控*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）
　　风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。

研究报告全文：TablePage跟踪分析半导体证券研究报告半导体设备国产替代趋势月度跟踪TableTitleTableGrade行业评级买入前次评级买入12月招标规模稳步扩张清洗去胶CMP等国产中标比例领先报告日期2022-12-30TableSummary核心观点相对市场表现TablePicQuote12月国内晶圆产线招标规模稳步扩张积塔华虹招标量居前量3测刻蚀PVD招标需求较大统计样本中发生招标的晶圆产线包括122102220422062208221022-6积塔中芯国际华虹长鑫四条产线合计招标258项其中积-15塔华虹的设备招标采购量位居前采购设备方面量测刻蚀PV-24D退火探针台等环节的设备招标需求较大-33本土厂商在清洗去胶研磨抛光CVD等设备领域布局卡位中标-42设备国产化比例为3812月统计样本中的晶圆产线合计中标118半导体沪深300台设备以探针台炉管和量测设备居多中标设备中国产设备的数量为45台对应的中标比例为38其中本土半导体设备厂商在清洗去胶研磨抛光CVD等设备领域的中标比例领先分析师TableAuthor王亮创微微电子北方华创上海精测和中科飞测的中标设备数量居多SAC执证号S0260519060001对应中标比例表现突出12月创微微电子北方华创上海精测SFCCENoBFS478021-38003658中科飞测四家国产设备厂商合计中标23台设备在对应工艺环节的合gfwanglianggfcomcn计中标比例为64其中创微微电子在积塔中标9台清洗设备和4台去胶设备在12月对应设备领域的中标比例分别为100和40分析师耿正SAC执证号S0260520090002此外北方华创上海精测和中科飞测在中标方面表现突出其中北021-38003660方华创在积塔中标5台氧化设备在12月氧化设备领域的中标比例达63上海精测在积塔中标4台量测设备在12月量测设备领域的中gengzhenggfcomcn标比例为24中科飞测在华虹中标1台检测设备在12月检测设分析师焦鼎SAC执证号S0260522120003备领域的中标比例为13投资建议在半导体设备市场规模趋稳份额提升贡献主要增量的背景021-38003658下国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张以及公司自身jiaodinggfcomcn请注意耿正焦鼎并非香港证券及期货事务监察委员会的的产品竞争力广阔的份额增长空间和品类扩张能力有望加速提升半注册持牌人不可在香港从事受监管活动导体设备的国产替代份额成长速度和空间均十分显著建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司北方华创华相关研究TableDocReport海清科拓荆科技长川科技中微公司盛美上海芯源微万半导体设备国产替代趋势月2022-12-18业企业至纯科技华峰测控等标的带标的为与广发机械联合覆度跟踪11月招标量环比恢盖复腐蚀去胶PVD国产中风险提示市场需求不及预期研发不及预期市场开拓不及预期标比例领先半导体行业积塔华虹招标2022-11-28量居前腐蚀去胶PVD国产中标比例领先半导体行业周期视角下半导2022-11-21体设计及设备材料投资机遇识别风险发现价值TableContacts请务必阅读末页的免责声明112TablePageText跟踪分析半导体重点公司估值和财务分析表Tableimpcom最新最近合理价值EPS元PExEVEBITDAxROE股票简称股票代码货币评级收盘价报告日期元股2022E2023E2022E2023E2022E2023E2022E2023E北方华创002371SZCNY2276420220712买入3512734451466174429781351119701270华海清科688120SHCNY2286220220529--30147975954773143459754670970拓荆科技-U688072SHCNY2192820220517买入1652610117921711122507298559009360590长川科技300604SZCNY443520221028买入7191090146492830384803302524302930中微公司688012SHCNY996520220813买入171901872305329433374806526760860盛美上海688082SHCNY782720220518买入1121909313384165885107057220770990华峰测控688200SHCNY2755320221028买入27827557770494735783939302716901900至纯科技603690SHCNY388520220904买入553512317031592285189914168801090数据来源Wind广发证券发展研究中心备注数据更新至2022年12月29日识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明212TablePageText跟踪分析半导体目录索引一12月招标规模稳步扩张清洗去胶CMP等国产中标比例领先5二投资建议8三风险提示10识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明312TablePageText跟踪分析半导体图表索引图1十二月半导体设备招标概览5图2十二月半导体设备中标概览6图3十二月国产半导体设备中标概览6图4前道设备领域的国产设备布局进展一8图5前道设备领域的国产设备布局进展二9图6后道设备领域的国产设备布局进展9识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明412TablePageText跟踪分析半导体一12月招标规模稳步扩张清洗去胶CMP等国产中标比例领先我们以本土晶圆产线中芯华虹华力长存长鑫积塔燕东晋华粤芯新芯晶合作为统计样本对其招标中标数据进行分析12月国内晶圆产线招标规模稳步扩张积塔华虹招标量居前量测刻蚀PVD招标需求较大统计样本中发生招标的晶圆产线包括积塔中芯国际华虹长鑫四条产线合计招标258项其中积塔华虹的设备招标采购量位居前采购设备方面量测刻蚀PVD退火探针台等环节的设备招标需求较大图1十二月半导体设备招标概览设备种类积塔中芯国际华虹长鑫合计台CVD11PVD66外延11光刻11刻蚀246量测369检测22湿法腐蚀33扩散33退火246炉管33离子注入22划片机11切片机11减薄22探针台66气液系统44基建5302138合计台293035195数据来源采招网广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明512TablePageText跟踪分析半导体本土厂商在清洗去胶研磨抛光CVD等设备领域布局卡位中标设备国产化比例为3812月统计样本中的晶圆产线合计中标118台设备以探针台炉管和量测设备居多中标设备中国产设备的数量为45台对应的中标比例为38其中本土半导体设备厂商在清洗去胶研磨抛光CVD等设备领域的中标比例领先图2十二月半导体设备中标概览设备种类中标数量台国产比例PVD10CVD3100外延20刻蚀10光刻10量测1759检测850清洗9100去胶10100氧化863退火10炉管170涂胶显影50离子注入70研磨抛光4100探针台240合计11838数据来源采招网广发证券发展研究中心创微微电子北方华创上海精测和中科飞测的中标设备数量居多对应中标比例表现突出12月创微微电子北方华创上海精测中科飞测四家国产设备厂商合计中标23台设备在对应工艺环节的合计中标比例为64其中创微微电子在积塔中标9台清洗设备和4台去胶设备在12月对应设备领域的中标比例分别为100和40图3十二月国产半导体设备中标概览公司中标数量台中标比例北方华创5氧化563上海精测4量测424中科飞测1检测113创微微电子13清洗9100去胶440合计2364数据来源采招网广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明612TablePageText跟踪分析半导体此外北方华创上海精测和中科飞测在中标方面表现突出其中北方华创在积塔中标5台氧化设备在12月氧化设备领域的中标比例达63上海精测在积塔中标4台量测设备在12月量测设备领域的中标比例为24中科飞测在华虹中标1台检测设备在12月检测设备领域的中标比例为13识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明712TablePageText跟踪分析半导体二投资建议在半导体设备市场规模趋稳份额提升贡献主要增量的背景下国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张以及公司自身的产品竞争力广阔的份额增长空间和品类扩张能力有望加速提升半导体设备的国产替代份额成长速度和空间均十分显著图4前道设备领域的国产设备布局进展一数据来源广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明812TablePageText跟踪分析半导体图5前道设备领域的国产设备布局进展二数据来源广发证券发展研究中心图6后道设备领域的国产设备布局进展数据来源广发证券发展研究中心建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司北方华创华海清科拓荆科技长川科技中微公司盛美上海芯源微万业企业至纯科技华峰测控等标的带标的为与广发机械联合覆盖识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明912TablePageText跟踪分析半导体三风险提示一市场需求不及预期若电子产品应用市场需求不及预期相关公司产品销售可能受到影响从而影响公司营收的增长二企业研发不及预期电子行业相关产品研发的专业化程度较高存在一定技术壁垒技术开发难度和研发投入大若新一代产品研发进度不及预期相关公司核心业务的营收规模和增速可能受到影响三市场开拓不及预期市场开拓不及预期由于下游需求放缓导致相关公司与主要客户的稳定合作关系发生变动或市场开拓不及预期将可能对公司的经营业绩产生不利影响识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1012TablePageText跟踪分析半导体广发电子行业研究小组TableResearchTeam许兴军浙江大学系统科学与工程学士浙江大学系统分析与集成硕士2012年加入广发证券发展研究中心王亮复旦大学经济学硕士2014年加入广发证券发展研究中心叶秀贤天津大学材料科学与工程学士天津大学管理科学与工程硕士2014年加入广发证券发展研究中心谢淑颖厦门大学电子工程学士上海财经大学金融硕士2018年加入广发证券发展研究中心耿正上海交通大学材料科学与工程学硕士2020年加入广发证券发展研究中心郇正林中国科学院大学硕士2020年8月加入广发证券发展研究中心栾玉民博士毕业于北京大学2022年加入广发证券发展研究中心焦鼎博士毕业于中国科学院2022年加入广发证券f发展研究中心张大伟复旦大学电子与通信工程硕士2021年加入广发证券发展研究中心任思儒硕士毕业于上海交通大学2022年加入广发证券发展研究中心王钰乔硕士毕业于上海交通大学2022年加入广发证券发展研究中心李佳蔚硕士毕业于京都大学2022年加入广发证券发展研究中心广发证券TableRatingIndustry行业投资评级说明买入预期未来12个月内股价表现强于大盘10以上持有预期未来12个月内股价相对大盘的变动幅度介于-1010卖出预期未来12个月内股价表现弱于大盘10以上广发证券TableRatingCompany公司投资评级说明买入预期未来12个月内股价表现强于大盘15以上增持预期未来12个月内股价表现强于大盘5-15持有预期未来12个月内股价相对大盘的变动幅度介于-55卖出预期未来12个月内股价表现弱于大盘5以上联系我们TableAddress广州市深圳市北京市上海市香港地址广州市天河区马场路深圳市福田区益田路北京市西城区月坛北上海市浦东新区南泉香港德辅道中189号26号广发证券大厦6001号太平金融大街2号月坛大厦18北路429号泰康保险李宝椿大厦29及3035楼厦31层层大厦37楼楼邮政编码510627518026100045200120-客服邮箱gfzqyfgfcomcn法律主体TableLegalDisclaimer声明本报告由广发证券股份有限公司或其关联机构制作广发证券股份有限公司及其关联机构以下统称为广发证券本报告的分销依据不同国家地区的法律法规和监管要求由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