11月合计招标89项，以积塔、华虹、中芯、长鑫招标为主。2022年11月招标以积塔、华虹、中芯、长鑫产线为主，合计产生89项招标。招标设备方面，整体以氧化、炉管、去胶和湿法腐蚀设备的招标量居多，其中，氧化、炉管、去胶设备主要为积塔特色工艺产线招标，湿法腐蚀设备主要为积塔和华虹招标。此外，基建项目主要为中芯国际临港12英寸晶圆代工生产线和长鑫12英寸存储器晶圆制造基地二期等招标。2022年1-11月，统计样本中的晶圆产线合计招标963项，其中，积塔、华虹、燕东的设备招标量位居前三。整体而言，招标以量测设备、沉积类设备和刻蚀设备为主。
　　 1-11月国产厂商在湿法腐蚀、去胶、PVD设备方面中标居多。中标方面，2022年11月，统计样本中的晶圆产线上合计中标16台设备，包括氧化、离子注入、热处理、清洗、检测、量测、刻蚀、PVD设备。2022年1-11月，统计样本中的晶圆产线合计中标922台设备，以量测、沉积类、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约29%，其中，硅片再生、气液系统、湿法腐蚀、去胶、PVD设备的国产中标比例较高。
　　 1-11月北方华创、中微公司、万业企业的国产设备在所处工艺领域的中标表现突出。2022年1-11月，国内半导体设备厂商合计中标208台设备，北方华创、中微公司、万业企业中标量位居前三位，分别中标59台、22台、21台设备。其中，北方华创中标以刻蚀、氧化、PVD设备居多；中微公司中标则以刻蚀设备为主；万业企业中标以刻蚀、沉积、热处理设备为主。2022年1-11月，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为26%。其中，盛美上海的硅片再生设备、北方华创的PVD设备和氧化设备、创微微电子的湿法腐蚀设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为67%、52%、46%、47%。
　　投资建议：在半导体设备市场规模趋稳，份额提升贡献主要增量的背景下，国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、华海清科、拓荆科技、长川科技*、中微公司*、盛美上海*、芯源微、万业企业、至纯科技*、华峰测控*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）
　　风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。

研究报告全文：TablePage跟踪分析半导体证券研究报告半导体设备国产替代趋势月度跟踪TableTitleTableGrade行业评级买入前次评级买入11月招标量环比恢复腐蚀去胶PVD国产中标比例领先报告日期2022-12-18TableSummary核心观点相对市场表现TablePicQuote11月合计招标89项以积塔华虹中芯长鑫招标为主2022年411月招标以积塔华虹中芯长鑫产线为主合计产生89项招标122102220422062208221022-5招标设备方面整体以氧化炉管去胶和湿法腐蚀设备的招标量居-14多其中氧化炉管去胶设备主要为积塔特色工艺产线招标湿法-23腐蚀设备主要为积塔和华虹招标此外基建项目主要为中芯国际临港-3212英寸晶圆代工生产线和长鑫12英寸存储器晶圆制造基地二期等招-41标2022年1-11月统计样本中的晶圆产线合计招标963项其中半导体沪深300积塔华虹燕东的设备招标量位居前三整体而言招标以量测设备沉积类设备和刻蚀设备为主1-11月国产厂商在湿法腐蚀去胶PVD设备方面中标居多中标方分析师TableAuthor许兴军SAC执证号S0260514050002面2022年11月统计样本中的晶圆产线上合计中标16台设备包021-38003661括氧化离子注入热处理清洗检测量测刻蚀PVD设备xuxingjungfcomcn2022年1-11月统计样本中的晶圆产线合计中标922台设备以量分析师王亮测沉积类热处理设备居多国产设备整体中标比例约29其中硅片再生气液系统湿法腐蚀去胶PVD设备的国产中标比例较SAC执证号S0260519060001高SFCCENoBFS478021-380036581-11月北方华创中微公司万业企业的国产设备在所处工艺领域的中标表现突出2022年1-11月国内半导体设备厂商合计中标208gfwanglianggfcomcn台设备北方华创中微公司万业企业中标量位居前三位分别中标分析师耿正SAC执证号S026052009000259台22台21台设备其中北方华创中标以刻蚀氧化PVD设备居多中微公司中标则以刻蚀设备为主万业企业中标以刻蚀沉021-38003660积热处理设备为主2022年1-11月国内半导体设备厂商合计中标gengzhenggfcomcn请注意许兴军耿正并非香港证券及期货事务监察委员会量在对应工艺环节的中标比例为26其中盛美上海的硅片再生设的注册持牌人不可在香港从事受监管活动备北方华创的PVD设备和氧化设备创微微电子的湿法腐蚀设备在对应工艺环节的中标比例领先分别为67524647相关研究TableDocReport投资建议在半导体设备市场规模趋稳份额提升贡献主要增量的背景半导体行业积塔华虹招标2022-11-28下国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张以及公司自身量居前腐蚀去胶PVD国的产品竞争力广阔的份额增长空间和品类扩张能力有望加速提升半产中标比例领先导体设备的国产替代份额成长速度和空间均十分显著建议关注在半半导体行业周期视角下半导2022-11-21导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司北方华创华体设计及设备材料投资机海清科拓荆科技长川科技中微公司盛美上海芯源微万业遇企业至纯科技华峰测控等标的带标的为与广发机械联合覆盖半导体行业AMD和Intel即2022-11-04风险提示市场需求不及预期研发不及预期市场开拓不及预期将发布新一代CPU服务器DDR5升级拐点将至TableContacts联系人焦鼎021-38003658识别风险发现价值jiaodinggfcomcn请务必阅读末页的免责声明110TablePageText跟踪分析半导体重点公司估值和财务分析表Tableimpcom最新最近合理价值EPS元PExEVEBITDAxROE股票简称股票代码货币评级收盘价报告日期元股2022E2023E2022E2023E2022E2023E2022E2023E北方华创002371SZCNY2412220220712买入3512734451470124693827954169701270华海清科688120SHCNY2410020220529--301479800750311512210283670970拓荆科技-U688072SHCNY2350620220517买入1652610117923273131327823763256360590长川科技300604SZCNY471520221028买入7191090146523932295106321624302930中微公司688012SHCNY1099920220813买入171901872305882478282567203760860盛美上海688082SHCNY858020220518买入1121909313392266451117357915770990华峰测控688200SHCNY2910220221028买入27827557770522537794161319716901900至纯科技603690SHCNY422120220904买入553512317034322483206315398801090数据来源Wind广发证券发展研究中心备注表中数据更新至2022年12月18日识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明210TablePageText跟踪分析半导体一11月招标量环比恢复腐蚀去胶PVD国产中标比例领先我们以国内晶圆产线中芯华虹华力长存长鑫积塔燕东晋华粤芯新芯晶合作为统计样本对其招标中标数据进行分析按照表1所示的统计口径2022年11月招标以积塔华虹中芯长鑫产线为主合计产生89项招标招标设备方面整体以氧化炉管去胶和湿法腐蚀设备的招标量居多其中氧化炉管去胶设备主要为积塔特色工艺产线招标湿法腐蚀设备主要为积塔和华虹招标此外基建项目主要为中芯国际临港12英寸晶圆代工生产线和长鑫12英寸存储器晶圆制造基地二期等招标2022年1-11月统计样本中的晶圆产线合计招标963项其中积塔华虹燕东的设备招标量位居前三整体而言招标以量测设备沉积类设备和刻蚀设备为主表12022年1-11月晶圆产线招标概览单位项设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计沉积7947128PVD131861231CVD6254811431ALD1124MOCVD11外延123电镀11114刻蚀422817191411187光刻1242211量测3772113651127274140检测3328134328174清洗15101010372158去胶3321411933湿法腐蚀2121915热处理19681236氧化2843021359扩散112退火1442112炉管58111227涂胶显影11103125124离子注入237910132研磨抛光3101418划片机33键合机11切片机22测试机178探针台1972117753硅片再生112减薄2125包封机22气液系统33其他设备112基建项目721112914243317716152合计14342142182100406268257089963数据来源采招网广发证券发展研究中心2022年11月积塔特色工艺生产线合计招标66项以氧化炉管去胶设备为主2022年1-11月积塔合计招标473项以量测沉积刻蚀设备居多识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明310TablePageText跟踪分析半导体表22022年1-11月积塔招标概览单位项设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计沉积657119PVD3183226CVD441211MOCVD11外延123电镀112刻蚀116131413158光刻415量测2851410256465检测2943725清洗95872132去胶11214927湿法腐蚀111811热处理148215氧化83131337退火1332110炉管5711225涂胶显影173516离子注入2191022研磨抛光1101416测试机178探针台72117734基建项目415合计32678996315352905966473数据来源采招网广发证券发展研究中心2022年10月华虹合计招标7项以CVD设备为主2022年1-11月华虹合计招标228项以量测检测热处理设备居多表32022年1-11月华虹招标概览单位项设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计沉积1315PVD314CVD71210ALD11刻蚀851115光刻1214量测35471112152检测3321137清洗4116去胶2114湿法腐蚀11热处理182121氧化116219扩散112退火11涂胶显影1113离子注入11研磨抛光22划片机33键合机11切片机22探针台1919硅片再生112基建项目712313合计10363437192051147228数据来源采招网广发证券发展研究中心2022年11月中芯包括临港12寸晶圆产线在内合计招标13项基建项目2022年1-11月中芯合计招标118项基建项目表42022年1-11月中芯国际招标概览单位项设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计基建项目228612243312613118合计0228612243312613118数据来源采招网广发证券发展研究中心2022年11月长鑫招标3项基建项目2022年1-11月长鑫合计招标11项基建项目识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明410TablePageText跟踪分析半导体表52022年1-11月合肥长鑫招标概览单位项设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计基建项目1421311合计0014000021311数据来源采招网广发证券发展研究中心中标方面2022年11月统计样本中的晶圆产线上合计中标16台设备包括氧化离子注入热处理清洗检测量测刻蚀PVD设备2022年1-11月统计样本中的晶圆产线合计中标922台设备以量测沉积类热处理设备居多国产设备整体中标比例约29其中硅片再生气液系统湿法腐蚀去胶PVD设备的国产中标比例较高2022年1-11月表7所示国内半导体设备厂商合计中标208台设备北方华创中微公司万业企业中标量位居前三位分别中标59台22台21台设备其中北方华创中标以刻蚀氧化PVD设备居多中微公司中标则以刻蚀设备为主万业企业中标以刻蚀沉积热处理设备为主2022年1-11月表7所示国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为26其中盛美上海的硅片再生设备北方华创的PVD设备和氧化设备创微微电子的湿法腐蚀设备在对应工艺环节的中标比例领先分别为67524647识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明510TablePageText跟踪分析半导体表62022年1-11月晶圆产线中标概览单位台设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计沉积611717133国产比例00650100055PVD3617311123国产比例010008610000065CVD106442127国产比例03300007PECVD2121国产比例55SACVD11国产比例00MOCVD11国产比例00ALD11国产比例00外延2114国产比例0000电镀1326国产比例1000017刻蚀323212912198国产比例137542100100055光刻651241322国产比例000025005量测2820319517251136国产比例051022202912011检测23198421259国产比例005010000014清洗12111343171245国产比例1001001838256710043010042去胶193417135国产比例0331007588069湿法腐蚀712717国产比例57100010071热处理1272814212102国产比例000019008氧化81231428国产比例0100330046扩散118120国产比例0000退火4230812148国产比例010027500100033炉管161118国产比例3810010044涂胶显影21411346132国产比例100100027100017031离子注入74429329国产比例02525500010研磨抛光98171127国产比例0880710044减薄213国产比例000电荷清除22国产比例00键合11国产比例00包封机22国产比例00划片325国产比例000测试机11国产比例00探针台26219148国产比例00000硅片再生213国产比例100100100气液系统18624国产比例100100100合计数量491628517913570865131416922合计国产比例6381434335645591001329数据来源采招网广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明610TablePageText跟踪分析半导体表72022年1-11月国产设备中标概览单位台设备种类1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月合计北方华创16331059PVD6612中标比例1008652刻蚀412117中标比例1338817退火639中标比例203819炉管617中标比例3810039氧化12113中标比例1003346清洗11中标比例252华海清科75315研磨抛光7512中标比例887144气液系统33中标比例1713拓荆科技31114沉积1111中标比例6533CVD22中标比例337PECVD11中标比例55芯源微281112涂胶显影23117中标比例10027331722清洗55中标比例3811中微公司121922刻蚀121922中标比例38810022盛美上海1101113清洗22中标比例184湿法腐蚀314中标比例4310024去胶33中标比例339电镀11中标比例10017炉管11中标比例1006硅片再生22中标比例10067万业企业嘉芯闳扬嘉芯迦能111021热处理44中标比例104沉积77中标比例10021刻蚀1010中标比例8310至纯科技112清洗112中标比例100504广立微33量测33中标比例182上海精测1113量测1113中标比例51162上海微电子246检测44中标比例507退火22中标比例74中科飞测336量测336中标比例10124屹唐2411412去胶3115中标比例10025614热处理44中标比例104退火213中标比例100136中科信11离子注入11中标比例253中电科11清洗11中标比例1002华卓精科22退火22中标比例1004鲁汶仪器11刻蚀11中标比例81创微微电子111315清洗235中标比例674311湿法腐蚀178中标比例1410047去胶22中标比例126合计数量34405937232217300208合计中标比例10080295138502947120026数据来源采招网广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明710TablePageText跟踪分析半导体二投资建议在半导体设备市场规模趋稳份额提升贡献主要增量的背景下国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的快速扩张以及公司自身的产品竞争力广阔的份额增长空间和品类扩张能力有望加速提升半导体设备的国产替代份额成长速度和空间均十分显著建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司北方华创华海清科拓荆科技长川科技中微公司盛美上海芯源微万业企业至纯科技华峰测控等标的带标的为与广发机械联合覆盖三风险提示一市场需求不及预期若电子终端应用市场需求不及预期相关公司产品销售可能受到影响从而影响公司的经营表现二企业研发不及预期电子行业相关产品研发的专业化程度较高存在一定技术壁垒技术开发难度和研发投入大若新一代产品研发进度不及预期相关公司的经营表现可能受到影响三市场开拓不及预期若相关公司与主要客户的合作关系发生变动或产品的产业化进度不及预期可能对公司的经营表现产生不利影响识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明810TablePageText跟踪分析半导体广发电子行业研究小组TableResearchTeam许兴军浙江大学系统科学与工程学士浙江大学系统分析与集成硕士2012年加入广发证券发展研究中心王亮复旦大学经济学硕士2014年加入广发证券发展研究中心叶秀贤天津大学材料科学与工程学士天津大学管理科学与工程硕士2014年加入广发证券发展研究中心谢淑颖厦门大学电子工程学士上海财经大学金融硕士2018年加入广发证券发展研究中心耿正上海交通大学材料科学与工程学硕士2020年加入广发证券发展研究中心郇正林中国科学院大学硕士2020年8月加入广发证券发展研究中心栾玉民博士毕业于北京大学2022年加入广发证券发展研究中心焦鼎博士毕业于中国科学院2022年加入广发证券发展研究中心张大伟硕士复旦大学电子与通信工程硕士2021年加入广发证券发展研究中心任思儒硕士毕业于上海交通大学2022年加入广发证券发展研究中心王钰乔硕士毕业于上海交通大学2022年加入广发证券发展研究中心李佳蔚硕士毕业于京都大学2022年加入广发证券发展研究中心广发证券TableRatingIndustry行业投资评级说明买入预期未来12个月内股价表现强于大盘内10以上持有预期未来12个月内股价相对大盘的变动幅度介于对-1010卖出预期未来12个月内股价表现弱于大盘10以上TableRatingCompany广发证券公司投资评级说明买入预期未来12个月内股价表现强于大盘15以上增持预期未来12个月内股价表现强于大盘5-15持有预期未来12个月内股价相对大盘的变动幅度介于-55卖出预期未来12个月内股价表现弱于大盘5以上联系我们TableAddress广州市深圳市北京市上海市香港地址广州市天河区马场路深圳市福田区益田路北京市西城区月坛北上海市浦东新区南泉香港德辅道中189号26号广发证券大厦6001号太平金融大街2号月坛大厦18北路429号泰康保险李宝椿大厦29及3035楼厦31层层大厦37楼楼邮政编码510627518026100045200120-客服邮箱gfzqyfgfcomcn法律主体TableLegalDisclaimer声明本报告由广发证券股份有限公司或其关联机构制作广发证券股份有限公司及其关联机构以下统称为广发证券本报告的分销依据不同依据不国家地区的法律法规和监管要求由广发证券于该国家或地区的具有相关合法合规经营资质的子公司资经营机构完成广发证券股份有限公司具备中国证监会批复的证券投资咨询业务资格接受中国证监会监管负责本报告于中国港澳台地区除外的分投销广发证券香港经纪有限公司具备香港证监会批复的就证券提供意见4号牌照的牌照接受香港证监会监管负责本报告于中国香港地区的分销本报告署名研究人员所持中国证券业协会注册分析师资质信息和香港证监会批复的牌照信息已于署名研究人员姓名处披露TableImportantNotices识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明910TablePageText跟踪分析半导体重要声明广发证券股份有限公司及其关联机构可能与本报告中提及的公司寻求或正在建立业务关系因此投资者应当考虑广发证券股份有限公司系因此者应当考虑及其关联机构因可能存在的潜在利益冲突而对本报告的独立性产生影响投资者不应仅依据本报告内容作出任何投资决策投资者应自主存潜利益冲突而独性产生影响仅容作出投资决策并自行承担投资风险任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或者口头承诺均为无效本报告署名研究人员联系人以下均简称研究人员针对本报告中相关公司或证券的研究分析内容在此声明1本报告的全部分析结论研究观点均精确反映研究人员于本报告发出当日的关于相关公司或证券的所有个人观点并不代表广发证券的立场2研究人员的部分或全部的报酬无论在过去现在还是将来均不会与本报告所述特定分析结论研究观点具有直接或间接的联系研究人员制作本报告的报酬标准依据研究质量客户评价工作量等多种因素确定其影响因素亦包括广发证券的整体经营收入该等经营收入部分来源于广发证券的投资银行类业务本报告仅面向经广发证券授权使用的客户特定合作机构发送不对外公开发布只有接收人才可以使用且对于接收人而言具有保密义务广发证券并不因相关人员通过其他途径收到或阅读本报告而视其为广发证券的客户在特定国家或地区传播或者发布本报告可能违反当地法律广发证券并未采取任何行动以允许于该等国家或地区传播或者分销本报告本报告所提及证券可能不被允许在某些国家或地区内出售请注意投资涉及风险证券价格可能会波动因此投资回报可能会有所变化过去的业绩并不保证未来的表现本报告的内容观点或建议并未考虑任何个别客户的具体投资目标财务状况和特殊需求不应被视为对特定客户关于特定证券或金融工具的投资建议本报告发送给某客户是基于该客户被认为有能力独立评估投资风险独立行使投资决策并独立承担相应风险本报告所载资料的来源及观点的出处皆被广发证券认为可靠但广发证券不对其准确性完整性做出任何保证报告内容仅供参考报告中的信息或所表达观点不构成所涉证券买卖的出价或询价广发证券不对因使用本报告的内容而引致的损失承担任何责任除非法律法规有明确规定客户不应以本报告取代其独立判断或仅根据本报告做出决策如有需要应先咨询专业意见广发证券可发出其它与本报告所载信息不一致及有不同结论的报告本报告反映研究人员的不同观点见解及分析方法并不代表广发证券的立场广发证券的销售人员交易员或其他专业人士可能以书面或口头形式向其客户或自营交易部门提供与本报告观点相反的市场评论或交易策略广发证券的自营交易部门亦可能会有与本报告观点不一致甚至相反的投资策略报告所载资料意见及推测仅反映研究人员于发出本报告当日的判断可随时更改且无需另行通告广发证券或其证券研究报告业务的相关董事高级职员分析师和员工可能拥有本报告所提及证券的权益在阅读本报告时收件人应了解相关的权益披露若有本研究报告可能包括和或描述呈列期货合约价格的事实历史信息信息请注意此信息仅供用作组成我们的研究方法分析中的部分论点依据证据以支持我们对所述相关行业公司的观点的结论在任何情况下它并不明示或暗示与香港证监会第5类受规管活动就期货合约提供意见有关联或构成此活动权益披露TableInterestDisclosure1广发证券香港跟本研究报告所述公司在过去12个月内并没有任何投资银行业务的关系版权声明TableCopyright未经广发证券事先书面许可任何机构或个人不得以任何形式翻版复制刊登转载和引用否则由此造成的一切不良后果及法律责任由私自翻版复制刊登转载和引用者承担识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1010