特种气体是高端工业制造的必备品，技术与市场壁垒较高。特种气体分为标准气体、高纯气体、电子特气等，在单一品种下产销量规模较小，但对纯度、精度、品种、性质都有很高的要求，技术与市场壁垒明显，多用于半导体、通信、医疗等新兴高技术下游。电子特气是泛电子类产品生产中的关键性材料，在电子制造工艺中的清洗蚀刻、光刻、外延/沉积/成膜、掺杂等环节皆承担着重要功能，广泛应用于芯片、显示面板、光纤、医疗等领域。
　　下游新兴产业持续发展，特种气体市场快速扩容。特种气体主要面向电子、医疗等新兴产业，技术附加值更高，市场扩容速度也更快。在我国经济结构的持续优化下，集成电路、显示面板、光纤通信、航空航天、医疗环保等新兴产业对经济的贡献度快速增长，带动我国特种气体产业快速扩容。据亿渡数据，我国2022年特种气体市场规模约为409亿元，到2026年有望达到808亿元，近五年市场增速均维持在15%以上。其中，电子半导体为我国特种气体最重要下游，2021年市场占比约43%，在以半导体、显示面板为核心的新兴产业链带动下，我国电子特气市场快速扩容。
　　海外企业主导市场，自主国产待突围。特种气体行业主要包括技术、客户、服务、资质四大壁垒。林德、法液空、空气化工、大阳日酸四家企业技术与规模优势显著，主导全球及我国特种气体市场。据中商产业研究院数据，2020年全球电子特气市场CR4约为47.7%，核心市场由林德、法液空、空气化工、大阳日酸四家龙头占据。由于我国工业气体产业整体起步较晚，与国外企业的技术、工艺长期存在较大差距，国内中船特气、华特气体、南大光电、金宏气体、昊华科技等国内头部特气生产企业份额均低于5%，仍有较大发展空间。
　　投资建议：国内企业深耕细分品类，规模体量逐步提升。国内企业产品差异化明显，皆具备自身的竞争优势，建议关注：杭氧股份，国内空分设备与气体行业龙头；金宏气体，主要布局超纯氨；华特气体，以多元特气为主；中船特气，专注含氟材料和电子特气；南大光电，布局高纯磷烷、砷烷，扩展含氟特气；昊华科技，在含氟电子气上形成优势；凯美特气，二氧化碳龙头拓展稀有气体布局；雅克科技*，深耕半导体关键材料；以及正帆科技、和远气体、侨源股份*等。（注：带*为广发化工组覆盖标的）
　　风险提示：市场竞争风险；宏观经济波动风险；技术研发风险；原材料价格波动风险。
　　

研究报告全文：TablePage深度分析专用设备证券研究报告特种气体TableTitle行业TableGrade行业评级买入前次评级买入高端制造关键品自主国产待突围报告日期2023-09-24TableSummary相对市场表现TablePicQuote核心观点特种气体是高端工业制造的必备品技术与市场壁垒较高特种气体9分为标准气体高纯气体电子特气等在单一品种下产销量规模较5小但对纯度精度品种性质都有很高的要求技术与市场壁垒明20922112201230323052307230923显多用于半导体通信医疗等新兴高技术下游电子特气是泛电子-2类产品生产中的关键性材料在电子制造工艺中的清洗蚀刻光刻外-6延沉积成膜掺杂等环节皆承担着重要功能广泛应用于芯片显示-9专用设备沪深300面板光纤医疗等领域802899下游新兴产业持续发展特种气体市场快速扩容特种气体主要面向电子医疗等新兴产业技术附加值更高市场扩容速度也更快在分析师TableAuthor代川我国经济结构的持续优化下集成电路显示面板光纤通信航空SAC执证号S0260517080007航天医疗环保等新兴产业对经济的贡献度快速增长带动我国特种SFCCENoBOS186气体产业快速扩容据亿渡数据我国2022年特种气体市场规模约021-38003678为409亿元到2026年有望达到808亿元近五年市场增速均维持daichuangfcomcn在15以上其中电子半导体为我国特种气体最重要下游2021分析师范方舟年市场占比约43在以半导体显示面板为核心的新兴产业链带动SAC执证号S0260522080001下我国电子特气市场快速扩容021-38003800海外企业主导市场自主国产待突围特种气体行业主要包括技术fanfangzhougfcomcn客户服务资质四大壁垒林德法液空空气化工大阳日酸四请注意范方舟并非香港证券及期货事务监察委员会的注家企业技术与规模优势显著主导全球及我国特种气体市场据中商册持牌人不可在香港从事受监管活动产业研究院数据2020年全球电子特气市场CR4约为477核心市场由林德法液空空气化工大阳日酸四家龙头占据由于我国TableContacts工业气体产业整体起步较晚与国外企业的技术工艺长期存在较大差距国内中船特气华特气体南大光电金宏气体昊华科技等国内头部特气生产企业份额均低于5仍有较大发展空间投资建议国内企业深耕细分品类规模体量逐步提升国内企业产品差异化明显皆具备自身的竞争优势建议关注杭氧股份国内空分设备与气体行业龙头金宏气体主要布局超纯氨华特气体以多元特气为主中船特气专注含氟材料和电子特气南大光电布局高纯磷烷砷烷扩展含氟特气昊华科技在含氟电子气上形成优势凯美特气二氧化碳龙头拓展稀有气体布局雅克科技深耕半导体关键材料以及正帆科技和远气体侨源股份等注带为广发化工组覆盖标的风险提示市场竞争风险宏观经济波动风险技术研发风险原材料价格波动风险识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明148TablePageText深度分析专用设备重点公司估值和财务分析表Tableimpcom最新最近合理价值EPS元PExEVEBITDAxROE股票简称股票代码货币评级收盘价报告日期元股2023E2024E2023E2024E2023E2024E2023E2024E杭氧股份002430SZCNY326020230824买入3805127164256719881260102613001420正帆科技688596SHCNY340520230914买入4342145191234817831785132613601520数据来源Wind广发证券发展研究中心备注表中估值指标按照最新收盘价计算识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明248TablePageText深度分析专用设备目录索引一特种气体是高端工业制造的血液7一特种气体工业制造的必备品高端产业的助推器7二电子特气用于泛电子制造领域新兴产业关键材料10二新兴需求持续驱动市场规模快速增长14一市场体量持续增长整体呈现成长态势14二受益新兴产业迭代下游需求驱动充足16三海外企业主导市场自主国产待突围21一高壁垒市场被海外龙头主导核心产品粘性较强21二国内企业多元突围规模体量逐步提升26四主要上市企业28一金宏气体三类气体产品协同形成综合供应体系28二华特气体深耕特种气体突破光刻气产品30三中船特气含氟特气小巨人巩固规模化优势31四南大光电立足MO源与特气打通半导体材料33五雅克科技深耕半导体关键材料规模持续扩展35六昊华科技深耕氟化工体系专注高端化工材料36七凯美特气二氧化碳小龙头拓展特种稀有气体37八正帆科技材料装备服务三维布局服务泛半导体与医疗39九杭氧股份空分气体与设备小巨人持续扩大产品矩阵41十和远气体综合性气体企业新开拓电子级特气与新材料产品42十一侨源股份空分气体区域龙头筹备高纯及稀有特气44五风险提示46一市场竞争风险46二宏观经济波动风险46三技术研发风险46四原材料价格波动风险46识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明348TablePageText深度分析专用设备图表索引图1工业气体基本分类与产业链概览7图2华特气体特种气体产品的一般纯化流程9图3三氟化氮的生产全过程9图4六氟化钨的生产全流程9图5特种气体供应模式一般选择储槽瓶装10图6集成电路制造中使用电子特气的环节标蓝色部分11图7电子特气在芯片制造各关键环节中的反应机理12图8电子显示屏制造中使用特种气体的制程与产品种类12图9a-Si晶体管显示面板中使用各类特气的占比13图10全球与我国工业气体市场规模变化14图11中国特种气体市场规模变化15图122021年中国工业气体下游应用分布15图132021年中国特种气体下游应用分布15图14中国特气市场细分规模变化16图152021年电子特气下游分布16图16全球电子特气市场规模位列前十气体的市场规模占比情况16图17全球半导体销售额变化情况17图182021和2022年全球半导体市场分应用占比17图19全球半导体市场需求分应用领域预测17图20我国集成电路产业销售额变化情况18图21中芯国际2019年原材料采购结构18图22华虹半导体2021年原材料采购结构18图23全球TV显示屏出货量19图24全球中小显示市场需求量变化趋势百万片19图25全球OLEDTV面板出货量及增速19图26全球中小显示市场分技术需求量百万片19图27电子特气市场受电子产业驱动但市场扩容更为平稳20图282020年全球电子特气市场格局22图292020年中国电子特气市场格局22图30林德营业收入与利润情况23图31法液空营业收入与利润情况23图32空气化工营业收入与利润情况23图33大阳日酸营业收入与利润情况23图342022年林德分地区营收占比及增速24图352022年林德各下游应用占比24图362022年法液空气体业务分地区营收占比及增速24图372022年法液空气体业务分下游营收占比及增速24图382019年以来林德分业务增速去除能源价格汇率等非经常性影响24图392022Q4林德分区域各下游应用营收占比25图402022年法液空气体业务分区域的下游营收占比25图412023Q1林德在手订单分地区25识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明448TablePageText深度分析专用设备图422023Q1林德在手订单分下游应用25图43我国特种气体发展历程概览27图442021年中国特气市场格局27图45金宏气体营业与归母净利润变化百万元29图46金宏气体盈利水平变化29图47金宏气体营收构成单位百万元29图48金宏气体分业务盈利能力变化29图49华特气体营业与归母净利润变化百万元30图50华特气体盈利水平变化30图51华特气体营收构成单位百万元31图52华特气体分产品毛利率水平31图53中船特气营业与归母净利润变化百万元32图54中船特气盈利水平变化32图55中船特气电子特气产品分下游收入占比32图56中船特气营收构成单位百万元33图57中船特气分业务盈利能力变化33图58南大光电营业与归母净利润变化百万元34图59南大光电盈利水平变化34图60南大光电营收构成单位百万元34图61南大光电分业务盈利能力34图62雅克科技营业与归母净利润变化百万元35图63雅克科技盈利水平变化35图64雅克科技营收构成单位百万元36图65雅克科技分产品毛利率36图66昊华科技营业与归母净利润变化百万元37图67昊华科技盈利水平变化37图68昊华科技营收构成单位百万元37图69近两年昊华科技分产品毛利率水平37图70凯美特气营业与归母净利润变化百万元38图71凯美特气盈利水平变化38图72凯美特气营收构成单位百万元39图73凯美特气分业务毛利率变化39图74正帆科技营业与归母净利润变化百万元40图75正帆科技盈利水平变化40图76正帆科技营收构成单位百万元41图77正帆科技分业务毛利率变化41图78杭氧股份营业与归母净利润变化百万元42图79杭氧股份盈利水平变化42图80杭氧股份营收构成单位百万元42图81杭氧股份分业务毛利率变化42图82和远气体营业与归母净利润变化百万元43图83和远气体盈利水平变化43图84和远气体营收构成单位百万元44识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明548TablePageText深度分析专用设备图85和远气体分业务毛利率变化44图86侨源股份营业与归母净利润变化百万元45图87侨源股份盈利水平变化45图88侨源股份营收构成单位百万元45图89侨源股份分业务毛利率变化45表1特种气体按下游应用领域分类8表2特种气体行业壁垒高需要长期积累21表3主要特种气体生产企业布局情况概览28识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明648TablePageText深度分析专用设备一特种气体是高端工业制造的血液一特种气体工业制造的必备品高端产业的助推器工业气体用于工业生产制造流程可分为大宗气体和特种气体工业气体指在工业流程中使用常温常压下呈气态的产品用途多样且涵盖类型广泛涉及冶金石油化工机械电子等工业行业按制备和应用类型分工业气体可分为大宗气体和特种气体其中大宗气体的纯度要求一般低于5N产销量规模较大包括氧氮氩等空分气体以及乙炔二氧化碳等合成气体面向钢铁石化机械等多元下游特种气体主要用于特殊领域对纯度品种性质的要求较高涉及的品类也较多可进一步分为电子特气高纯气体标准气体等标准气体包含单元标准气和多元标准气具有复现保存和传递量值的基本作用高纯气体为纯度达到5N及以上的氮气氧气氢气氦气氩气二氧化碳等多用于超大规模集成电路及分离器件光电子等高技术领域电子特气指成分特殊主要用于电子大类产品生产的气体按应用分类中最主要的几类包括清洗蚀刻气外延成膜气掺杂用气光刻气等从化学物角度上电子特气包括氟化物氢化物碳氟化合物等特种气体主要面向半导体通信医疗等新兴高技术下游受益于产业升级图1工业气体基本分类与产业链概览数据来源亿渡数据广发证券发展研究中心特种气体涉及化学物品类多样在各应用领域内都承担重要的功能性作用电子特气为特种气体最重要的一类主要承担电子制造工艺中的清洗蚀刻光刻外延沉积成膜掺杂等重要功能在清洗蚀刻环节中使用较多为含氟特气其他还包括三氯化硼氯化氢高纯二氧化碳等光刻一般使用氪氖氟氖氩氙氖等稀有识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明748TablePageText深度分析专用设备气体混合气外延沉积成膜一般用到高纯氨六氟化钨硅烷等气体掺杂多用磷烷锗烷此外还有砷烷乙硼烷等其他分类包括标准气体医疗气体激光气体等标准气体主要包括高纯碳氢气体等在校准测量等领域有确定材料特性量值测定基础标准的重要功能医疗特气主要包括氧化亚氮医用氧医用环氧乙烷和部分稀有气体等主要用于手术诊断测量科学研究等激光领域特气包括氦氖气等主要作为激光器中的增益放大介质而使用氦氖激光器因稳定的光束质量而在精密测量领域有重要应用食品领域使用特气包括氩八氟环丁烷等电光源特气则包括氩氪氖与混合气等表1特种气体按下游应用领域分类应用大类具体分类包含的主要特种气体各类含氟电子特气三氟化氮高纯四氟化碳高纯六氟乙烷高纯六氟丙烷高纯六氟化硫高纯八氟丙烷高纯一清洗蚀刻气氟甲烷高纯二氟甲烷高纯三氟甲烷氟化氢氯化氢高纯二氧化碳高纯乙烯HBR三氯化硼等泛电子光刻气氪氖混合气氟氖混合气氩氙氖混气等外延气体高纯氨硅烷乙硅烷四氟化硅六氟化钨等沉积成膜掺杂气体乙硼烷三氯化硼磷烷砷烷锗烷等其他应用氮气6N氢气6N氩气55N等高纯碳氢气体配制在物理化学生物工程等领域中用于标准测定标准气体校准测量仪器和测量过程评价准确度和检测能力确定材料的特性量值氧化亚氮医用氧医用二氧化碳血气测定混合气环氧医疗健康医疗气体乙烷部分稀有气体等用于诊断手术研究激光气体氦氖激光气密封束激光气等激光与光源电光源气体氩氪氖氙及其混合气食品食品气体二氧化碳乙炔氩八氟环丁烷等数据来源华特气体年报广发证券发展研究中心特种气体的生产流程主要包括合成纯化分析检测和充装等部分还涉及混配特种气体向上游采购的原料一般为低纯度气体粗产品采购对象包括空分气体企业化工企业生产粗产品的气体公司等在化学原料基础上特种气体的生产工序一般而言包括气体纯化气体混配气体合成气体充装气瓶处理气体分析检测等步骤其中气体合成是原料在特定压力温度催化剂等条件下通过化学反应得到气体粗产品的过程气体纯化是通过精馏吸附等方式精制成更高纯度气体混配是将两种或两种以上有效组分气体按比例混合得到混合气气瓶处理是根据载气性质及需求对气瓶内部内壁表面及外观进行处理气体充装是将气体充入气瓶等压力容器气体分析检测是对气体的成分进行分析检测不同类别特气的反应原理生产工序有所差异且不同客户对同类产品在杂质配比等具体参数上的要求也可能有不同特气厂商更多基于工序和技术水平进行定制化生产以电子特气中使用较多的三氟化氮为例其工艺流程主要包括合成纯化检测和充装首先是将氟化氢氟化氢铵等原材料混合形成熔融电解液并对其进行电解对产生的主产品三氟化氮在进入冷阱后进行收集之后再通过精馏除去杂质而到检测充装等步骤识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明848TablePageText深度分析专用设备图2华特气体特种气体产品的一般纯化流程数据来源华特气体招股书广发证券发展研究中心图3三氟化氮的生产全过程图4六氟化钨的生产全流程数据来源中船特气招股书广发证券发展研究中心数据来源中船特气招股书广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明948TablePageText深度分析专用设备工业气体供气模式包括瓶装供气储槽供气现场制气特种气体一般使用前两种外包工业供气区别于自建一般包括瓶装供应储槽供应现场供气三种模式其中现场制气更多针对需求量大且稳定的大宗气体客户由供应厂商在客户附近建造工厂并通过管道直接提供产品然而特种气体的产品种类较多单一产品在客户使用中占比较小销售存在多品种小批量高频次的特点因而一般使用储槽瓶装等供气模式例如金宏气体的超纯氨氢气氧化亚氮等特气采用储槽钢瓶鱼雷车模式供应氧气氮气等大宗气体则包括了现场制气的供应模式中船特气的特气销售同样采用成品运输销售的模式在验收与确认形式上又包括非寄售寄售两类前者是公司运送至双方约定地点经客户验收合格签收确认收入后者则是运至客户指定地点按合同要求在客户验收合格实际领用后再确认收入华特气体的特气销售模式类似对台积电中芯国际等大客户亦采用寄售模式图5特种气体供应模式一般选择储槽瓶装数据来源法液空官网广发证券发展研究中心二电子特气用于泛电子制造领域新兴产业关键材料电子特气是泛电子类产品生产中的关键性材料包括芯片显示面板光纤医疗等应用广泛且对性能和品质的要求高电子特气在集成电路面板显示光伏等领域广泛应用于光刻刻蚀成膜清洗掺杂沉积等工艺环节对于纯度稳定性包装容器等具有较高的要求电子特种气体生产涉及合成纯化分析检测充装等较多的工艺技术具有较高的技术壁垒以集成电路为例流程中所涉及的电子特气达到上百种贯穿芯片制造全流程中的清洗沉积成膜光刻刻蚀掺杂等关键工艺环节是影响芯片良品率可靠性的关键随着集成电路面板制造工艺的迭代升级线宽的变窄和晶体管密度的升级都对电子特气的纯度稳定性提出了更高要求部分气体纯度需达到6N以上识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1048TablePageText深度分析专用设备图6集成电路制造中使用电子特气的环节标蓝色部分数据来源中船特气招股书广发证券发展研究中心根据气体网以半导体为例电子特气的使用贯穿芯片制造的关键工序主要包括如下环节1化学气相沉积物理成膜包括蒸镀离子镀溅镀等方法但以气体为原料的只有CVD化学气相沉积法对多晶硅薄膜而言通过硅烷等气体在高温环境下沉积而成对砷化镓层而言可利用MOCVD实现卤化物和金属有机物的化学反应2光刻主要使用稀有气体混合气电子特气镭射气体可用来产生光刻机的光源根据光刻光源波长的不同而存在差异需要从工艺角度调整气体配比3刻蚀电子特种气体在电离环境条件下形成等离子体而等离子体进一步可通过物理作用和化学作实现刻蚀的效果硅基主要使用氟基气体4掺杂掺杂工艺本质是在Si中引入III族元素如B形成N型半导体在Si中引入V族元素如NP形成P型半导体而形成PN结扩散和离子注入是掺杂的两种主要工艺扩散是在合适的温度和浓度梯度下用IIIV族元素占据硅原子位置离子注入是将高能杂质离子射入半导体衬底中也是目前应用最广泛的主流掺杂工艺识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1148TablePageText深度分析专用设备图7电子特气在芯片制造各关键环节中的反应机理数据来源气体网广发证券发展研究中心电子特气在显示面板制造工艺中的应用环节与芯片制造具有相似性主要在CVD镀膜刻蚀退火和其他特殊工艺但是平板显示行业使用的特气种类较芯片制造更少用量则更大使用较多的一般是硅烷磷烷氨气三氟化氮六氟化硫四氟化碳五氟乙炔等目前显示面板主流技术路线有LCD液晶显示和OLED有机发光二极管两大类其中OLED又以AMOLED有源驱动为主相较LCD显示OLED可实现超薄柔性折叠设计在反应速度色彩对比度视角的优势更明显但使用寿命则较LCD更短成本也略高因此目前LCD仍占据了大尺寸TV屏的主要市场但OLED在大尺寸TV中小屏的应用渗透率在快速增长据周莉关于半导体平板显示行业特气系统构筑的要点分析OLED面板制造中使用电子特气的种类工序更多LCD使用特气的主要为镀膜刻蚀两大步骤但AMOLED制造中的CVD镀膜EVA封装镀膜刻蚀准分子退火和其他特殊工艺中均会使用到特气其中CVD镀膜和EVA封装镀膜制程中的用气量和流量都较大图8电子显示屏制造中使用特种气体的制程与产品种类显示技术序号涉及制程使用气体1CVD镀膜三氟化氮六氟化硫硅烷氧化亚氮磷烷混氢氨气TFT-LCD2刻蚀三氟甲烷六氟化硫氯气1CVD镀膜EVA封装镀膜硅烷氨气三氟化氮氧化亚氮氢气2刻蚀氯气六氟化硫五氟乙烷制程用二氧化碳AMOLED3ELA准分子退火氯化氢混氢混氦氢氦混合气氙气高纯氦4其他特殊工艺磷烷混氢乙硼烷混氢三甲基硼混氢三氟化硼数据来源周莉关于半导体平板显示行业特气系统构筑的要点分析广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1248TablePageText深度分析专用设备图9a-Si晶体管显示面板中使用各类特气的占比其他5氨气5氯气11六氟化硫5三氟化氮50硅烷24数据来源林德官网广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1348TablePageText深度分析专用设备二新兴需求持续驱动市场规模快速增长一市场体量持续增长整体呈现成长态势从市场规模看我国工业气体市场有望在2025年达到2600亿元市场增速11左右据广钢气体招股书援引的卓创资讯统计2022年全球工业气体市场规模约为1650亿美元2017-2022年CAGR712022年我国工业气体市场约为1930亿元2017-2022年CAGR100整体而言我国工业气体行业起步较发达国家较晚但在外资引入政策推动高新技术发展等因素驱动下市场增速显著高于全球预计随着未来工业的快速发展与产业转型新兴用气需求将带动市场增长从2022到2025年卓创资讯预计我国工业气体市场整体将维持11左右的增速显著高于全球6左右的水平到2025年我国工业气体市场规模有望达到2600亿元图10全球与我国工业气体市场规模变化中国工业气体市场亿元全球工业气体市场亿美元中国工业气体YoY全球工业气体YoY30001425001210200081500610004500200201720182019202020212022E2023E2024E2025E数据来源卓创资讯广钢气体招股书广发证券发展研究中心特种气体主要面向电子医疗等新兴产业技术附加值更高市场扩容速度也更快特种气体在单一品种下产销量规模较小但对纯度精度品种性质都有很高的要求技术与市场壁垒明显在我国经济结构的持续优化下集成电路显示面板光纤通信航空航天医疗环保等新兴产业对经济的贡献度快速增长带动我国特种气体产业快速扩容据亿渡数据我国2022年特种气体市场规模约为409亿元到2026年有望达到808亿元近五年市场增速均维持在15以上显著快于工业气体整体市场从下游应用分布看相对于面向通用及一般制造领域的工业气体而言特种气体则主要面向电子等新兴领域据亿渡数据电子半导体为我国特种气体最重要下游2021年市场占比约43其余主要是化工38医疗环保9等识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1448TablePageText深度分析专用设备图11中国特种气体市场规模变化中国特种气体市场亿元中国特种气体YoY90025800700206001550040010300200510000201720182019202020212022E2023E2024E2025E2026E数据来源亿渡数据广发证券发展研究中心图122021年中国工业气体下游应用分布图132021年中国特种气体下游应用分布医疗环其保9他10钢铁24其他35电子半导体43石油化工18化工38电子产品11其他化学品11数据来源亿渡数据广发证券发展研究中心数据来源亿渡数据广发证券发展研究中心在以半导体显示面板为核心的新兴产业链带动下我国电子特气市场快速扩容随着集成电路及其他相关行业的需求增长电子特气市场规模也呈稳步增长态势据亿渡数据估算2021年我国电子特气市场规模约216亿元在全部特种气体中占比达到63电子特气是集成电路显示面板等领域的关键材料支持蚀刻清洗光刻沉积成膜等重要工序从下游分布上看集成电路43显示面板21LED13为最重要的三大下游领域同时光伏在电子特气的下游占比也达到6识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1548TablePageText深度分析专用设备图14中国特气市场细分规模变化图152021年电子特气下游分布中国电子特气市场亿元其他特气亿元400350其他17300光伏6集成电250路43200LED13150100显示面50板21020172018201920202021数据来源亿渡数据广发证券发展研究中心数据来源亿渡数据广发证券发展研究中心电子特气中市场规模较大的主要是几类清洗蚀刻沉积成膜气体据中船特气招股书和LinxConsulting从2021年全球应用的电子特气看市场规模最大气体的为三氟化氮清洗刻蚀用占比为20其他分别有六氟化钨8沉积成膜六氟丁二烯7刻蚀氨气4沉积成膜硅烷4沉积成膜等从应用工艺环节看以清洗刻蚀和成膜为主部分承担离子注入和光刻的重要功能图16全球电子特气市场规模位列前十气体的市场规模占比情况2520151050数据来源中船特气招股书LinxConsulting广发证券发展研究中心二受益新兴产业迭代下游需求驱动充足特气行业增长的第一重驱动在于全球半导体产业链的快速发展以及技术迭代近年来PC计算机和通信终端等下游需求的牵引带来全球半导体行业的快速扩容据CEIC对SIA数据的统计2022年全球半导体销售额约5741亿美元同比2021年进一步增长33其中2022年亚太美洲欧洲日本半导体销售额分别为3309亿美元1411亿美元539亿美元482亿美元亚太区的主导地位明显2001-2022年各地区半导体销售额CAGR分别为全球70亚太106美洲68欧洲28日本18亚太区半导体产业发展速度明显较快识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1648TablePageText深度分析专用设备图17全球半导体销售额变化情况亚太半导体销售额亿美元美洲半导体销售额亿美元6000欧洲半导体销售额亿美元日本半导体销售额亿美元500040003000200010000数据来源CEICSIA广发证券发展研究中心汽车和工业将推动全球半导体需求的持续增长据SIA和WSTS2022年通信PC电脑汽车消费工业政府应用分别占全球半导体市场的3026141414和2同比2021年汽车消费工业领域的半导体市场规模明显有所增长尽管疲软消费市场和宏观经济一定程度影响了半导体产品的整体需求但随着新能源汽车IoT工业自动化等技术的快速迭代和渗透率提升全球视角下的半导体终端市场将趋于分散汽车和工业将成为半导体需求增长的重要推动力据SIA援引的麦肯锡分析与预测从2021-2030年汽车半导体工业半导体的年复合市场增速分别为14和12而其他应用领域在同期的年复合增速小于10图182021和2022年全球半导体市场分应用占比图19全球半导体市场需求分应用领域预测20212022无线通信有线通信工业电子35消费电子计算和数据汽车电子301200251000208001560010400520000通信PC电脑汽车消费工业政府20192020202120222026E2030E数据来源SIAWSTS广发证券发展研究中心数据来源Omdia麦肯锡SIA广发证券发展研究中心我国集成电路产业快速发展2021年产业销售额已超万亿元据Wind对中国半导体行业协会发布数据的统计2021年我国集成电路产业销售收入达到104583亿元同比增长182近5年平均增速明显高于全球随着我国集成电路产业在技术创新上不断取得新突破当前我国集成电路产业的制造封装技术以及关键设备和材料等领域的发展趋势都逐渐向好随着我国一系列政策的出台我国集成电路产业有望步入高速增长经营改善产品突破环境优化的黄金时期识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1748TablePageText深度分析专用设备图20我国集成电路产业销售额变化情况中国集成电路制造销售额亿元中国集成电路封测销售额亿元中国集成电路设计销售额亿元中国集成电路产业销售额YoY1200050100004030800020600010400002000-100-2020052006200720082009201020112012201320142015201620172018201920202021数据来源Wind中国半导体行业协会广发证券发展研究中心芯片制程对电子特气的精度纯度要求较高因此特气在芯片生产流程中的技术附加值与成本占比均呈现高度稳定由于涉及到镀膜刻蚀光刻等关键工序电子特气是决定集成电路产品良率可靠性和性能的关键例如若CVD气体纯度不足存在的杂质可能会导致薄膜沉积后绝缘层上的导电离子造成器件短路若离子注入气体浓度未达要求则会导致硅片PN结浓度的偏差和电性偏移若光刻气的配比有偏差将造成光刻机光源波长的变化和光刻线宽的偏移因此尽管电子特气在整个半导体制程中的成本占比无法与硅片这类材料相比但属于价值量稳定高产品壁垒和高性能要求的关键核心环节议价能力较强根据中芯国际招股书的披露在2019年中芯国际的所有原材料采购中气体的采购额占比约为8属于采购环节的核心原材料之一图21中芯国际2019年原材料采购结构图22华虹半导体2021年原材料采购结构靶材45其他56其他61研磨垫盘57研磨液83硅片408靶材24备件192硅片443气体80研磨垫盘35光化学阻144研磨品168化学液31品128气体45数据来源中芯国际招股书广发证券发展研究中心数据来源华虹半导体招股书广发证券发展研究中心特气增长的第二重驱动为显示面板行业的发展与迭代全球显示屏TV大屏预计趋稳中小屏稳定增长根据TrendForce的估算2022年全球TV面板出货量约为27195万片同比2021年略增08预计2019-2023年全球TV面板出货量均稳定在26亿片以上同时2022年中小屏显示需求量在消费电子疲软和供应链冲击下有所回落预计2023-2028年将保持较为稳定的市场增长趋势根据深天马援引的Omdia统计全球中小尺寸显示应用主要包括智能手机IT显示器笔电平板车载工业识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1848TablePageText深度分析专用设备品和穿戴等领域从需求量看智能手机在2022年占比约4978将在2023年之后开启恢复式增长IT显示在2022年占比为2199规模相对趋稳在67亿片车载显示则呈现增长趋势预计2028年占比有望达到718需求量达到246亿片其他应用领域在工业等情景推动下亦将稳定增长图23全球TV显示屏出货量图24全球中小显示市场需求量变化趋势百万片全球TV面板出货量百万片智能机显示IT显示车载显示其他30035002503000250020020001501500100100050500002019202020212022E2023E20212022202320242025202620272028数据来源TrendForce广发证券发展研究中心数据来源Omdia深天马定增募集说明书广发证券发展研究中心分技术类别看全球显示市场多种技术并存OLED技术渗透率仍在持续提升对TV屏而言据OLEDNET和UBI的预测由于当前OLED在TV屏市场渗透率仍然较低而中高端TV对OLED有着持续增长的需求预计2023-2027年OLEDTV的出货量增速将维持在10以上明显高于TV屏市场整体稳定略降的增速OLEDTV渗透率有望持续提升在中小屏市场AMOLED技术在移动终端穿戴等驱动下快速渗透据深天马援引的Omdia预测数据预计到2028年全球中小尺寸AMOLED显示面板将达到约1136亿片较2021年的797亿片增长明显市场扩容主要受智能手机智能穿戴笔记本电脑平板电脑车载显示等终端应用领域的驱动a-SiTFTLCD和LTPSTFTLCD的需求量则预计将基本维持在相对稳定的水平未来4K8K超清柔性显示可穿戴等需求将持续带动全球显示屏技术的发展与迭代驱动高世代AMOLED等产线的建设投资对电子特气的需求有望稳中有增据CINNO估算2021年中国大陆显示面板用电子特气全年用量约29万吨较2020年增长26图25全球OLEDTV面板出货量及增速图26全球中小显示市场分技术需求量百万片全球OLEDTV面板出货量百万片YoYAMOLEDa-SiTFTLCDLTPSTFTLCDOxideTFTLCD和其他161440003500141230001210102500882000661500441000225000002023E2024E2025E2026E2027E20212022202320242025202620272028数据来源OLEDNETUBIResearch广发证券发展研究中数据来源Omdia深天马定增募集说明书广发证券发展研心究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明1948TablePageText深度分析专用设备新型显示技术如MiniMicroLED的发展也将驱动特气市场的扩容在目前主流的LCDOLED技术之外MiniMicro-LED等多种新型显示技术也将进入快速发展区间同时新型显示制造厂商也逐渐向高世代产线升级据上文所述电子特种气体广泛应用于LCD及OLED技术中Array段成膜刻蚀等工艺环节在OLED技术中还作为薄膜封装工艺的主要材料而在MiniMicro-LED技术路线下外延片生长和芯片刻蚀涉及到LED芯片制程又需要更多种类电子特气的参与因此随着新型显示技术的发展电子特种气体在新型显示领域发展前景广阔电子特气市场受以电子电气为代表的新兴产业驱动但规模扩容更加平稳我们在分析2010年以来我国电子特气产业规模变化与电气机械和器材产业的联动性后发现整体来看电子特气市场的斜率变化与我国新兴电子产业周期的发展具有联动性如2011年2016年2022年以来的产业增速提振以及2018-2019年的产业下行承压但是电子特气市场的变化相对更为平稳在产业下行阶段受到的负向冲击更小在产业上行期则保持了较高弹性我们认为这是我国特气产业发展仍处成长期特气市场格局较好关键供应商具备议价能力的综合结果展望未来由数字经济云计算等终端需求所驱动的电气电子产业发展确定性不变下游电子设备厂商自主化发展加速均可为我国特种气体产业提供基本支撑图27电子特气市场受电子产业驱动但市场扩容更为平稳中国电子特气行业规模亿元电子特气YoY电气机械和器材制造业营收YoY2503530200252015015101005050-5-100-15201020112012201320142015201620172018201920202021数据来源中国半导体工业协会前瞻产业研究院亿渡数据Wind国家统计局广发证券发展研究中心识别风险发现价值请务必阅读末页的免责声明2048