本土设备厂商的销售额：前道设备继续保持高成长，后道封测设备增速放缓。
　　（1）前道设备：拓荆科技、华海清科增长最快。拓荆科技2022年实现销售收入17.06亿元，同比增长125%，华海清科实现收入16.82亿元，同比增长109%，其次是盛美上海、芯源微，分别增长77%、67%，中微公司、北方华创、中科飞测分别增长52%、39%-61%、25%-66%。
　　（2）前道设备：拓荆科技、盛美上海、中微公司、微导纳米2022年加速成长。拓荆科技2022年实现销售收入17.06亿元，同增125%，增速较2021年显著加快，而盛美上海、中微公司、微导纳米的2022年收入增速也均快于2021年。
　　（3）封测设备：受行业景气度影响，分选测试设备2022年增速放缓。华峰测控、金海通、耐科装备2022年收入增速依次是22%、1%、8%，显著低于2021年的增速。
　　本土设备厂商的盈利能力：前道设备毛利率、扣非净利率显著上升。
　　（1）扣非净利润：拓荆科技2022年实现扭亏为盈，大部分前道设备和零部件公司扣非利润翻倍以上增长。
　　（2）扣非净利率：A股主要半导体设备和零部件平均扣非净利率估计超过16%，相比2021年显著上升4pct以上。拓荆科技上升幅度最大，从2021年-10.8%升至10.4%；其次是盛美上海，从2021年12%升至24%；中微公司、华海清科、北方华创也有十分明显的上升。
　　（3）毛利率：参考2022年前三季度毛利率，前道设备上升明显，其中拓荆科技、华海清科、盛美上海、芯源微、中微公司、北方华创的毛利率均有显著上升。
　　国际设备厂商2022年销售额增速分化，ASM和Axcelis增速最快。
　　根据各家公司公告统计，2021年自然年国际半导体设备主要厂商的销售额1210亿美元，2022年合计1288亿美元，同比增长6.4%。
　　按原始货币单位计算，ASM和Axcelis增速最快，达39%，其次是ADVANTEST，再次是KLA，销售额从2021年82亿美元增长28%至105亿美元。
　　国际设备厂商2022年销售额排名：前三名依次是应用材料、ASML、Lam。
　　按照美元货币单位计算，应用材料2022自然年销售额达到263亿美元，位居全球半导体设备行业第一，其次是阿斯麦，销售额达到223亿美元，位居全球半导体设备行业第二，泛林半导体销售额190.5亿美元，位居行业第三，东京电子和KLA位居第四、第五。
　　国际设备厂商2023Q1销售额：前道设备增速放缓，封测设备普遍负增长。
　　根据各公司公告，2023年第一季度的销售收入增速，普遍放缓。其中，前道设备泛林、东京电子、Onto单季度收入同比增速下降，测试设备泰瑞达、Cohu保持同比负增长，封装设备Besi、ASMPT、K&S、Disco同比负增长。
　　风险分析：科技战压制估值的影响，市场竞争加剧风险，晶圆厂扩产不确定性

研究报告全文：2023年3月6日行业研究本土设备厂商维持高成长半导体设备行业跟踪要点机械行业本土设备厂商的销售额前道设备继续保持高成长后道封测设备增速放缓买入维持1前道设备拓荆科技华海清科增长最快拓荆科技2022年实现销售收入1706亿元同比增长125华海清科实现收入1682亿元同比增长109作者其次是盛美上海芯源微分别增长7767中微公司北方华创中科分析师杨绍辉飞测分别增长5239-6125-66执业证书编号S0930522060001021-525238602前道设备拓荆科技盛美上海中微公司微导纳米2022年加速成长拓荆科技2022年实现销售收入1706亿元同增125增速较2021年显著yangshaohui1ebscncom加快而盛美上海中微公司微导纳米的2022年收入增速也均快于2021年分析师陈佳宁3封测设备受行业景气度影响分选测试设备2022年增速放缓华峰测执业证书编号S0930512120001控金海通耐科装备2022年收入增速依次是2218显著低于2021021-52523851年的增速chenjianingebscncom本土设备厂商的盈利能力前道设备毛利率扣非净利率显著上升联系人林映吟1扣非净利润拓荆科技2022年实现扭亏为盈大部分前道设备和零部件linyingyinebscncom公司扣非利润翻倍以上增长2扣非净利率A股主要半导体设备和零部件平均扣非净利率估计超过16相比2021年显著上升4pct以上拓荆科技上升幅度最大从2021年-108升至104其次是盛美上海从2021年12升至24中微公司华海清科北方华创也有十分明显的上升行业与沪深300指数对比图3毛利率参考2022年前三季度毛利率前道设备上升明显其中拓荆科10技华海清科盛美上海芯源微中微公司北方华创的毛利率均有显著上升0国际设备厂商2022年销售额增速分化ASM和Axcelis增速最快-10-20根据各家公司公告统计2021年自然年国际半导体设备主要厂商的销售额1210-30亿美元2022年合计1288亿美元同比增长6422022205220822112302-40按原始货币单位计算ASM和Axcelis增速最快达39其次是ADVANTEST再次是KLA销售额从2021年82亿美元增长28至105亿美元沪深300机械行业国际设备厂商2022年销售额排名前三名依次是应用材料ASMLLam资料来源Wind相关研报按照美元货币单位计算应用材料2022自然年销售额达到263亿美元位居全球半导体设备行业第一其次是阿斯麦销售额达到223亿美元位居全球半1月PMI升至临界点以上信贷数据超预期装导体设备行业第二泛林半导体销售额1905亿美元位居行业第三东京电子备制造业市场环境向好和KLA位居第四第五机械行业周报2023年第6周25-211光伏铜电镀量产化攻克渐行渐近半导体设备招国际设备厂商2023Q1销售额前道设备增速放缓封测设备普遍负增长投标有望逐季恢复根据各公司公告2023年第一季度的销售收入增速普遍放缓其中前道设机械行业周报2023年第5周129-24备泛林东京电子Onto单季度收入同比增速下降测试设备泰瑞达Cohu芯片的政治属性进一步强化芯片制造工艺国产保持同比负增长封装设备BesiASMPTKSDisco同比负增长化带动国内制造业升级机械行业周报2023年第4周122-128风险分析科技战压制估值的影响市场竞争加剧风险晶圆厂扩产不确定性半导体设备板块有望筑底上行钙钛矿产业化趋势明显机械行业周报2023年第2周18-114半导体设备板块可以适当乐观光伏主产业链价格企稳节奏前移有望催化设备需求机械行业周报2023年第1周11-17半导体行业景气度回升先进制程工艺提升带动设备环节量价齐升机械行业周报2022年第48周1120-1126敬请参阅最后一页特别声明-1-证券研究报告机械行业1本土设备和零部件厂商销售额前道设备继续保持高成长后道封测设备增速放缓前道设备拓荆科技华海清科增长最快拓荆科技2022年实现销售收入1706亿元同比增长125华海清科实现收入1682亿元同比增长109其次是盛美上海芯源微分别增长7767中微公司北方华创中科飞测分别增长5239-6125-66表1半导体设备和零部件本土厂商年度销售额代码公司201720182019202020212022增速688072SH拓荆科技0712514367581706125688120SH华海清科0190362113868051682109688082SH盛美上海25455075710071621287377688037SH芯源微190210213329829138567688012SH中微公司9721639194722733108474052002371SZ北方华创22233324405860569683135-15639-61A21648SH中科飞测-03005623836145-6025-66300604SZ长川科技1802163998041511-688200SH华峰测控149219255397878107122301369SZ联动科技150156148202344-603061SH金海通-1050721854204261301095SZ广立微-031066124198-A22064SH晶升装备--02312219521-238-18688419SH耐科装备0660630871692492698688409SH富创精密-225253481843154383A22580SZ大族封测227201146150342-688147SH微导纳米-04221631342868560合计711791571367222572资料来源各公司公告光大证券研究所单位亿元图1半导体设备和零部件本土厂商年度销售额排名资料来源各公司公告光大证券研究所单位亿元注北方华创中科飞测晶升装备采用2022年收入指引区间中值前道设备拓荆科技盛美上海中微公司微导纳米2022年加速成长拓荆科技22年实现销售收入1706亿元同比增长125增速较2021年显著加快而盛美上海中微公司微导纳米的2022年收入增速也均快于2021年敬请参阅最后一页特别声明-2-证券研究报告机械行业封测设备受行业景气度影响分选测试设备2022年增速放缓华峰测控金海通耐科装备2022年收入增速依次是2218显著低于2021年增速表2半导体设备和零部件本土厂商年度销售额同比增速代码公司20182019202020212022复合增速688072SH拓荆科技2567374125122688120SH华海清科8649183109109145688082SH盛美上海1173833617762688037SH芯源微112541526749688012SH中微公司691917375237002371SZ北方华创5022496039-6146A21648SH中科飞测883245225-6677300604SZ长川科技208510288688200SH华峰测控4716561212248301369SZ联动科技4-53670603061SH金海通-32159127142301095SZ广立微1128760A22064SH晶升装备433598-18688419SH耐科装备-5389547832688409SH富创精密1390758362A22580SZ大族封测-12-273127微导纳米415453760101688147SH平均2949655749资料来源各公司公告光大证券研究所注根据收入公开披露情况拓荆科技中科飞测金海通富创精密微导纳米及平均的复合增速为2018-2022年其他的均为2017-2022年此外复合增速计算过程中北方华创中科飞测晶升装备的2022年收入计算采用收入指引区间的中值扣非净利润拓荆科技2022年实现扭亏为盈大部分前道设备和零部件公司扣非利润翻倍以上增长表3半导体设备和零部件本土厂商年度扣非净利润公司201720182019202020212022增速688072SH拓荆科技--150-062-057-082177扭亏为盈688120SH华海清科-039-068-048015114374228688082SH盛美上海-002071130092195690254688037SH芯源微015020015013064138116688012SH中微公司-069104148023324919183002371SZ北方华创-20807607019780719-24136-198A21648SH中科飞测--058-072-001003-099-045300604SZ长川科技036028-018044193385-45599-135688200SH华峰测控05209110214843550616301369SZ联动科技038044031054125603061SH金海通-026007054153153017301095SZ广立微--003015038050093-1185-118A22064SH晶升装备---016024035016-018688419SH耐科装备-00400703204504910688409SH富创精密--008-060032075180140A22580SZ大族封测--012006053敬请参阅最后一页特别声明-3-证券研究报告机械行业公司201720182019202020212022增速688147SH微导纳米--014053051027027-1合计164313764261660亿元上下100资料来源各公司公告光大证券研究所单位亿元扣非净利率A股主要半导体设备和零部件公司的平均扣非净利率估计超过16相比2021年显著上升4个百分点以上拓荆科技上升幅度最大从2021年-108升至104其次是盛美上海从2021年12升至24中微公司华海清科北方华创也有十分明显的上升表4半导体设备和零部件本土厂商年度扣非净利率公司201720182019202020212022变动pct688072SH拓荆科技-2122-249-131-1081040212688120SH华海清科-2011-1902-2263814222281688082SH盛美上海-0913017292120240120688037SH芯源微829670397710023688012SH中微公司-7164761010419490002371SZ北方华创-932317338314864A21648SH中科飞测-1944-1293-0610300604SZ长川科技200129-4555128688200SH华峰测控353414399372495472-22301369SZ联动科技253286211265365603061SH金海通25295292364359-04301095SZ广立微-110234306254A22064SH晶升装备-701200178688419SH耐科装备707818918118403688409SH富创精密-36-237668911628A22580SZ大族封测8438155688147SH微导纳米-3392451636239-24平均23345611616资料来源各公司公告光大证券研究所毛利率参考2022年前三季度毛利率前道设备上升明显其中拓荆科技华海清科盛美上海芯源微中微公司北方华创的毛利率均有显著上升表5半导体设备和零部件本土厂商年度毛利率代码公司2017201820192020202122Q1-22Q3688072SH拓荆科技317319341440483688120SH华海清科175253313382447474688082SH盛美上海446442451438425489688037SH芯源微417465466426381401688012SH中微公司386355349377434455002371SZ北方华创366384405367394440A21648SH中科飞测237339411490300604SZ长川科技571556512501518541688200SH华峰测控807822818797802771301369SZ联动科技709701682664670656603061SH金海通551572576574574301095SZ广立微916920853765656A22064SH晶升装备422450406371688419SH耐科装备508423411362351敬请参阅最后一页特别声明-4-证券研究报告机械行业代码公司2017201820192020202122Q1-22Q3688409SH332172316320333富创精密A22580SZ大族封测3453653706881微导纳米52154051945837147SH资料来源各公司公告光大证券研究所2国际设备和零部件厂商根据各家公司公告统计2021年自然年国际半导体设备主要厂商的销售额1210亿美元2022年合计1288亿美元同比增长64按照原始货币单位计算其中ASM和Axcelis增速最快达到39其次是ADVANTEST再次是KLA销售额从2021年82亿美元增长28至105亿美元表6半导体设备国际厂商年度销售额及增速年度销售收入原始货币单位年度销售收入亿美元原始货币单位20212022增速20212022增速晶圆制造设备AMAT亿美元24171262539241712625386ASML亿欧元186112117314220112233815TEL亿日元1878021326141709416211-52LAM亿美元1652419050151652419050153KLA亿美元81661048428816610484284SCREEN亿日元394845581535943465-36ASMIntl亿欧元173024113920462544244Onto亿美元7891004277891004272Axcelis亿美元66392039663920389测试设备TER亿美元37043155-1537043155-148ADVANTEST亿日元390752963635564026132TOKYO亿日元123014121511201073-41SEIMITSUCOHU亿美元887813-8887813-84封装设备BESI亿欧元749723-4886763-139KS亿美元17101219-2917101219-287ASMPacific亿美元28392476-1328392476-128DISCO亿日元235527861821442118-12零部件MKS亿美元295035512029503551204AE亿美元145618452714561845267UCT亿美元210223841321022384135ICHOR亿美元109712811710971281167INFICON亿美元51657912516579123VAT亿瑞士法郎9011146279851200218总计12100912875264资料来源各公司公告光大证券研究所折算汇率采用年度平均汇率其中2021年折算汇率1美元10986日元1美元0914瑞士法郎1欧元1183美元2022年折算汇率1美元13155日元1美元0955瑞士法郎1欧元1055美元按照美元货币单位计算应用材料2022自然年销售额达到263亿美元位居全敬请参阅最后一页特别声明-5-证券研究报告机械行业球半导体设备行业第一其次是阿斯麦销售额达到223亿美元位居全球半导体设备行业第二泛林半导体销售额1905亿美元位居行业第三东京电子和KLA位居第四第五图2半导体设备和零部件国际厂商年度销售额排名资料来源各公司公告光大证券研究所单位亿美元据各公司公告2023年第一季度的销售收入增速普遍放缓其中前道设备泛林东京电子Onto单季度收入同比增速下降测试设备泰瑞达Cohu保持同比负增长封装设备BesiASMPTKSDisco同比负增长表7半导体设备国际厂商单季度销售额及增速2022Q42023Q1货币单位收入收入增速收入指引收入增速晶圆制造设备AMAT亿美元673975642ASML亿欧元6432906378TEL亿日元4678-765194-8LAM亿美元52824938-6KLA亿美元29842682353SCREEN亿日元116812412483ASMIntl亿欧元72547766-7032Onto亿美元2531192-17Axcelis亿美元26612942418测试设备TER亿美元732-17359-22ADVANTEST亿日元1380231137217TOKYOSEIMITSU亿日元320194190010COHU亿美元1911-04173-187-9敬请参阅最后一页特别声明-6-证券研究报告机械行业封装设备BESI亿欧元1377-198124-138-35KS亿美元1762-61817-56ASMPacific亿美元5531-307455-525-28DISCO亿日元6583826653-11零部件MKS亿美元1094271035AE亿美元491237395-4355UCT亿美元5664-79395-445-26ICHOR亿美元3025221-24-23INFICON亿美元15941031392VAT亿瑞士法郎29114121-23-16资料来源各公司公告光大证券研究所3风险提示科技战压制估值的影响市场竞争加剧风险晶圆厂扩产敬请参阅最后一页特别声明-7-证券研究报告行业及公司评级体系评级说明行买入未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数15以上业增持未来6-12个月的投资收益率领先市场基准指数5至15及公中性未来6-12个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5至5司减持未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数5至15评卖出未来6-12个月的投资收益率落后市场基准指数15以上级无评级因无法获取必要的资料或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件或者其他原因致使无法给出明确的投资评级A股主板基准为沪深300指数中小盘基准为中小板指创业板基准为创业板指新三板基准为新三板指数港股基准指数为恒生基准指数说明指数分析估值方法的局限性说明本报告所包含的分析基于各种假设不同假设可能导致分析结果出现重大不同本报告采用的各种估值方法及模型均有其局限性估值结果不保证所涉及证券能够在该价格交易分析师声明本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师以勤勉的职业态度专业审慎的研究方法使用合法合规的信息独立客观地出具本报告并对本报告的内容和观点负责负责准备以及撰写本报告的所有研究人员在此保证本研究报告中任何关于发行商或证券所发表的观点均如实反映研究人员的个人观点研究人员获取报酬的评判因素包括研究的质量和准确性客户反馈竞争性因素以及光大证券股份有限公司的整体收益所有研究人员保证他们报酬的任何一部分不曾与不与也将不会与本报告中具体的推荐意见或观点有直接或间接的联系法律主体声明本报告由光大证券股份有限公司制作光大证券股份有限公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格负责本报告在中华人民共和国境内仅为本报告目的不包括港澳台的分销本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格编号已披露在报告首页中国光大证券国际有限公司和EverbrightSecuritiesUKCompanyLimited是光大证券股份有限公司的关联机构特别声明光大证券股份有限公司以下简称本公司创建于1996年系由中国光大集团总公司投资控股的全国性综合类股份制证券公司是中国证监会批准的首批三家创新试点公司之一根据中国证监会核发的经营证券期货业务许可本公司的经营范围包括证券投资咨询业务本公司经营范围证券经纪证券投资咨询与证券交易证券投资活动有关的财务顾问证券承销与保荐证券自营为期货公司提供中间介绍业务证券投资基金代销融资融券业务中国证监会批准的其他业务此外本公司还通过全资或控股子公司开展资产管理直接投资期货基金管理以及香港证券业务本报告由光大证券股份有限公司研究所以下简称光大证券研究所编写以合法获得的我们相信为可靠准确完整的信息为基础但不保证我们所获得的原始信息以及报告所载信息之准确性和完整性光大证券研究所可能将不时补充修订或更新有关信息但不保证及时发布该等更新本报告中的资料意见预测均反映报告初次发布时光大证券研究所的判断可能需随时进行调整且不予通知在任何情况下本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议客户应自主作出投资决策并自行承担投资风险本报告中的信息或所表述的意见并未考虑到个别投资者的具体投资目的财务状况以及特定需求投资者应当充分考虑自身特定状况并完整理解和使用本报告内容不应视本报告为做出投资决策的唯一因素对依据或者使用本报告所造成的一切后果本公司及作者均不承担任何法律责任不同时期本公司可能会撰写并发布与本报告所载信息建议及预测不一致的报告本公司的销售人员交易人员和其他专业人员可能会向客户提供与本报告中观点不同的口头或书面评论或交易策略本公司的资产管理子公司自营部门以及其他投资业务板块可能会独立做出与本报告的意见或建议不相一致的投资决策本公司提醒投资者注意并理解投资证券及投资产品存在的风险在做出投资决策前建议投资者务必向专业人士咨询并谨慎抉择在法律允许的情况下本公司及其附属机构可能持有报告中提及的公司所发行证券的头寸并进行交易也可能为这些公司提供或正在争取提供投资银行财务顾问或金融产品等相关服务投资者应当充分考虑本公司及本公司附属机构就报告内容可能存在的利益冲突勿将本报告作为投资决策的唯一信赖依据本报告根据中华人民共和国法律在中华人民共和国境内分发仅向特定客户传送本报告的版权仅归本公司所有未经书面许可任何机构和个人不得以任何形式任何目的进行翻版复制转载刊登发表篡改或引用如因侵权行为给本公司造成任何直接或间接的损失本公司保留追究一切法律责任的权利所有本报告中使用的商标服务标记及标记均为本公司的商标服务标记及标记光大证券股份有限公司版权所有保留一切权利光大证券研究所上海北京深圳静安区南京西路1266号西城区武定侯街2号福田区深南大道6011号恒隆广场1期办公楼48层泰康国际大厦7层NEO绿景纪元大厦A座17楼光大证券股份有限公司关联机构香港英国中国光大证券国际有限公司EverbrightSecuritiesUKCompanyLimited香港铜锣湾希慎道33号利园一期28楼64CannonStreetLondonUnitedKingdomEC4N6AE敬请参阅最后一页特别声明-8-证券研究报告