投资建议：伴随先进制程、存储芯片等需求增长，下游半导体行业资本开支上行，洁净室各系统需求迎来新一轮扩张。推荐标的：亚翔集成、柏诚股份、圣晖集成。1）暖通空调系统：建议关注美埃科技、创元科技；2）高纯工艺系统：建议关注正帆科技、新莱应材；3）工艺废气治理系统：建议关注盛剑科技。
　　洁净室是集成电路产业的底层基础设施，HVAC系统和高纯工艺系统是洁净室系统的核心。集成电路产线中硅片制造、IC晶圆制造、IC封装核心工序必须在洁净室内完成，且对于洁净度的要求非常高。空气分子污染物影响晶圆制造多个环节工艺，浓度超标可能引发光刻图形缺陷、薄膜不良、器件电性漂移、金属腐蚀等各类良率问题。洁净室是一套高度集成的复杂受控环境体系，其中暖通空调系统、高纯工艺系统和废气治理系统是洁净室系统的核心系统。
　　洁净室系统三大核心系统各司其职。（1）HVAC系统是洁净室的核心环境保障系统，设备+耗材复购属性具备双重成长逻辑。HVAC是洁净室控制AMC的关键系统，其中风机过滤单元（FFU）的高效/超高效过滤器是过滤杂质组分的核心耗材。国外龙头企业爱美克、康菲尔等多为耗材+设备双布局，美埃科技是国内少有的兼具FFU和过滤器生产厂商。江苏苏净所属创元科技业务涉及洁净室多个系统，包括洁净室工程、暖通空调系统、废气系统、超纯水系统等。（2）高纯工艺系统是晶圆厂高纯介质供给核心，国产替代进度较快。高纯特气系统、化学品系统、超纯水系统高端领域海外企业较多，近年来正帆科技、至纯科技逐步实现国产化。产业链上游为零部件厂商，新莱应材已通过美国前二半导体设备厂商认证；中游为系统集成厂商，其中正帆科技布局超纯电子特气和系统集成业务，2026H1新签订单32.3亿元，同比+62%。（3）工艺废气治理系统与生产工艺深度耦合，并非单纯末端环保设施。半导体废气治理组分更复杂，存在剧毒、自燃和易爆的风险，且技术难度要求更高。国内厂商盛剑科技在厂务治理领域已实现突破。
　　亚翔集成属于下游HVAC系统承建厂商，CFD技术领先，且覆盖场景较为全面，与AMC治理相结合。圣晖集成在东南亚布局，先后在越南、泰国、马来西亚、印尼设立本地化子公司。柏诚股份聚焦内地半导体洁净室，重视高毛利二次配业务发展。深桑达A是洁净室集成厂商中少有布局超纯水系统的公司，子公司中电环境曾建设长鑫集电超纯水系统。
　　风险提示：下游半导体资本开支不及预期；行业竞争加剧，毛利率下行风险；项目型业务现金流与回款风险；技术验证与先进制程需求不及预期风险。