事件：公司发布2023年三季报。
　　23Q3营收利润超预期，光伏、半导体在手订单持续增长
　　23Q3公司实现营收6.4亿元，同比增长179%，归母净利润8650万元，同比增长140%，扣非归母净利润6935万元，同比增长119%。23Q1-Q3公司实现营收10.2亿元，同比增长165%；归母净利润1.55亿元，同比扭亏为盈增长1.58亿元，剔除股份支付费用后归母净利润为2.1亿元，实现利润大幅增长。合同负债及存货环比继续增长，2023Q3末合同负债19.7亿元，环比增长27%，存货28.3亿元，环比增长36%。新签订单高增长，目前在手订单充足。23Q3末公司在手订单70.82亿元（含Demo订单），光伏在手订单同比增长244%，半导体在手订单同比增长412%。
　　毛利率保持稳定，费用率环比增加
　　2023Q3毛利率42.0%，同比+3pct，环比持平；净利率13.5%，同比-2.2pct，环比-9.2pct。净利率下滑主要系Q3产生股权支付费用5470万元，影响Q3净利率水平。2023Q3费用率环比增加，管理、销售、财务、研发费用率分别为10.0%、4.6%、0.4%、7.7%，同比+4.8%、1.7%、0.1%、-6.1%，环比+3.9%、-1.4%、+1.7%、-3.2%。随着公司收入规模的增加，规模效应有望逐步显现，释放利润端弹性。
　　半导体设备：构建ALD+CVD双技术平台，受益于国产替代
　　公司形成了ALD技术为核心，CVD等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括ALD、PECVD、LPCVD设备等。ALD设备是先进制程卡脖子设备之一，2022年ALD设备国产化率不足2%，外部管制趋严国产化需求迫切。公司半导体ALD设备处于行业第一梯队，CVD设备走差异化卡位策略，2023年7月首台CVD设备已发货至客户端。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。
　　光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展
　　公司持续丰富光伏产品线，率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。新一代电池方面，公司应用于BC电池的ALD设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿/异质结叠层电池设备已开发实现，新型电池设备有望接力发展。
　　盈利预测：预计2023-2025年营收为15.0、33.8、44.9亿元，同比增长118%、126%、33%，归母净利润1.7、4.4、5.9亿元，同比增长217%、153%、35%，对应PE为114、45、34倍，维持“增持”评级。
　　风险提示：新产品验证进度不及预期风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险