核心结论
　　深耕ALD技术领域，向光伏、半导体领域延伸。公司于2015年成立，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售，基于ALD技术向光伏、半导体领域扩展。全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域，在PERC、TOPCon、XBC以及钙钛矿领域均实现出货；在半导体领域，公司产品可应用于逻辑、存储、3D-IC等镀膜制造领域。
　　光伏N型电池技术加速渗透，公司有望深度受益。光伏领域，公司基于深厚技术积累已研发出ALD、PECVD、PEALD、扩散炉等多款光伏设备产品，并持续推进以ALD为核心的TOPCon整线方案。伴随TOPCon、HJT、XBC技术等N型电池加速渗透，我们预计2025年公司设备市场空间有望达405.9亿元，22-25年CAGR=78%。公司光伏镀膜设备性能参数领先，已覆盖隆基、通威、晶科、天合、晶澳等龙头厂商，形成长期合作关系，有望充分受益N型电池大规模扩产。
　　半导体设备市场快速增长，国产替代空间广阔。逻辑芯片领域，公司在国内首次成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线，打破垄断；存储芯片领域，公司ALD设备在高K栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。我们预计2025年国内ALD设备市场空间有望达126.6亿元，22-25年CAGR=24%。公司半导体ALD产品可沉积金属薄膜，相比沉积非金属薄膜为主的拓荆科技等其他国内厂商具有差异化优势，有望在逻辑、存储、3D-IC等领域快速渗透。
　　投资建议：预计公司23-25年归母净利润分别为1.3/3.13/5.46亿元，同比+139.4%/+141.5%/+74.6%。考虑到公司作为国内ALD设备龙头，光伏、半导体业务持续放量，给予公司24年75xPE，目标价51.75元，首次覆盖给予“买入”评级。
　　风险提示：光伏装机不及预期；新技术渗透不及预期；新产品研发不及预期

研究报告全文：公司深度研究微导纳米ALD设备领军者向光伏半导体延伸布局证券研究报告2023年09月28日微导纳米688147SH首次覆盖报告核心结论公司评级买入股票代码688147SH深耕ALD技术领域向光伏半导体领域延伸公司于2015年成立主要前次评级--从事先进微纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售基于ALD技术向光伏评级变动首次半导体领域扩展全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域在PERC当前价格TOPConXBC以及钙钛矿领域均实现出货在半导体领域公司产品可应用4301于逻辑存储3D-IC等镀膜制造领域近一年股价走势微导纳米光伏加工设备光伏N型电池技术加速渗透公司有望深度受益光伏领域公司基于深厚沪深300技术积累已研发出ALDPECVDPEALD扩散炉等多款光伏设备产品10277并持续推进以ALD为核心的TOPCon整线方案伴随TOPConHJTXBC52技术等N型电池加速渗透我们预计2025年公司设备市场空间有望达4059272亿元22-25年CAGR78公司光伏镀膜设备性能参数领先已覆盖隆-23基通威晶科天合晶澳等龙头厂商形成长期合作关系有望充分受-482022-092023-012023-05益N型电池大规模扩产半导体设备市场快速增长国产替代空间广阔逻辑芯片领域公司在国内分析师首次成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线杨敬梅S0800518020002打破垄断存储芯片领域公司ALD设备在高K栅电容介质层介质覆盖021-38584220层电极阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于DRAM3D-NANDyangjingmeiresearchxbmailcomcn新型存储器等半导体制造领域我们预计2025年国内ALD设备市场空间有相关研究望达1266亿元22-25年CAGR24公司半导体ALD产品可沉积金属薄膜相比沉积非金属薄膜为主的拓荆科技等其他国内厂商具有差异化优势有望在逻辑存储3D-IC等领域快速渗透投资建议预计公司23-25年归母净利润分别为13313546亿元同比13941415746考虑到公司作为国内ALD设备龙头光伏半导体业务持续放量给予公司24年75xPE目标价5175元首次覆盖给予买入评级风险提示光伏装机不及预期新技术渗透不及预期新产品研发不及预期核心数据202120222023E2024E2025E营业收入百万元428685154632754379增长率36960012581119337归母净利润百万元4654130313546增长率-19117413941415746每股收益EPS010012029069120市盈率PE423936101508624358市净率PB221100938166数据来源公司财务报表西部证券研发中心1请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日索引内容目录投资要点5关键假设5区别于市场的观点5股价上涨催化剂5估值与目标价5微导纳米核心指标概览6一深耕ALD技术领域聚焦半导体与光伏领域711以ALD技术为核心向半导体与光伏领域布局延伸712公司业绩持续向好盈利水平行业领先1113股权结构稳定核心员工绑定公司发展14二光伏领域N型电池技术革新ALD设备龙头有望受益1521光伏新增装机量持续高增N型电池高速渗透1522TOPCon电池加速渗透扩展公司ALD设备应用范围1723TOPCon规划产能充足公司设备市场空间广阔1924公司ALD设备性能领先已实现龙头客户全覆盖21三半导体ALD技术的国产领军者2331半导体设备市场空间广阔ALD设备市场快速增长2332ALD技术日益精进解决逻辑存储封装技术难点2533半导体ALD设备突破国外封锁国产替代空间广阔28四盈利预测与投资评级3041关键假设与盈利预测3042估值与投资建议31五风险提示32图表目录图1微导纳米核心指标概览图6图2以ALD技术为核心向半导体光伏领域布局延伸7图32019-2023年H1公司营业收入12图42019-2023年H1公司归母净利润12图5光伏设备为主要营收来源12图62023年H1光伏设备营收占比865512图72023上半年公司净利率显著提升13图8公司管理费用率逐年下降132请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日图92018年-2023H1公司研发费用保持在较高水平14图10公司存货及合同负债屡创新高2023H1分别同比264644336914图11股权结构稳定核心员工绑定公司发展截至2023年9月16日15图122016-2023E全球新增光伏装机量GW16图132016-2023E中国新增光伏装机量GW16图14TOPConXBCHJT正在成为下一代电池技术路线16图15TOPCon电池可兼容PERC产线目前转化效率突破2517图16N型电池TOPConHJTxBC等将逐步取代PERC电池18图17PERC和TOPCon工艺流程和各环节主要设备19图182023年TOPCon总规划产能达1430GW20图192023年半导体设备市场空间有望达1208亿美元23图202022年前道设备占据了整个市场的80-8524图212017-2025年半导体薄膜沉积设备市场快速增长24图222020年ALD设备占据薄膜沉积设备市场的1124图232021年ALD设备行业东晶电子和先晶半导体市占率合计7525图2445nm以下制程的High-k栅介质层沉积需应用ALD技术26图2528nm以下先进制程的FinFET制造工艺需应用ALD技术26图26SADP工艺流程26图27DRAM和NANDFlash占据主导地位27图28ALD精细化镀膜满足高深宽比镀膜要求27图29ALD可实现高深宽比特征下的均匀镀膜27图302022年半导体ALD设备销量大幅增加29图31存储为主要订单来源29表1半导体ALD设备可应用于逻辑存储化合物半导体新型显示等领域8表2公司光伏设备产品主要包括ALDPECVDPEALD二合一设备10表3公司股权激励业绩考核要求15表4多国提出碳中和目标光伏装机需求有望井喷15表5N型电池各具特点其中TOPCon成为23年扩产主力17表6公司已开发设备在光伏领域内应用情况18表7公司设备在PERC产线中投资占比超24在TOPCon产线中投资占比上升至33以上19表82025年公司设备市场空间有望达38288亿元20表9公司光伏行业主要竞争对手21表10公司AlOx镀膜设备产能领先产能按182mm硅片尺寸计算22表11公司光伏镀膜设备性能参数优异22表12产业化生产常用的隧穿掺杂多晶硅层镀膜设备22表13公司已对电池片领先厂商实现较高的客户覆盖233请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日表14预计2024年我国ALD设备市场规模达1266亿元25表15半导体ALD设备突破封锁获重复订单28表16产品性能达到国际同类水平29表17分业务盈利预测单位亿元30表18微导纳米可比公司估值可比公司盈利预测来自Wind一致预期314请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日投资要点关键假设1光伏设备随着N型电池产能TOPConHJTXBC等快速放量N型电池工艺要求逐步提升光伏镀膜设备也向高镀膜质量高稳定性发展根据公司2023年半年报凭借深厚研发沉淀公司产品正广泛采用于国内TOPCon新产线光伏设备订单有望快速放量我们预测2023-2025年公司光伏ALD设备出货量分别提升至100220280台公司PEALDPECVD设备出货量分别提升至120240300台预计2023-2025年光伏镀膜设备营业收入实现124268344亿元同比148116292半导体设备随着集成电路向先进工艺发展对薄膜沉积工艺提出更高要求先进制程推动半导体ALD设备需求迅速增长公司作为国内半导体ALD设备领先厂商面向逻辑存储新型显示等领域推出多款产品有望持续受益客户先进制程扩产我们预测2023-2025年半导体设备有望实现收入152750亿元同比21980853配套产品及服务考虑到存量设备持续增长我们预计2023-2025年配套产品与服务有望实现收入154327438亿元同比3111234区别于市场的观点市场认为全球光伏新增装机量增速放缓公司主业光伏ALD设备作为光伏卖水人ALD设备成长空间有限中长期业绩存疑我们认为公司作为先进微纳米级薄膜沉积设备制造商目前薄膜沉积设备在手订单充足深耕ALD技术向光伏半导体领域扩展随着N型电池加速渗透以及半导体先进制程带来的订单增量打造ALD技术平台型公司业绩有望快速放量股价上涨催化剂TOPCon电池片渗透率持续提升半导体领域ALD设备研发验证进展顺利新技术工艺导入顺利估值与目标价预计公司23-25年归母净利润分别为13313546亿元同比增速分别为13941415746EPS分别为029069120元23-25年对应PE分别为1508624358x我们选取市场上薄膜沉积设备业务相近的上市公司拓荆科技北方华创迈为股份作为估值比较的基础计算出可比公司2023-2025年平均PE分别为463123x截至2023年9月28日考虑到公司作为国内ALD设备领先企业光伏半导体双线发展有望受益N型电池高速渗透及半导体先进制程扩产我们预测2023-2025年归母净利润CAGR10494给予公司2024年75xPE对应目标价为5175元首次覆盖给予买入评级5请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日微导纳米核心指标概览图1微导纳米核心指标概览图资料来源微导纳米官网西部证券研发中心6请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日一深耕ALD技术领域聚焦半导体与光伏领域11以ALD技术为核心向半导体与光伏领域布局延伸公司于2015年成立公司主要从事先进微纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售公司从成立之初便立即开始原型机的研发在ALD技术领域取得重大突破全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域在PERCTOPConXBC以及钙钛矿领域均实现出货同时在半导体领域公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司产品可应用于逻辑存储3D-IC等镀膜制造领域公司以ALD技术为核心向半导体光伏领域布局延伸图2以ALD技术为核心向半导体光伏领域布局延伸资料来源微导纳米官网微导纳米年报Wind西部证券研发中心半导体设备领域ALD设备可应用于逻辑存储化合物半导体新型显示等领域目前公司iTomic系列原子层沉积镀膜系统因制备的High-k材料HfO2可以较好满足28nm逻辑器件的栅氧层工艺已经实现量产此外在新型显示化合物半导体等领域ALD设备已经相对成熟进行产业化应用势在必行公司在半导体领域产品将进一步多元化7请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日表1半导体ALD设备可应用于逻辑存储化合物半导体新型显示等领域产品系列产品图示产品说明设备类型镀膜工艺应用领域产业化阶段HfO2工艺逻辑芯片-高k栅介质层产业化应用适用于高介电常数High-k栅氧层电容器绝缘层工艺产业化验证MIMTSVHfO2逻辑芯片-高k栅介质层iTomic系介质层及金属化等薄膜工艺需单元和多元参杂介质列原子求产品凭借原子级别的精确控-层TALDZrO2工艺产业化验证层沉积镀制沉积薄膜的高覆盖率薄膜沉膜系统积和超薄膜厚的均匀性可为逻辑芯片存储芯片及先进封装提La2O3工艺逻辑芯片-高k栅覆盖层产业化验证供介质层等关键工艺解决方案第三代化合物半导体-钝化TiO2工艺产业化验证层和过渡层采用创新的批量型mini-batch腔体设计可一次处理25片12英寸晶圆适用于成膜镀率低iTomicM厚度要求高以及产能要求高的W系列-关键工艺及应用产品利用特有Al2O3和TiO2硅基微型显示芯片-阻水阻批量式原TALD产业化验证的流场设计具有成膜速度快工艺氧保护层子层沉积占地面积小产能高使用成本镀膜系统低等优势为存储芯片以及Micro-OLED显示器MEMS等提供定制化量产的解决方案采用原创设计开发的自动化平半导体量子器件-超导材料TiN工艺产业化验证台与模块化ALD反应腔相结合导电层可以按需配置PEALD或ThermalALD等工艺需求产品TALDiTomicLit具有强大的兼容性其硬件配置e系列-轻在保持量产机型强大功能的前Al2O3和AlN第三代化合物半导体-钝化型原子层产业化验证提下可满足各类晶圆尺寸6工艺层和过渡层沉积镀膜8英寸量产工艺需求同时也系统可满足客户高端研发和新工艺试量产需求可广泛应用于MEMS光电器件等泛半导体器Al2O3和AlN第三代化合物半导体-钝化PEALD产业化验证件领域工艺层和过渡层iTomicP可根据不同温度要求制备氧化多种氧化物E系列硅氮化硅氮氧化硅等薄膜制PEALD氮化物掺产业化验证等离子体备工艺及应用通过精准快速控杂多重曝光增强原子制成膜速度低反应温度材料8请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日产品系列产品图示产品说明设备类型镀膜工艺应用领域产业化阶段层沉积镀配比等技术完美实现材料厚度膜系统均匀性膜应力热过程以及阶梯覆盖率等极具挑战的工艺需求产品可为逻辑芯片存储芯片先进封装等提供客制化掩膜层介质层图案化等关键工艺解决方案iTronix公司根据下游客户需求独立开氮化硅氧化系列化发或合作开发的CVD产品系硅氮氧化学气相沉列可应用于逻辑存储先进硅非晶硅产业化验证积镀膜系封装显示器件以及化合物半导非晶碳掺杂统体等镀膜领域非晶硅锗硅Trancendor平台系列是微导纳米独立研发的适用于高产能半Trancen导体制程设备的晶圆传输系统dor晶圆该系统可根据客户工艺需要灵真空传输半导体设备晶圆传输平台产业化应用真空传输活挂载一至多个工艺腔体每个系统系统系统工艺腔体可配备一至多个工作站在真空环境下进行快速高效晶圆传输资料来源微导纳米官网西部证券研发中心光伏领域公司光伏设备产品主要包括ALDPECVDPEALD二合一设备和扩散炉系列应用电池制造并可提供TOPCon整线生产设备1PERC电池夸父KF系列TALD设备的Al2O3工艺可应用于PERC电池背面钝化层TOPCon电池正面钝化层XBC电池钝化并探索开发应用于HJT钙钛矿2TOPCon电池祝融ZRPEALD系列集成PEALD和PEVCD技术同一台设备可完成Al2O3膜和SiNX膜以及TOPCon电池隧穿层和掺杂多晶硅层羲和XH系列可用于TOPCon电池扩散退火3钙钛矿叠层后裔HY系列可用于钙钛矿异质结叠层电池的非晶微晶硅基掺杂薄膜阻水阻气保护层等9请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日表2公司光伏设备产品主要包括ALDPECVDPEALD二合一设备产品系列产品图示产品说明设备类型镀膜工艺应用领域产业化阶段PERC电采用先进反应腔体设计和池背面钝薄膜沉积技术可为化层PERCTOPConXBCTOPCon钙钛矿异质结叠层电池等产业化应用电池正面新兴太阳能电池表面钝化钝化层夸父KF系提供高质量超薄钝化膜的XBC电池列原子层沉积制备基于成功量产机型的TALDAl2O3钝化系统设计原理夸父系列ALD钙钛矿薄膜钝化系统是公司原创异质结叠设计的第五代产品兼容层电池等M10-M12硅片尺寸在提产业化验证高效晶硅供超高产能的同时最大程太阳能电度降低设备的运营成本池钝化祝融系列ZR50001管PERC电式PECVD系统突破性解PECVDSiNX产业化应用池减反层祝融ZR管决传统管式PECVD的产式PECVD系能瓶颈可与公司ALD钝统化技术无缝对接确保TOPConPERCTOPConIBCPECVDSiNX电池背面产业化应用TBC等高效电池生产减反层祝融系列ZR50002管式PEALD系统利用公司原创设计的工业级等离子体PERC电PEALD增强原子层沉积PEALDAl2O3池背面钝和产业化应用技术实现了超高产能的批SiNX化层减PECVD量型PEALD镀膜专为接反层触钝化技术TOPCon祝融ZR管HPBCPOLOSHJ和式PEALD系TBC量身定制统祝融系列ZR50003管式PEALD镀膜平台延伸祝TOPConPEALD融系列概念一体式设计实Al2O3电池正面和产业化应用现氮化硅正膜氧化铝背SiNX钝化层PECVD膜氧化硅多晶硅钝化膜减反层一站式完成可实现单道产能翻倍节省占地面积同10请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日时兼具先进的制造执行管理系统MES和自动导引车AGV对接功能在TOPConPEALD隧穿氧化提供超高产能的同时最大电池隧穿和硅掺杂多产业化应用程度降低设备的运营成本层掺杂PECVD晶硅为后PERC高效电池技术多晶硅层提供理想可靠的量产解决方案采用原创设计的高温热场控制技术实现了兼容磷硼两种扩散工艺拥有独创的冷却技术可提升设备与零件的使用寿命同时缩短羲和XH系非晶硅晶TOPCon了工艺时间为PERC和列低压工艺系炉管设备化及掺杂电池扩产业化应用TOPCon等下一代量产高统扩散散退火效电池的提效降本提供了全套的主机及先进的工艺解决方案此外羲和系统也提供退火氧化和低压化学气相沉LPCVD功能专用于钙钛矿异质结叠层电池等新兴太阳能电池的后羿HY非晶微晶掺杂层阻水非晶微晶系列阻氧致密保护层等薄膜材ALD硅基掺杂钙钛矿ALDPEALD料以工业产线模块化为核PEALD薄膜阻水异质结叠开发实现PECVD薄膜心设计思路为客户提供高PECVD阻气保护层电池沉积系统质量高产能高可靠性层等低制备成本低投资成本的先进薄膜设备解决方案资料来源微导纳米官网微导纳米公告西部证券研发中心12公司业绩持续向好盈利水平行业领先公司成长能力优秀营业收入维持高速增长12019-2022年公司实现营业收入分别为216313428685亿元同比增长415453760146CAGR4692公司实现归母净利润分别为055057046054亿元同比增长2935-191722023H12023上半年实现营收382亿元同比14553主要系报告期内在手订单陆续实现收入转化专用设备产品验收数量增长所致2023H1实现归母净利润069亿元同比275主要系公司设备出货量大幅提升按照国家软件产品增值税即征即退的优惠政策公司期内获得的软件退税金额增长较多所致11请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日图32019-2023年H1公司营业收入图42019-2023年H1公司归母净利润营业收入亿元yoy右轴归母净利润亿元yoy右轴8450083504156850697400072933002756350057060550542503005428050462003822504313200041503216146150031002100025016050174537015000-1920192020202120222023H10-5020192020202120222023H1资料来源Wind西部证券研发中心资料来源Wind西部证券研发中心公司营收主要来自光伏设备半导体业务实现突破2019-2023H1公司光伏设备营收占比分别为9496647387一直是公司主要的营收来源2021-2023H1半导体设备营收占比分别为674实现了营收突破拓展了公司营收来源2021年配套产品及服务营收占比30同比增长较快主要是光伏电池硅片大尺寸化公司臭氧工艺的推广带动配套产品及服务营收占比的提升图5光伏设备为主要营收来源图62023年H1光伏设备营收占比8655015100894904368070光伏60半导体5040配套产品及服务30865520其他10020192020202120222023H1其他配套产品及服务半导体光伏资料来源Wind西部证券研发中心资料来源微导纳米2023年半年度报告西部证券研发中心公司毛利率保持较高水平2023H1净利润显著提升2019-2022年公司毛利率分别为54524642毛利率逐年下降主要系市场竞争激烈公司按照市场定价导致毛利率降低2023上半年公司净利率显著提升主要系公司设备出货量大幅提升按照国家软件产品增值税即征即退的优惠政策公司期内获得的软件退税金额增长较多所致12请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日图72023上半年公司净利率显著提升毛利率净利率6054525046424340302518201118810020192020202120222023H1资料来源Wind西部证券研发中心公司三费逐见成效呈逐年下降趋势2020-2021年公司管理费用率包含研发费用明显上升主要系公司拓展业务领域提高研发实力而扩充了管理研发等人员2022-2023H1随着公司营收大幅度增长以及规模效应影响之下公司财务管理费用率包含研发费用逐年下降图8公司管理费用率逐年下降35销售费用率管理费用率包含研发费用财务费用率2870302751264823872519522015926785106637615468057051-009153-137020192020202120222023H1-5资料来源Wind西部证券研发中心公司高度重视研发研发投入稳步增长公司研发费用稳步增长从2019年的310905万元增加至2022年的1383954万元并将持续都维持较高水平2022年公司研发费用率有所下降原因为公司营收增长显著2023H1公司研发费用为639004万元研发费用率为1672仍维持在较高水平公司持续加大研发投入增强技术创新能力针对光伏设备持续研发同时向半导体领域延伸进一步拓展了公司技术储备13请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日图92018年-2023H1公司研发费用保持在较高水平研发费用万元研发费用率1600025226813839541400020222012000167217199704001000014411580006390045373476000104000310905520000020192020202120222023H1资料来源Wind西部证券研发中心公司在手订单持续增长有力支撑未来业绩截至2023年6月30日公司存货及合同负债达历史新高分别为2091554亿元同比2646443369公司在手专用设备订单增长至约6253亿元其中光伏设备订单5621亿元半导体设备订单548亿元其他设备订单8461万元图10公司存货及合同负债屡创新高2023H1分别同比2646443369存货百万元合同负债百万元存货yoy合同负债yoy250050020901345020004001553893503001500250975382001000150625231003431540297500232542735650155851245900-50201820192020202120222023H1资料来源Wind西部证券研发中心13股权结构稳定核心员工绑定公司发展公司股权结构稳定实控人合计持股6060王燕清倪亚兰王磊组成的家族间接控制公司6060的股份系公司实际控制人王燕清倪亚兰系夫妻关系王磊系王燕清倪亚兰之子公司创始人兼核心技术人员LIWEIMINGLIXIANG持股合计1386管理合伙人26人通过聚海盈管理合计持有公司股份832高管与核心技术人员专项资产管理计划合计持股08814请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日图11股权结构稳定核心员工绑定公司发展截至2023年9月16日资料来源微导纳米2023年半年度报告Wind西部证券研发中心实施股权激励深度绑定核心员工公司研发队伍人员不断充实截至2023年6月30日公司研发人员达到303人同比增长4807目前已形成了一支结构合理分工明确专业知识储备深厚产线验证经验丰富的研发团队2023年3月29日公司向322名激励对象授予142568万股限制性股票公司核心员工深度绑定公司发展表3公司股权激励业绩考核要求AB类激励对象归属期业绩考核目标第一个归属期以2022年营业收入为基数2023年营业收入增长率不低于35第二个归属期以2022年营业收入为基数2024年营业收入增长率不低于82第三个归属期以2022年营业收入为基数2025年营业收入增长率不低于146第四个归属期以2022年营业收入为基数2026年营业收入增长率不低于232第五个归属期以2022年营业收入为基数2027年营业收入增长率不低于348资料来源微导纳米2023年限制性股票激励计划西部证券研发中心二光伏领域N型电池技术革新ALD设备龙头有望受益21光伏新增装机量持续高增N型电池高速渗透全球碳中和目标确定国内国际光伏市场持续高增在全球碳中和共识地缘政治紧张以及能源短缺的背景下各国能源结构加速向可再生能源转型我国于22年6月十四五可再生能源发展规划中提到到2025年可再生能源年发电量达到33万亿千瓦时左右十四五期间可再生能源发电量增量在全社会用电量增量中的占比超过50风电和太阳能发电量实现翻倍表4多国提出碳中和目标光伏装机需求有望井喷承诺碳中和的部分国家和地区承诺类型国家和地区承诺年份已实现不丹苏里南已立法瑞典2045英国2050法国2050丹麦2050新西兰2050匈牙利205015请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日立法中韩国2050欧盟2050西班牙2050智利2050斐济2050加拿大2050政策宣示乌拉圭2030芬兰2035奥地利2040冰岛2040美国加州2045德国2050瑞士2050挪威2050爱尔兰2050葡萄牙2050哥斯达黎加2050马绍尔群岛2050斯洛文尼亚2050马绍尔群岛2050南非2050日本2050中国2060新加坡本世纪下半叶早期中国香港2050资料来源ECIU西部证券研发中心双碳目标大势所趋光伏行业中长期成长态势确定2023年全球新增光伏装机量有望超350GW同比5344连续5年保持超两位数增长2023年国内新增光伏装机量有望达95GW同比87随着光伏发电成本持续下降以及能源转型的持续推进未来光伏装机量仍有望保持强劲增长态势图122016-2023E全球新增光伏装机量GW图132016-2023E中国新增光伏装机量GW全球新增光伏装机量GWYOY全国新增光伏装机量GWYOY40060100150508030010040602003050204010001020000-5020162017201820192020202120222023E20162017201820192020202120222023E资料来源TrendForce西部证券研发中心资料来源CPIA西部证券研发中心P型电池接近效率极限N型电池优势明显P型电池原材料为P型硅片N型电池原材料为N型硅片目前主流的P型单晶电池技术为PERC电池技术该技术制造工艺简单成本低随着P型电池逐渐接近其转换效率极限极限效率245N型将成为下一代电池技术的发展方向N型电池具有转换效率高双面率高温度系数低载流子寿命更长等优点主要N型路线包括TOPConIBCHJT等图14TOPConXBCHJT正在成为下一代电池技术路线资料来源摩尔光伏西部证券研发中心三种N型电池技术路线工艺复杂度兼容性各具特点TOCPon成为当前主力1TOPCon电池工序为12道左右可基于PERC电池产线兼容改造技术已经较为成熟目前具有性价比优势23年已成为厂商扩产绝对主力16请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日2HJT电池4-6道工序较TOPCon大幅缩减提效潜力巨大但是设备投资额成本高昂且完全不兼容传统PERC产线需要进一步优化产线设备提升经济性3IBC电池目前效率最高的技术路径但是技术相对难度高工艺复杂设备投资额相对昂贵技术难题仍需进一步解决表5N型电池各具特点其中TOPCon成为23年扩产主力项目PERCTOPConHJTIBC工艺量产性非常成熟可量产技术爬坡技术储备技术难度低中等高高工序步骤9-1012-13411-13电池生产理论极限效率245287285291较好可与PERC产线兼容现有产线兼客性成熟完全不兼容部分兼容升级成本目前适用硅片尺寸182mm210mm182mm210mm182mm210mm-单GW设备投资额亿元12-1517-1935-3735-38晶科能源隆基股份通威股份琏升科技隆基股份中环股份目前布局规划厂商当下主流技术中来股份天合光能等东方日升华晟新能源等爱旭股份资料来源普乐新能源北极星光伏网西部证券研发中心22TOPCon电池加速渗透扩展公司ALD设备应用范围TOPCon电池转换效率上限接近29远超PERC极限效率245TOPCon隧穿氧化层钝化接触电池采用N型硅材料作为衬底硼扩散形成发射极背面采用一层超薄氧化层和掺杂多晶硅层钝化层双面丝网形成金属电极TOPCon优势之一是其理论转化率上限可到287接近晶硅极限的29TOPCon与PERC产线兼容性高新增投资成本较低单GW新增近03-05亿元从生产工艺步骤来看TOPCon与现有PERC产线的兼容性较好最大程度的保留和利用现有P型电池设备工艺流程根据Solarzoom报道在PERC产线上添加硼扩散薄膜沉积等设备即可升级到TOPCon产线新增设备投资额仅有03-05亿元GW因此将PERC改造成TOPCon是拉长设备应用周期的较优选择图15TOPCon电池可兼容PERC产线目前转化效率突破25资料来源TOPCon电池技术分析西部证券研发中心TOPCon较PERC有明显优势率先开启渗透TOPCon相比PERC具有双面率高衰减低温度系数低弱光效应好等优势并比其余N型电池更具性价比根据CPIA17请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日2019-2021年新建电池产线以PERC为主2022年下半年N型电池片产能陆续释放N型占比合计达到91其中TOPCon电池片市场占比约83为当前N型电池片绝对主流技术预计2023年N型电池TOPConHJTXBC占比将达到225其中TOPCon市场占比有望提升至181图16N型电池TOPConHJTxBC等将逐步取代PERC电池资料来源CPIA西部证券研发中心公司面向光伏领域开发多款薄膜沉积设备应用前景广阔公司基于ALD深厚底蕴已研发出多款光伏设备产品ALDPECVDPEALD扩散炉等并持续推进以ALD为核心的TOPCon整线方案公司设备在不同电池技术中应用范围如下1PERC公司设备主要应用于PERC电池的钝化层以及减反层制备其中Al2O3主要采用ALD设备沉积SiNx薄膜主要采用PECVD设备沉积此外也可在一台PEALD二合一设备中先后完成Al2O3SiNx薄膜的沉积2TOPCon由于TOPCon产线可由PERC产线上新增设备升级而来因此在PERC电池原有设备之外新增了TOPCon电池隧穿层和掺杂多晶硅层的镀膜设备需求3钙钛矿HJTHJT制造环节中的非晶微晶硅沉积和透明导电膜TCO以及钙钛矿封装均需用到薄膜沉积设备公司相关设备正处于开发验证阶段表6公司已开发设备在光伏领域内应用情况产品系列设备类型镀膜工艺目前应用领域产业化阶段夸父KF系列原子层沉积ALDPERC电池背面钝化层TOPCon电池TALDAl2O3工艺产业化应用系统正面钝化层PECVDSiNX工艺PERC电池减反层产业化应用夸父KF管式PECVD系统PECVDSiNX工艺TOPCon电池背面减反层产业化应用PEALD和PECVDAl2O3和SiNX二合一工艺PERC电池背面钝化层减反层产业化应用祝融ZR管式PEALD系统PEALD和PECVDAl2O3和SiNX二合一工艺TOPCon电池正面钝化层减反层产业化应用PEALD和PECVD隧穿层和掺杂多晶硅层二合一工艺TOPCon电池隧穿层掺杂多晶硅层产业化应用羲和XH低压扩散炉系统炉管设备非晶硅晶化及掺杂扩散TOPCon电池扩散退火产业化应用后羿HY系列ALDPEALDPECVD非晶微晶硅基掺杂薄膜阻ALDPEALDPECVD钙钛矿HJT叠层电池开发实现薄膜沉积系统水阻气保护层等资料来源微导纳米招股说明书微导纳米年报西部证券研发中心18请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日图17PERC和TOPCon工艺流程和各环节主要设备资料来源微导纳米招股说明书西部证券研发中心注虚线框内为公司可生产设备23TOPCon规划产能充足公司设备市场空间广阔公司设备在PERC产线中投资占比超24在TOPCon产线中投资占比上升至33以上根据上市公司披露的项目投资明细TOPCon含未披露具体技术类型的N型电池产线每GW平均投资规模高于PERC产线公司研发生产的设备在PERC产线建设中的投资占比为2471-2673在TOPCon含N型电池产线建设中的投资比重上升至3300-3912表7公司设备在PERC产线中投资占比超24在TOPCon产线中投资占比上升至33以上设备投资总额薄膜沉积等设备投上市公司时间项目电池类型及规模亿元资占比中来股份20215年产16GW高效单晶电池智能工厂项目一期TOPCon电池8GW20253643隆基股份20215西咸乐叶年产15GW单晶高效单晶电池项目TOPCon电池15GW46643457隆基股份20215宁夏乐叶年产5GW单晶高效电池项目一期3GWN型电池3GW10153300爱旭股份20214珠海年产65GW新世代高效晶硅太阳能电池建设项目N型电池65GW36153734爱旭股份20214义乌年产10GW新世代高效太阳能电池项目第一阶段2GW建设项目N型电池2GW11333663天合光能202012盐城年产16GW高效太阳能电池项目PERC电池16GW54212471天合光能202012年产10GW高效太阳能电池项目宿迁二期5GWPERC电池5GW16992673天合光能202012宿迁三期年产8GW高效太阳能电池项目TOPCon电池8GW31413912通威太阳能20208年产75GW高效晶硅太阳能电池智能工厂项目眉山二期PERC电池75GW17782617通威太阳能20208年产75GW高效晶硅太阳能电池智能互联工厂项目金堂一期PERC电池75GW18722485资料来源微导纳米招股说明书西部证券研发中心2023年各厂商TOPCon规划产能合计达1430GW得益于TOPCon产线兼容性好19请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明西部证券公司深度研究微导纳米2023年09月28日性价比高人才储备充足22年以来TOPCon产能高速增长根据各光伏厂商的扩产规划2023年以来行业TOPCon电池产能规划已经超过1000GW从区域角度华东地区安徽江苏浙江以405GW3361GW1463GW的产能遥遥领先西南华北西北等地区分布呈集群效应图182023年TOPCon总规划产能达1430GW资料来源SMM西部证券研发中心N型电池扩产有力支撑镀膜设备业绩2025年公司设备市场空间有望达4059亿元2022-2025年CAGR78核心假设如下1根据微导纳米招股说明书披露的设备价值量我们假设2021-2025年公司镀膜设备占TOPCon设备投资额的36公司设备在XBC电池生产工序中价值占比与TOPCon相近取为35公司ALD设备可用于钙钛矿的阻水阻气保护层制备价值量占整线的102各厂商TOPCon总规划产能达1430GW我们预测将于2023-2025年逐步释放232425年新增TOPCon产能分别达330480620GW3XBC钙钛矿作为新型技术正处于研发验证阶段预计XBC电池232425年新增产能分别为333540GW钙钛矿电池232425年新增产能分别为461025GW表82025年公司设备市场空间有望达38288亿元202120222023E2024E2025ETOPCon电池产能GW10744048841504当年新增产能GW1064330480620单GW设备投资额2321181616公司涉及设备占比3636363636TOPCon公司设备投资额亿元8348421382765357120请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明