事件：公司发布2023年前三季度业绩预告，预计2023年前三季度营业收入9.7-10.7亿元，同比增长152%至178%。
　　单三季度营收增长超预期，在手订单充足保障业绩
　　23Q3预计营收5.9-6.9亿元，同比增长156%-200%，23Q3营收中值6.4亿元，同比增长179%。23年上半年新签订单高增长，目前在手订单充足。截至23H1，公司在手设备订单约62.5亿，其中光伏设备订单56.2亿，半导体设备订单5.5亿元。据我们测算，上半年公司光伏设备新增订单约40亿，半导体设备新增订单约3亿。
　　半导体设备：构建ALD+CVD双技术平台，已推出多款CVD设备
　　公司形成了ALD技术为核心，CVD等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括ALD、PECVD、LPCVD设备等。ALD设备方面，TALD、PEALD均有成熟机型，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示领域获得订单，未来有望继续多点开花。已推出多款CVD设备，PECVD设备可沉积SiO2、SiN、Lok等，LPCVD设备可沉积SiGe、p-Si、dopeda-Si、SiO2、SiN等。2023年7月首台CVD设备已发货至客户端。
　　光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展
　　公司持续丰富光伏产品线，率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。新一代电池方面，公司应用于BC电池的ALD设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿/异质结叠层电池设备已开发实现，新型电池设备有望接力发展。
　　半导体薄膜沉积设备国产化率低，外部制裁下国产替代需求迫切
　　ALD设备是先进制程核心设备之一，美国、荷兰均将ALD设备纳入管制半导体出口管制范围，当前国产化需求迫切。2022年ALD设备国产化率不足2%，外部管制趋严国产化率有望加速提升。随着公司由ALD向CVD设备扩张，公司可覆盖的国内市场空间由50亿元扩展至300亿元市场。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。
　　盈利预测：预计2023-2025年营收为15.0、33.8、44.9亿元，同比增长118%、126%、33%，归母净利润1.5、3.9、5.3亿元，同比增长182%、157%、34%，对应PE为122、48、36倍。维持“增持”评级。
　　风险提示：新产品验证进度不及预期风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险