投资要点
　　事件：10月17日，美国商务部工业和安全局（BIS）公布新半导体管制规则及新纳入中国企业进入实体清单，主要内容包括:
　　1、更新《半导体制造项目出口管制暂行最终规则( SMEIFR）》。1）细化半导体设备管制范围。2）细化美国人员限制，确保美国公司无法提供支持。3）扩大条例适用国家/地区的范围，将适用对象扩大至美国实施武器禁运的21个国家。
　　2、更新《先进计算芯片规则（AC/SIFR）》：1）设置性能密度阈值，防止通过使用Chiplet技术来绕过对完整芯片的限制。2）出口许可要求扩大到美国维持武器禁运的所有22个国家以及中国澳门。
　　3、《实体清单》：将壁仞科技、摩尔线程及其子公司共13个实体列入实体清单。
　　半导体设备管制范围再细化，关注细分环节国产化机会
　　新规中对半导体设备的限制条件进行了细化，主要仍然针对先进制程半导体设备，新增/细化内容包括：a.外延设备，包括硅、碳掺杂硅、硅锗或碳掺杂硅锗的外延设备。b.离子注入设备。c.刻蚀设备，包括同向干法刻蚀、原子层刻蚀、用于湿法刻蚀且硅锗与硅的刻蚀选择性比为100倍或更高的设备。d.沉积设备，用于金属互联的阻挡层、衬垫层、种子层、顶盖层的金属沉积设备、PECVD设备（碳硬掩模、低氟钨等）、ALD设备等。e.部分光刻设备。f.用于设计EUV掩模的离子束或物理气相沉积设备。g.用于先进节点制造的退火、清洗设备。
　　1、关注外延设备国产化进展，北方华创、中微公司处于领先地位。外延设备是先进芯片制造关键设备之一。根据ASMI，2020年全球半导体外延设备市场8亿美元，预计2025年将增长至15-18亿美元。当前全球半导体外延设备市场主要由应用材料、ASMI等公司占据，目前国产化率极低。北方华创目前具备多种材料外延生长技术能力，可生长包括单晶硅、多晶硅、碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、磷化铟（InP）等，已实现4英寸到12英寸设备全覆盖。中微公司积极推进先进制程中锗硅外延设备研发。
　　2、ALD设备国产化迎来加速，微导纳米、拓荆科技、北方华创实现突破。ALD设备主要用于28nm及以下先进芯片的生产。2022年我国ALD设备国产化率不足2%，处于极低水平，国产设备厂商微导、拓荆、华创实现突破。微导纳米ALD设备布局广，TALD、PEALD两大工艺类型全覆盖，可镀HfO2、ZrO2、La2O3、TiO2、Al2O3、AlN、TiN等多种材料。拓荆科技PEALD进展较快，积极推动TALD验证。北方华创承担ALD设备02专项研发，布局TALD、PEALD，产品应用于集成电路等多个领域。
　　美国新一轮管制利空落地，看好后续国内设备资本开支+国产化驱动
　　预计2024年全球半导体行业有望迎来周期复苏，半导体资本开支有望迎来上行周期，SEMI预计2024年全球半导体设备销售额回升至1000亿美元，同比+14%。随着行业周期回暖、下游稼动率回升，国内半导体行业资本开支有望提升。成熟及先进制程设备在各个工艺环节验证加速，国产化率有望全面提升，带动24年半导体设备订单增长。
　　投资建议：半导体管制新规利空落地，看好设备国产化加速。推荐低估值的设备龙头北方华创，细分环节龙头微导纳米、中微公司、拓荆科技、精测电子、芯源微，关注盛美上海、华海清科等。
　　风险提示：下游需求不及预期、翻译误差
　　

研究报告全文：证券研究报告行业点评机械设备机械设备报告日期2023年10月18日美国升级芯片和半导体设备禁令半导体设备国产化再提速AI半导体设备点评报告投资要点行业评级看好维持事件10月17日美国商务部工业和安全局BIS公布新半导体管制规则及新纳入分析师邱世梁中国企业进入实体清单主要内容包括执业证书号S12305200500011更新半导体制造项目出口管制暂行最终规则SMEIFR1细化半导体设备管制qiushiliangstockecomcn范围2细化美国人员限制确保美国公司无法提供支持3扩大条例适用国家地区分析师王华君的范围将适用对象扩大至美国实施武器禁运的21个国家执业证书号S1230520080005wanghuajunstockecomcn2更新先进计算芯片规则ACSIFR1设置性能密度阈值防止通过使用Chiplet技术来绕过对完整芯片的限制2出口许可要求扩大到美国维持武器禁运的所有研究助理王一帆wangyifan01stockecomcn22个国家以及中国澳门3实体清单将壁仞科技摩尔线程及其子公司共13个实体列入实体清单相关报告半导体设备管制范围再细化关注细分环节国产化机会1浙商机械人形机器人新规中对半导体设备的限制条件进行了细化主要仍然针对先进制程半导体设备新增2023年中报总结业绩稳健复细化内容包括a外延设备包括硅碳掺杂硅硅锗或碳掺杂硅锗的外延设备b离子苏聚焦人形趋势20231017注入设备c刻蚀设备包括同向干法刻蚀原子层刻蚀用于湿法刻蚀且硅锗与硅的刻2工业气体气价将拐点转正蚀选择性比为100倍或更高的设备d沉积设备用于金属互联的阻挡层衬垫层种子向上10月第2周零售气价同层顶盖层的金属沉积设备PECVD设备碳硬掩模低氟钨等ALD设备等e部比持平20231016分光刻设备f用于设计EUV掩模的离子束或物理气相沉积设备g用于先进节点制造38月叉车海外销量增幅提的退火清洗设备升电动化与国际化趋势持续增1关注外延设备国产化进展北方华创中微公司处于领先地位外延设备是先进芯片强20231016制造关键设备之一根据ASMI2020年全球半导体外延设备市场8亿美元预计2025年将增长至15-18亿美元当前全球半导体外延设备市场主要由应用材料ASMI等公司占据目前国产化率极低北方华创目前具备多种材料外延生长技术能力可生长包括单晶硅多晶硅碳化硅SiC氮化镓GaN磷化铟InP等已实现4英寸到12英寸设备全覆盖中微公司积极推进先进制程中锗硅外延设备研发2ALD设备国产化迎来加速微导纳米拓荆科技北方华创实现突破ALD设备主要用于28nm及以下先进芯片的生产2022年我国ALD设备国产化率不足2处于极低水平国产设备厂商微导拓荆华创实现突破微导纳米ALD设备布局广TALDPEALD两大工艺类型全覆盖可镀HfO2ZrO2La2O3TiO2Al2O3AlNTiN等多种材料拓荆科技PEALD进展较快积极推动TALD验证北方华创承担ALD设备02专项研发布局TALDPEALD产品应用于集成电路等多个领域美国新一轮管制利空落地看好后续国内设备资本开支国产化驱动预计2024年全球半导体行业有望迎来周期复苏半导体资本开支有望迎来上行周期SEMI预计2024年全球半导体设备销售额回升至1000亿美元同比14随着行业周期回暖下游稼动率回升国内半导体行业资本开支有望提升成熟及先进制程设备在各个工艺环节验证加速国产化率有望全面提升带动24年半导体设备订单增长投资建议半导体管制新规利空落地看好设备国产化加速推荐低估值的设备龙头北方华创细分环节龙头微导纳米中微公司拓荆科技精测电子芯源微关注盛美上海华海清科等风险提示下游需求不及预期翻译误差httpwwwstockecomcn12请务必阅读正文之后的免责条款部分行业点评股票投资评级说明以报告日后的6个月内证券相对于沪深300指数的涨跌幅为标准定义如下1买入相对于沪深300指数表现20以上2增持相对于沪深300指数表现10203中性相对于沪深300指数表现1010之间波动4减持相对于沪深300指数表现10以下行业的投资评级以报告日后的6个月内行业指数相对于沪深300指数的涨跌幅为标准定义如下1看好行业指数相对于沪深300指数表现10以上2中性行业指数相对于沪深300指数表现1010以上3看淡行业指数相对于沪深300指数表现10以下我们在此提醒您不同证券研究机构采用不同的评级术语及评级标准我们采用的是相对评级体系表示投资的相对比重建议投资者买入或者卖出证券的决定取决于个人的实际情况比如当前的持仓结构以及其他需要考虑的因素投资者不应仅仅依靠投资评级来推断结论法律声明及风险提示本报告由浙商证券股份有限公司已具备中国证监会批复的证券投资咨询业务资格经营许可证编号为Z39833000制作本报告中的信息均来源于我们认为可靠的已公开资料但浙商证券股份有限公司及其关联机构以下统称本公司对这些信息的真实性准确性及完整性不作任何保证也不保证所包含的信息和建议不发生任何变更本公司没有将变更的信息和建议向报告所有接收者进行更新的义务本报告仅供本公司的客户作参考之用本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户本报告仅反映报告作者的出具日的观点和判断在任何情况下本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议投资者应当对本报告中的信息和意见进行独立评估并应同时考量各自的投资目的财务状况和特定需求对依据或者使用本报告所造成的一切后果本公司及或其关联人员均不承担任何法律责任本公司的交易人员以及其他专业人士可能会依据不同假设和标准采用不同的分析方法而口头或书面发表与本报告意见及建议不一致的市场评论和或交易观点本公司没有将此意见及建议向报告所有接收者进行更新的义务本公司的资产管理公司自营部门以及其他投资业务部门可能独立做出与本报告中的意见或建议不一致的投资决策本报告版权均归本公司所有未经本公司事先书面授权任何机构或个人不得以任何形式复制发布传播本报告的全部或部分内容经授权刊载转发本报告或者摘要的应当注明本报告发布人和发布日期并提示使用本报告的风险未经授权或未按要求刊载转发本报告的应当承担相应的法律责任本公司将保留向其追究法律责任的权利浙商证券研究所上海总部地址杨高南路729号陆家嘴世纪金融广场1号楼25层北京地址北京市东城区朝阳门北大街8号富华大厦E座4层深圳地址广东省深圳市福田区广电金融中心33层上海总部邮政编码200127上海总部电话862180108518上海总部传真862180106010浙商证券研究所httpswwwstockecomcnhttpwwwstockecomcn22请务必阅读正文之后的免责条款部分