研究背景：我们选取10家主要半导体前道设备公司北方华创/中微公司/拓荆科技/盛美上海/华海清科/精测电子/中科飞测/芯源微/万业企业/至纯科技，6家主要半导体后道设备企业华峰测控/长川科技/光力科技/金海通/联动科技/耐科装备，7家主要半导体设备零部件企业新莱应材/富创精密/英杰电气/正帆科技/华亚智能/汉钟精机/江丰电子对各板块2023Q2经营情况进行总结和分析；并选取半导体设备（中信）指数，分析回顾半导体设备板块2023Q1末以来市场表现；综合得出结论：当前维度下，“周期复苏”左右大客户新订单预期，“先进工艺突破”左右短期情绪与长期成长天花板；前者利好β，后者贡献催化与α估值溢价。因此，我们建议基于β，综合考虑板块情绪与α溢价择时布局。
　　2023Q1半导体设备板块市场及经营情况概述：
　　市场表现：除大盘因素外，板块内部在“减持”和“美/日/荷出口管制加码”压力下自4月20日高位至今回调约20.2%。
　　前道设备：核心工艺设备继续高增，低国产化率量检测设备持续突破
　　1）收入端，2023Q2单季度看，平台型公司北方华创/中微公司/盛美上海分别实现营收45.6/13.0/9.9亿元，同比+37.7%/27.5%/34%，继续保持高增；高订单销售比拓荆科技/华海清科营收6.0/6.2，同比+44.7%/67.6%，订单兑现，收入呈现高弹性。低国产化率环节，中科飞测2023H1营收3.6亿元，同比+202%；精测电子控股子公司上海精测2023H1实现营收8503万元，同比+66%；均取得突出进展。
　　2）利润端，2023Q2北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/芯源微/盛美上海扣非后归母净利润分别为10.8/2.9/0.5/1.4/0.5/3.0亿元，同比增长119%/14%/-36%/113%/35%/27%。全年看，股权激励摊销费用一定程度上会压制利润释放，预计2023年北方华创/中微公司/拓荆科技/盛美上海/华海清科/精测电子/芯源微分别产生股权激励摊销费用6.6/3.0/1.8/1.1/0.45/0.22/0.25亿元。
　　3）后市展望：以合同负债窥探公司在手订单，2023Q2末北方华创/中微公司/拓荆科技/华海清科/盛美上海/芯源微/精测电子/中科飞测合同负债分别达85.9/18/15.1/12.7/10.2/4.7/3.4/5.6亿元，同比增长51%/13%/39%/26%/155%/-26%/-53%/102%/86%，为后续业绩提供强保障；其中，北方华创/中科飞测/精测电子合同负债创新高。
　　后道设备：2023Q2，华峰测控/长川科技/光力科技/金海通/联动科技/耐科装备分别实现营收1.8/4.4/1.7/0.8/0.7/0.5亿元，同比36%/-32%/15%/-19%/-43%/-48%，受周期下行冲击，后道设备企业2023Q2业绩继续承压。展望后续，下游封测端各公司2023Q2营收增速已不同程度修复，封测端稼动率提升将进一步催化下游封测企业释放资本开支，带动半导体后道设备需求复苏。
　　设备零部件：2023Q2，新莱应材/富创精密/英杰电气/正帆科技/华亚智能/汉钟精机/江丰电子分别营收6.3/4.9/4.1/9.3/1.3/10.8/6.3亿元，同比增长6%/54%/64%/61%/-18%/39%/6%。短期看，国产设备企业拉货恢复，国产替代催化下国内需求旺盛；长期看，半导体零部件企业突破关键卡脖子环节+拓品类逻辑不变。
　　后市展望：“周期复苏”和“先进工艺”成为市场预期关键
　　1）2023Q2,中芯国际产能利用率78%，开始回升，部分下游客户也已逐步开始补库存；随着终端需求逐步向好以及新产品工艺平台的升级，下游资本开支也将进一步释放，兑现市场对新订单的预期。
　　2） “摩尔定律”下技术变革带来的扩产才是半导体设备企业突破成长天花板的关键。在当前科技博弈、国产替代的背景下，尤其当成熟制程扩产进入后半周期，先进工艺的突破和设备导入将成为下一轮成长周期的关键；在先进工艺阶段掌握核心技术的设备企业预计将享有市场更高的估值溢价。
　　投资建议：
　　半导体设备板块，我们建议从三个维度去选择标的：
　　1）平台化战略下，选择已构建阶梯化成长曲线的标的，建议关注：北方华创、中微公司、盛美上海；
　　2）收入弹性角度，选择高订单销售比标的，建议关注：拓荆科技、华海清科；
　　3）国产突破角度，选择低国产化率环节标的,建议关注：精测电子，中科飞测、芯源微。
　　半导体设备零部件板块，我们建议从两个维度去选择标的：
　　1）成长角度，选择推进品类扩张+新品放量的标的，建议关注：富创精密、新莱应材、正帆科技；
　　2）国产突破角度，选择布局核心卡脖子环节的标的，建议关注：英杰电气、汉钟精机。
　　风险提示：下游晶圆厂扩产及招标不及预期，中美科技博弈影响上游供应链，消费端需求复苏及库存调整不及预期，国产化推进不及预期。
　　

研究报告全文：2023年09月04日行业专题半导体设备证券研究报告订单兑现业绩继续高增周期复苏先进工投资评级领先大市-A艺成为市场预期关键维持评级半导体设备板块2023年中报总结行业表现半导体设备沪深300研究背景我们选取10家主要半导体前道设备公司北方华创中33微公司拓荆科技盛美上海华海清科精测电子中科飞测芯源23微万业企业至纯科技6家主要半导体后道设备企业华峰测控133长川科技光力科技金海通联动科技耐科装备7家主要半导-7体设备零部件企业新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚-17-27智能汉钟精机江丰电子对各板块2023Q2经营情况进行总结和2022-092023-012023-052023-09分析并选取半导体设备中信指数分析回顾半导体设备板资料来源Wind资讯块2023Q1末以来市场表现综合得出结论当前维度下周期升幅1M3M12M复苏左右大客户新订单预期先进工艺突破左右短期情绪与相对收益35-13610长期成长天花板前者利好后者贡献催化与估值溢价因绝对收益-08-139-34此我们建议基于综合考虑板块情绪与溢价择时布局郭倩倩分析师SAC执业证书编号S1450521120004guoqqessencecomcn2023Q1半导体设备板块市场及经营情况概述胡园园联系人市场表现除大盘因素外板块内部在减持和美日荷出口管SAC执业证书编号S1450123070005制加码压力下自4月20日高位至今回调约202huyy1essencecomcn相关报告前道设备核心工艺设备继续高增低国产化率量检测设备持续突破半导体工艺控制设备芯片2023-07-041收入端2023Q2单季度看平台型公司北方华创中微公司盛美良率关键国产化率不足上海分别实现营收45613099亿元同比37727534继5替代空间大续保持高增高订单销售比拓荆科技华海清科营收6062同比收入盈利订单三重上修平2023-05-16447676订单兑现收入呈现高弹性低国产化率环节中科台化更显竞争力半飞测2023H1营收36亿元同比202精测电子控股子公司上海精导体设备板块2022年年报测2023H1实现营收8503万元同比66均取得突出进展及2023年一季报总结2利润端2023Q2北方华创中微公司拓荆科技华海清科芯源微盛美上海扣非后归母净利润分别为1082905140530亿元同比增长11914-361133527全年看股权激励摊销费用一定程度上会压制利润释放预计2023年北方华创中微公司拓荆科技盛美上海华海清科精测电子芯源微分别产生股权激励摊销费用66301811045022025亿元3后市展望以合同负债窥探公司在手订单2023Q2末北方华创中微公司拓荆科技华海清科盛美上海芯源微精测电子中科飞测合同负债分别达85918151127102473456亿元同比增长51133926155-26-5310286为后续业绩提供强保障其中北方华创中科飞测精测电子合同负债创新高本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页1行业专题半导体设备后道设备2023Q2华峰测控长川科技光力科技金海通联动科技耐科装备分别实现营收184417080705亿元同比-36-3215-19-43-48受周期下行冲击后道设备企业2023Q2业绩继续承压展望后续下游封测端各公司2023Q2营收增速已不同程度修复封测端稼动率提升将进一步催化下游封测企业释放资本开支带动半导体后道设备需求复苏设备零部件2023Q2新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚智能汉钟精机江丰电子分别营收634941931310863亿元同比增长6546461-18396短期看国产设备企业拉货恢复国产替代催化下国内需求旺盛长期看半导体零部件企业突破关键卡脖子环节拓品类逻辑不变后市展望周期复苏和先进工艺成为市场预期关键12023Q2中芯国际产能利用率78开始回升部分下游客户也已逐步开始补库存随着终端需求逐步向好以及新产品工艺平台的升级下游资本开支也将进一步释放兑现市场对新订单的预期2摩尔定律下技术变革带来的扩产才是半导体设备企业突破成长天花板的关键在当前科技博弈国产替代的背景下尤其当成熟制程扩产进入后半周期先进工艺的突破和设备导入将成为下一轮成长周期的关键在先进工艺阶段掌握核心技术的设备企业预计将享有市场更高的估值溢价投资建议半导体设备板块我们建议从三个维度去选择标的1平台化战略下选择已构建阶梯化成长曲线的标的建议关注北方华创中微公司盛美上海2收入弹性角度选择高订单销售比标的建议关注拓荆科技华海清科3国产突破角度选择低国产化率环节标的建议关注精测电子中科飞测芯源微半导体设备零部件板块我们建议从两个维度去选择标的1成长角度选择推进品类扩张新品放量的标的建议关注富创精密新莱应材正帆科技2国产突破角度选择布局核心卡脖子环节的标的建议关注英杰电气汉钟精机风险提示下游晶圆厂扩产及招标不及预期中美科技博弈影响上游供应链消费端需求复苏及库存调整不及预期国产化推进不及预期本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页2行业专题半导体设备内容目录1半导体设备板块2023二级报总结511市场表现减持美日荷出口管制加码预期下板块自高位回调202512前道设备核心工艺设备继续高增低国产化率量检测设备持续突破7121财务表现订单兑现营收持续高增股权激励摊销相对压制利润7122后续展望发出商品合同负债维持高位为后续业绩提供强保障1013后道设备周期下行业绩相对承压封测端稼动率修复催化资本支出释放1114设备零部件国内需求旺盛国产替代逐步推进122后市展望周期复苏和先进工艺成为关键预期1421预期差光刻机先行锚定逻辑存储晶圆厂后续扩产1422预期差需求几何突破几时153投资建议184风险提示18图表目录图12022Q4-2023Q1半导体设备中信指数股价走势5图2主要半导体前道设备公司2023Q2营收及增速情况7图3北方华创2023H1营收结构及增速8图4中微公司2023H1营收结构及增速8图5华海清科2023H1营收结构及增速8图6盛美上海2023H1营收结构及增速8图7精测电子2023H1营收结构及增速8图8微导纳米2023H1营收结构及增速8图9主要半导体前道设备公司2023Q12023Q2扣非归母净利润及增速情况亿元9图10主要半导体前道设备公司2023Q2非经常性损益情况亿元10图11主要半导体前道设备公司2023H1末存货发出商品情况10图12主要半导体后道企业2023Q2营收及增速11图13主要半导体后道企业2023Q2归母净利润及增速11图14主要半导体封测及测试企业2022Q1-2023Q2单季度营收增速情况12图152021-2027年全球先进封装市场规模及结构预测12图16主要半导体设备零部件企业2023Q2营收及增速13图17主要半导体设备零部件企业2023Q2归母净利润及增速13图182019Q1-2023Q2各季度主要海外半导体设备企业中国大陆销售收入情况14图192019Q1-2023Q2各季度ASML中国大陆设备系统收入及占比情况14图202019Q1-2023Q2各季度ASMLEUVArFi系统销售套数情况15图21中芯国际2020Q1-2023Q2各地区收入变化16图22中芯国际2020Q1-2023Q2产能及产能利用率变化情况16表1主要半导体前道设备公司2023Q2以来相关减持进展5表2主要半导体设备公司2023Q12023Q2涨跌幅及2022Q1-2023Q2机构持仓比例变化6表3主要半导体前道设备公司2022Q1-2023Q2各季度扣非净利率9表4主要半导体前道设备公司2022Q1-2023Q2合同负债与2022新签订单情况亿元11表5主要半导体设备零部件企业2022年中国大陆市场空间及市占率13本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页3行业专题半导体设备表6内资12吋晶圆厂在建产线汇总不完全统计15表72006-2022年全球半导体设备龙头企业销售收入情况亿美元17表8半导体设备板块重点公司盈利预测18本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页4行业专题半导体设备1半导体设备板块2023二级报总结11市场表现减持美日荷出口管制加码预期下板块自高位回调202我们以半导体设备中信指数为参考回顾2023Q1末至今半导体设备板块股价走势可以发现沪深300自2023年4月18日高位至今回调863而半导体设备指数自2023年4月20日高点至今回调202半导体设备板块波动更为剧烈整体板块回调除受大盘情绪影响之外板块内部的压力主要来自于1拓荆科技华海清科首发解禁国家集成电路基金减持等对股价造成一定压力2日本荷兰美国加强出口管制预期强化板块悲观情绪图12022Q4-2023Q1半导体设备中信指数股价走势半导体设备中信沪深30028188-2-12-22229302210312211302212312313123228233312343023531236302373123831资料来源Wind安信证券研究中心表1主要半导体前道设备公司2023Q2以来相关减持进展公司近期解禁减持情况完成情况1421公告中微公司持股84拟自披露日起3个交易日后的3个月内通过大宗交易方式或自披816减持完毕露日起15个交易日后的3个月内通过集中竞价方式减持不超过公司总股本1的股份减后持股比例741拓荆科技2421公告嘉兴君励及其一致行动人合计持股673拟询价转让总股本373股份截止613日3426公告嘉兴君励及其一致行动人拟自披露日起15个交易日后的90天内竞价减持不超过总股本减后持股比例227比例1418公告巽鑫上海持股1513拟自披露日起15个交易日后的6个月内集中竞价及大宗交524减持过半易等方式减持不超过总股本的266公告上海创投及其一致行动人合计持股1532自披露日起15个交易日后的3个月内集中竞830提前终止未实际中微公司价减持不超过1减持67公告自披露日起15个交易日后的6个月内尹志尧持股0789倪图强持股0154分-别拟集中竞价减持不超过0052001656公告国家集成电路基金持股743拟自披露日起15个交易日后的6个月内以大宗交易或集北方华创612减持过半中竞价方式减持不超过总股本2股份613公告国投基金持股469拟710-109集中竞价减持不超过1620-919大宗交易减持不华海清科83减持过半超过1资料来源Wind安信证券研究中心从2023Q2涨跌幅来看前道半导体设备公司中拓荆科技微导纳米精测电子涨幅居首分别达到514945后道设备紧跟封测端稼动率终端需求复苏仍不明朗因此个股涨跌幅更多受估值水平自身影响差异较大从机构持仓来看除华亚智能以外板块其他主要公司机构持仓比例进一步提升尤其半导体前道设备企业均获机构大幅加仓中微公司拓荆科技华海清科中科飞测精测电子芯本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页5行业专题半导体设备源微微导纳米盛美上海华峰测控长川科技新益昌机构持仓比例均达到2022年初以来的最高位表2主要半导体设备公司2023Q12023Q2涨跌幅及2022Q1-2023Q2机构持仓比例变化机构持仓占流通股比例代码公司简称23Q1涨跌幅23Q2涨跌幅22Q122Q222Q322Q423Q123Q2前道半导体设备002371SZ北方华创1819737671736775688012SH中微公司516384842504758688072SH拓荆科技3051-6247573571688120SH华海清科4119-3833453752688361SH中科飞测-U-21-----52300567SZ精测电子3145-3022322646688037SH芯源微4214354839594669688147SH微导纳米4249---361144688082SH盛美上海2015356135553462600641SH万业企业61565450524951603690SH至纯科技47152015241016后道及其他半导体设备688200SH华峰测控13-275766567060713006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及增速图13主要半导体后道企业2023Q2归母净利润及增速23Q2营收亿元YoY1523Q2归母净利润亿元YoY520120104081003-19-1006-20-20-322-36-3004-42-40-43-50-48-40-55102-60-50-68-670-600-80华峰测控长川科技光力科技金海通联动科技耐科装备华峰测控长川科技光力科技金海通联动科技耐科装备资料来源Wind安信证券研究中心资料来源Wind安信证券研究中心封测端需求修复稼动率提升有望催化封测端资本支出释放我们选取主要国内主要半导体封装及测试企业长电科技通富微电华天科技甬矽电子伟测科技利扬芯片分析其22Q1-23Q2单季度营收增速可以看出2023年第二季度封测端各公司营收增速已在不同程本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页11行业专题半导体设备度修复中我们判断随着周期修复封测端稼动率提升将进一步催化下游封测企业释放资本开支带动半导体后道设备需求复苏图14主要半导体封测及测试企业2022Q1-2023Q2单季度营收增速情况长电科技通富微电华天科技甬矽电子伟测科技利扬芯片806040200-20-4022Q122Q222Q322Q423Q123Q2资料来源Wind安信证券研究中心先进封装扩产带来新需求三维封装关键设备国产替代紧迫随着台积电宣布2nm制程工艺实现突破集成电路制程工艺已接近物理尺寸极限后摩尔时代下利用晶圆级封装25D3D等先进封装技术提升芯片整体性能已成为大趋势根据Yole测算2021-2027年全球先进封装市场预计将以1011的复合增速稳步渗透至2026年实现50的渗透率此外Chiplet技术的广泛应用预计也将带来测试设备需求的提升且随着Chiplet成为算力等芯片的重要封装形式与之相关的混合键合等关键后道设备的国产替代需求也将愈加紧迫图152021-2027年全球先进封装市场规模及结构预测700SiPFCBGA25D3DWLCSPFOFCCSP60050040030020010002021202220232024202520262027资料来源Yole安信证券研究中心14设备零部件国内需求旺盛国产替代逐步推进2023Q2新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚智能汉钟精机江丰电子分别实现营收634941931310863亿元同比增长6546461-18396归母净利润0606111403251亿元同比-25-658234-4161-20半导体设备零部件板块公司多面向除半导体以外多个下游业绩因布局不同表现更有差异富创精密为平台型半导体零部件企业下游基本面向半导体行业2023Q2受益国内半导体设备零部本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页12行业专题半导体设备件旺盛需求以及气柜产品放量收入端恢复高速增长利润端因产品结构调整及新厂折旧相对承压图16主要半导体设备零部件企业2023Q2营收及增速图17主要半导体设备零部件企业2023Q2归母净利润及增速23Q2归母净利润亿元YoY23Q2营收亿元YoY3250128064108234612554200109360253915084026363100146201564966141115850104010606-60-20213-20-250503-41-50-180-400-100新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚智能汉钟精机江丰电子新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚智能汉钟精机江丰电子资料来源Wind安信证券研究中心资料来源Wind安信证券研究中心布局产品国内市占率仍10成长空间巨大目前国内整体半导体设备零部件供应仍主要为海外厂商占据尤其在射频电源静电卡盘等关键卡脖子环节国产化比例仍相对较低从我们选取的7家主要半导体设备零部件上市公司来看新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚智能汉钟精机江丰电子所布局产品占设备零部件市场比例分别约为9241054108根据SEMI23Q1最新测算2022年中国大陆半导体设备支出额为2827亿美元按照普遍半导体设备公司情况我们假设设备毛利率45设备成本结构中原材料占比90由此综合各零部件企业布局产品市场结构占比我们测算出2022年新莱应材富创精密英杰电气正帆科技华亚智能汉钟精机江丰电子布局产品对应中国大陆市场空间分别为872369748429777亿元按照各自2022年设备零部件部分营收测算对应市占率均小于10未来成长空间较大表5主要半导体设备零部件企业2022年中国大陆市场空间及市占率布局产品占半导体设对应中国大陆TAM市占率代码公司布局产品海外厂商备零部件市场比例a2022年2022年300260SZ新莱应材管阀98782FujikinVATMKSSwagelokHamlet工艺件结构件模组688409SH富创精密2423665Ferrotec京鼎精密超科林气柜和气体管路等300820SZ英杰电气射频电源109720AEMKSKyosanDaihen688596SH正帆科技GaxBox等5485超科林003043SZ华亚智能金属结构件44210Ferrotec京鼎精密超科林002158SZ汉钟精机泵10975AlcatelPfeifferEdwardsEbaraUlvacVarian300666SZ江丰电子喷淋头等87746新鹤注1根据SEMI23Q1更新2022年中国大陆半导体设备支出额A2827亿美元2关键假设美元兑人民币汇率b69半导体设备毛利率c45半导体设备成本结构中原材料占比d903对应中国大陆TAMAb1-cda资料来源Wind各公司公告芯谋研究SEMI富创精密招股书安信证券研究中心本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页13行业专题半导体设备2后市展望周期复苏和先进工艺成为关键预期21预期差光刻机先行锚定逻辑存储晶圆厂后续扩产中国大陆客户成为全球头部半导体设备企业收入重要支撑我们分析海外头部半导体设备企业季度收入变化可以发现在经过2022Q4美国BIS新规影响海外设备企业相对暂缓对中国大陆订单的交付之后到2023Q2其对中国大陆订单的交付已恢复正常甚至在台积电放慢扩产以及海外存储厂商下调资本开支的背景下中国大陆成为海外头部设备厂商收入的重要支撑ASMLAMATLamTELKLA2023Q2单季度收入中中国大陆占比分别达到24272639330图182019Q1-2023Q2各季度主要海外半导体设备企业中国大陆销售收入情况25ASML亿欧元AMAT亿美元Lam亿美元KLA亿美元TEL10亿日元右轴1800160020140012001510008001060054002000019Q119Q219Q319Q420Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q122Q222Q322Q423Q123Q2资料来源各公司官网安信证券研究中心2023二季度ASML出口中国大陆135亿欧元光刻机锚定晶圆厂后续扩产重点研究ASML季度收入结构变化可以发现2023Q2ASML设备系统收入中中国大陆销售收入相较2023Q1的43亿欧元环比大幅增长至135亿欧元创历史新高从产品结构上看2023Q2ASMLEUV设备销售12台环比下降而ArFi设备销售39台环比2023Q1增长14台ArFi平均单价也从一季度的6410万欧元提升到二季度的7043万欧元因此我们可以判断2023Q2相比一季度中国大陆进口多台套高端光刻机系统锚定后续晶圆厂投资扩产图192019Q1-2023Q2各季度ASML中国大陆设备系统收入及占比情况16设备系统收入中国大陆亿欧元中国大陆占设备系统收入比例40135143512302410257882065645665015444738414143434301025221625000019Q119Q219Q319Q420Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q122Q222Q322Q423Q123Q2资料来源ASML官网安信证券研究中心本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页14行业专题半导体设备图202019Q1-2023Q2各季度ASMLEUVArFi系统销售套数情况45EUV台套ArFi台套ArFiASP万欧元8000394070007043353164106000305000242425252221212021204000201817161716171415300015131311111212129200010778787410005230019Q119Q219Q319Q420Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q122Q222Q322Q423Q123Q2资料来源ASML官网安信证券研究中心22预期差需求几何突破几时关于需求几何的问题我们先拉长时间视角来看根据我们不完全统计目前内资12吋在建晶圆厂合计规划产能达156万片月投资金额超1000亿美元预计将继续支撑国内晶圆厂未来3-4年扩产高峰期表6内资12吋晶圆厂在建产线汇总不完全统计规划产能投资金额产线地区规划进展万片月亿美元中芯京城1076北京已量产中芯国际深圳4235深圳中芯深圳已进入量产中芯国际临港10887上海洁净室已经建好正在建先导线中芯国际天津1076天津中芯西青正在土建中长江存储30246武汉-长鑫存储九鑫30217合肥-福建晋华6-泉州-华虹无锡-三期8367无锡计划2023年初开工2024Q4完成厂房建设并开始安装设备2025年开始投产晶合集成-N2422合肥布局产品DDICCIS广州粤芯-三期424广州三期规划40-55nm工业级及车规级模拟工艺平台预计2024年建成投产华润微深圳432深圳40nm以上制程功率IC2022年10月开工积塔5-上海燕东411北京65nm产品定位高密度功率器件显示驱动ICPMIC硅光芯片等杭州积海651杭州一期2万片月二期4万片月杭州富芯-一期526杭州方瑞联合330珠海横琴产品高端显示驱动芯片预计2024年8月投产增芯科技654广州先进MEMS传感器及特色工艺产线一期2万片月二期4万片月石家庄正定项目712石家庄功率产线一期3万片月二期4万片月12吋合计1561054注美元兑人民币汇率取691资料来源各公司公告各项目环评报告集微咨询腾讯网微电子制造先进制造业产业信息平台安信证券研究中心细化到具体年份来看2020开始疫情诱发的缺芯以及科技博弈下带来的国产替代诉求催化了2020-2022年连续三年的扩产高峰期同步叠加核心半导体工艺设备0-1突破以及1-10本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页15行业专题半导体设备放量国产半导体设备企业度过了一段高速增长的阶段到2023年随着终端供大于求行业进入去库存的下行周期需求的疲软产能利用率的下滑使得下游晶圆厂扩产放缓而内资资本支出叠加长江存储被列入实体清单影响2023年整体资本支出承压站在当前维度看展望后续我们认为国内市场预期差主要集中在两大方面一是需求何时再起选取国内头部逻辑厂中芯国际来看中国区需求从2022Q3开始下滑经历约2个季度调整2023Q2部分下游客户已逐步开始补库存海外需求来看其2023Q1开始出现明显下滑整体比中国区大概慢2个季度产能利用率角度看2023Q2中芯国际产能利用率已开始回升达到78我们判断随着终端需求逐步向好以及新产品工艺平台的升级下游扩产也将加速兑现市场对新订单的预期从产线端看中芯国际其京城深圳临港天津4条产线合计规划产能达34万片月合计投资金额2642亿美元目前其中芯京城中芯深圳均已进入量产阶段中芯临港线洁净室已经建好正在建先导线中芯天津线也已开始土建工作图21中芯国际2020Q1-2023Q2各地区收入变化中国区美国区欧亚区1614614314126124121081121109410858616413536394313129312927223181918190080809072021Q12021Q22021Q32021Q42022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q204资料来源Wind中芯国际公告安信证券研究中心图22中芯国际2020Q1-2023Q2产能及产能利用率变化情况产能等效12吋万片月产能利用率401209999991001009910035989697923171003027680788025231682060154010205002020Q12020Q22020Q32020Q42021Q12021Q22021Q32021Q42022Q12022Q22022Q32022Q42023Q12023Q2资料来源Wind中芯国际公告安信证券研究中心本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页16行业专题半导体设备二是先进制程何时突破回顾全球半导体设备企业发展历程可以发现摩尔定律下技术变革带来的扩产才是半导体设备企业突破成长天花板的关键在当前科技博弈国产替代的背景下尤其当成熟制程扩产进入后半周期先进工艺的突破和设备导入将成为下一轮成长周期的关键在先进工艺阶段掌握核心技术的设备企业将享有市场更高的估值溢价表72006-2022年全球半导体设备龙头企业销售收入情况亿美元资料来源Wind安信证券研究中心本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页17行业专题半导体设备3投资建议半导体设备板块我们建议从三个维度去选择标的1平台化战略下选择已构建阶梯化成长曲线的标的建议关注北方华创中微公司盛美上海2收入弹性角度选择高订单销售比标的建议关注拓荆科技华海清科3国产突破角度选择低国产化率环节标的建议关注芯源微精测电子半导体设备零部件板块我们建议从两个维度去选择标的1成长角度选择推进品类扩张新品放量的标的建议关注富创精密新莱应材正帆科技2国产突破角度选择布局核心卡脖子环节的标的建议关注英杰电气汉钟精机表8半导体设备板块重点公司盈利预测市值4月底至营收亿元归母净利润亿元PE代码简称亿元今涨跌幅20222023E2024E2025E20222023E2024E2025E20222023E2024E2025E半导体设备002371SZ北方华创1436-191469202826273290235356479613506404300234688012SH中微公司924-184746218011010117164186235516562496394688072SH拓荆科技440-16171288406535375381110744831545402688120SH华海清科332-181652723654665075101131478443330254688082SH盛美上海496-32873925066206784106134518588467371688037SH芯源微198-2513819727337220284057724720496350600641SH万业企业150-2111615921828442465566401325274225603690SH至纯科技105-2230541952964128496683429213160127300567SZ精测电子253-1427333743354527344863514736528398688361SH中科飞测-U26823517610914901051018-512425601474300604SZ长川科技233-212583884976134678104137584299223171688200SH华峰测控190-2110710613617353496584478392295226300480SZ光力科技75261---07---817---603061SH金海通59-274343556715142126-420279232688419SH耐科装备32-82729456006071013453436309250301369SZ联动科技48-535---13---331---半导体设备零部件300260SZ新莱应材128-2126230138749034345271441375246182688409SH富创精密189-1615422132043825304359920627435317300820SZ英杰电气136-2212820027735934486583311286210163688596SH正帆科技101-1327038951866826405574355255183138003043SZ华亚智能39-20626610114415132132325296188121002158SZ汉钟精机1345327397474556647998118199170137114300666SZ江丰电子157-1923230740552427375166693422307237资料来源Wind安信证券研究中心截止2023年9月4日均采用wind一致预期4风险提示下游晶圆厂扩产及招标不及预期中美科技博弈影响上游供应链消费端需求复苏及库存调整不及预期国产化推进不及预期本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页18行业专题半导体设备行业评级体系收益评级领先大市未来6个月的投资收益率领先沪深300指数10及以上同步大市未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-10至10落后大市未来6个月的投资收益率落后沪深300指数10及以上风险评级A正常风险未来6个月的投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动B较高风险未来6个月的投资收益率的波动大于沪深300指数波动分析师声明本报告署名分析师声明本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格勤勉尽责诚实守信本人对本报告的内容和观点负责保证信息来源合法合规研究方法专业审慎研究观点独立公正分析结论具有合理依据特此声明本公司具备证券投资咨询业务资格的说明安信证券股份有限公司以下简称本公司经中国证券监督管理委员会核准取得证券投资咨询业务许可本公司及其投资咨询人员可以为证券投资人或客户提供证券投资分析预测或者建议等直接或间接的有偿咨询服务发布证券研究报告是证券投资咨询业务的一种基本形式本公司可以对证券及证券相关产品的价值市场走势或者相关影响因素进行分析形成证券估值投资评级等投资分析意见制作证券研究报告并向本公司的客户发布本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页19行业专题半导体设备免责声明本报告仅供安信证券股份有限公司以下简称本公司的客户使用本公司不会因为任何机构或个人接收到本报告而视其为本公司的当然客户本报告基于已公开的资料或信息撰写但本公司不保证该等信息及资料的完整性准确性本报告所载的信息资料建议及推测仅反映本公司于本报告发布当日的判断本报告中的证券或投资标的价格价值及投资带来的收入可能会波动在不同时期本公司可能撰写并发布与本报告所载资料建议及推测不一致的报告本公司不保证本报告所含信息及资料保持在最新状态本公司将随时补充更新和修订有关信息及资料但不保证及时公开发布同时本公司有权对本报告所含信息在不发出通知的情形下做出修改投资者应当自行关注相应的更新或修改任何有关本报告的摘要或节选都不代表本报告正式完整的观点一切须以本公司向客户发布的本报告完整版本为准如有需要客户可以向本公司投资顾问进一步咨询在法律许可的情况下本公司及所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行财务顾问或者金融产品等相关服务提请客户充分注意客户不应将本报告为作出其投资决策的惟一参考因素亦不应认为本报告可以取代客户自身的投资判断与决策在任何情况下本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议无论是否已经明示或暗示本报告不能作为道义的责任的和法律的依据或者凭证在任何情况下本公司亦不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任本报告版权仅为本公司所有未经事先书面许可任何机构和个人不得以任何形式翻版复制发表转发或引用本报告的任何部分如征得本公司同意进行引用刊发的需在允许的范围内使用并注明出处为安信证券股份有限公司研究中心且不得对本报告进行任何有悖原意的引用删节和修改本报告的估值结果和分析结论是基于所预定的假设并采用适当的估值方法和模型得出的由于假设估值方法和模型均存在一定的局限性估值结果和分析结论也存在局限性请谨慎使用安信证券股份有限公司对本声明条款具有惟一修改权和最终解释权安信证券研究中心深圳市地址深圳市福田区福田街道福华一路19号安信金融大厦33楼邮编518026上海市地址上海市虹口区东大名路638号国投大厦3层邮编200080北京市地址北京市西城区阜成门北大街2号楼国投金融大厦15层邮编100034本报告版权属于安信证券股份有限公司各项声明请参见报告尾页20