真空镀膜设备工艺流程
　　公司产品主要是真空镀膜设备，其生产工艺流程主要包括产品设计、生产装配、自动化控制、检测调试等环节。
　　真空镀膜设备行业产业链
　　真空镀膜设备,其上游厂商为机械配件类、真空泵类、电源类、真空腔体、电气类等原材料生产企业，下游则为消费电子、家居生活、工业等领域。
　　真空镀膜设备行业内主要企业
　　目前市场上，高端真空镀膜设备市场主要被应用材料（Applied Materials Inc.）、爱发科（ULVAC）、德国莱宝（Leybold）等资金实力雄厚、技术水平领先、产业经验丰富的跨国公司所占领。
　　风险因素
　　产品下游应用行业较为集中，容易导致公司在其他行业的技术积累和生产经验不足，增加后续市场开拓风险；
　　原材料价格波动或紧缺风险；
　　经营场所产权瑕疵带来的搬迁风险；
　　募集资金投资项目实施风险：市场环境发生不利变化或由于行业技术进步使得项目技术水平不再具备竞争优势，则本次募集资金投资项目可能存在无法实现预期收益的风险。
　　

研究报告全文：新能源汽车行业锂电池产业链专题报告一张图看懂汇成真空中信证券研究部新能源汽车组袁健聪李鹞2023年3月21日请务必阅读末页的免责条款和声明真空镀膜技术三类真空镀膜技术真空蒸发镀膜真空磁控溅射镀膜真空离子镀膜加热膜材使表面组分以原子团用高能等离子体轰击靶材并在真空条件下利用气体放电或分子团形式被蒸发出来并使表面组分以原子团或离子形使工作气体或被蒸发物质膜沉降在基片表面形成薄膜式被溅射出来并沉积在基片材部分离化在工作气体离表面经历成膜过程最终形子或被蒸发物质的离子轰击作成薄膜用下把蒸发物或其反应物沉积在被镀基片表面资料来源汇成真空招股说明书1工艺流程真空镀膜设备工艺流程公司产品主要是真空镀膜设备其生产工艺流程主要包括产品设计生产装配自动化控制检测调试等环节资料来源汇成真空招股说明书2工艺流程真空镀膜设备工艺内容资料来源汇成真空招股说明书3真空镀膜设备行业产业链真空镀膜设备其上游厂商为机械配件类真空泵类电源类真空腔体电气类等原材料生产企业下游则为消费电子家居生活工业等领域资料来源汇成真空招股说明书4真空镀膜设备行业内主要企业目前市场上高端真空镀膜设备市场主要被应用材料AppliedMaterialsInc爱发科ULVAC德国莱宝Leybold等资金实力雄厚技术水平领先产业经验丰富的跨国公司所占领公司名称主要业务所在地应用材料Applied主营业务向半导体显示器及相关行业提供制造设备服务和软件在半导体领域的主要产品为芯片制造领域的美国MaterialsInc各种制造设备日本光驰株式会社主要从事光学薄膜设备及其相关零部件的制造和销售产品广泛应用于LED显示光通信半导体消费电子日本等领域德国莱宝Leybold主要从事真空泵真空系统以及包括真空镀膜设备在内的真空应用设备的制造和销售该公司产品目前主要为德国光学光伏半导体医疗器械等冯阿登纳主要产品为玻璃晶片金属带和聚合物薄膜等材料上的真空镀膜开发和生产工业设备应用于太阳能热电站德国建筑玻璃智能手机和触摸屏的显示屏等领域爱发科ULVAC主要从事真空机械业务真空应用等业务等产品主要应用在能源环保运输医药食品化工生物工程日本领域湘潭宏大真空主营业务为大型连续镀膜生产线为主的各类真空镀膜设备研发设计生产销售及技术服务中国广东振华科技真空设备制造与销售技术服务与支持主要产品有蒸发系列镀膜设备磁控系列镀膜设备光学系列镀膜设备中国连续性镀膜生产线以及其他真空设备等汇成真空真空镀膜设备的研发设计包括对真空腔体机械装置蒸发源离子源等模块以及对卷绕镀膜设备连续线镀中国膜设备等特殊镀膜设备的研发设计资料来源汇成真空招股说明书5真空镀膜设备下游行业规模消费电子行业真空镀膜技术在消费电子行业有着广泛应用据IDC统计2021年度全球智能手机出货量为1352亿部较上年度增长453从长期来看全球智能手机市场发展不断成熟出货量长期维持在较高水平随着5G技术不断普及5G智能手机由5G旗舰和中高端机型加速向中低端市场下沉全面推动中国智能手机的更新换代根据中国信通院统计2021年中国智能手机市场景气度恢复2021年累计出货量为342811万部较上年同期增加15935G基建带来的换机潮将逐渐显现全球智能手机出货量中国智能手机出货量单位万部单位万部4500012000400001000035000300008000250006000200001500040001000020005000002020Q12020Q22020Q32020Q42021Q12021Q22021Q32021Q42020Q12020Q22020Q32020Q42021Q12021Q22021Q32021Q4资料来源IDC同花顺iFind汇成真空招股说明书中信证券研究部资料来源中国通信院汇成真空招股说明书中信证券研究部6真空镀膜设备下游行业规模集成电路行业集成电路是半导体的最重要组成部分集成电路产业中晶圆制造是基础核心其与真空镀膜息息相关集成电路薄膜材料制造广泛采用的工艺为PVD与CVD据ICInsight统计2020年我国集成电路市场规模为1434亿美元约合98946亿人民币以2020年美元兑人民币平均汇率690计算市场规模逼近万亿受原材料价格波动影响我国集成电路行业市场规模在过去五年内呈现小幅波动集成电路产量已经连续两年突破两千亿块2020年增速更是高达近30中国集成电路市场规模中国大陆集成电路产量单位十亿美元单位亿块16035001403000120250010020008015006010004020500002016年2017年2018年2019年2020年2016年2017年2018年2019年2020年2021年资料来源ICInsights亿欧智库汇成真空招股说明书中信证券研究部资料来源国家统计局网站亿欧智库汇成真空招股说明书中信证券研究部7真空镀膜设备下游行业规模光学光电子元器件行业光学光电子元器件行业是以光电子技术为核心与成像传感通信人工智能等技术发展紧密相联真空镀膜技术在光学镜头光学传感器等部件的生产制造中均有广泛的应用随着移动通信技术从4G到5G的发展生物识别技术在消费电子中的应用芯片材料的改良改进等外部技术的进步光学光电子元器件行业迎来了良好的发展机遇据Wind统计我国2021年光学电子器件产量为1060680亿套较2020年度增长了909中国光电子器件产量18000单位亿套16000140001200010000800060004000200002016年2017年2018年2019年2020年2021年资料来源Wind汇成真空招股说明书中信证券研究部8公司发展历程广东汇成真空科技股份有限公司成立于2006年注册资本7500万元公司自设立以来主营业务主要产品均未发生重大变化公司始终专注于以真空镀膜设备及其工艺为主的真空应用解决方案领域业务规模不断扩大产品应用领域不断拓宽技术水平不断升级知名客户不断增加公司发展历程2006200920102012201620192021成立有限公司磁控ISO体系认证获得高新技术企业低温物理气相沉RF离子源RIE双面厚铜专精特新小巨人溅射电弧技术认定证书RTR光学技术PNPVD超高真空激光雷达CIGS技术复合膜开发资料来源汇成真空招股说明书官网中信证券研究部9股权结构截至2021年11月21日公司无控股股东实际控制人为李志荣罗志明李志方李秋霞李志荣罗志明分别直接持有发行人30522046的股份李志方李秋霞直接及间接持有发行人1363的股份751的股份该四人为同胞兄弟姐妹于2020年7月8日签署了一致行动协议约定其作为发行人股东及或董事将在发行人股东大会和董事会上就所有决策事宜保持一致行动四人合计直接及间接持有发行人7212的股份为公司共同实际控制人汇成真空股权结构图截至2021-11-21资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部10公司主要产品真空镀膜设备真空镀膜设备应用场景十分广泛基于多样化的行业应用及客户需求发行人具备研发设计和生产多种规格真空镀膜设备的能力以发行人HCMS-2550T真空镀膜设备为例此设备通常由真空腔体镀膜系统温控系统真空测量系统真空获得系统电源系统供气系统外部机械手电气控制系统和工件装载系统等模块组成具体如下图所示资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部11公司主要产品真空镀膜设备公司真空镀膜设备产品产品名称产品型号产品实物图产品特点和应用领域公司磁控溅射镀膜技术代表产品在中频磁控溅射技术的基础上加入高能脉冲磁控溅中频磁控溅射镀膜设备HCMS-1912CA射技术使得等离子体的绕射性更好膜层致密度更高沉积速率大幅提升工艺可控精细度提高主要应用于手机中框手机壳等公司蒸发镀膜技术的代表产品采用了中心旋转方式公转的基片伞架可减少产生的高精密电子束蒸发光学镀膜振动和颗粒使基片能够稳定旋转坩埚采用无极片的电子束加热方式可以稳定地形HCEE-2700设备成多层膜独有的比率控制法和多点在线监控可精准控制光学多层膜生长此型号设备可广泛应用于紫外红外截止滤光片装饰膜带通滤光片滤色片高反射膜等为发行人卷绕镀膜设备的代表性产品分为直流磁控溅射真空卷绕镀膜设备中频反应磁控溅射真空卷绕镀膜设备可选方形型或圆形型可在多种柔性聚合物金属带等带磁控溅射卷绕镀膜设备HCFPC-SM-1560状卷材表面进行单面或双面连续镀膜可镀铝钛铬铜镍铬镍银等金属材料TiO2Nb2O5SiO2ITOSiAlOxMoOx和其他氮化物或氧化物可应用于半导体领域太阳能电池领域等此设备采用弧光电子增强清洗刻蚀技术大口径阴极柱弧靶优化磁场的溅射靶高速大型金属卷材表面改性连续HCMSCA-1220A重基材卷绕张力平衡调控纠偏在线反射颜色纵横向检测调控技术主要用于大型卷绕镀膜生产线金属卷镀膜资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部12公司主要产品真空镀膜设备公司真空镀膜设备产品产品名称产品型号产品实物图产品特点和应用领域此设备为连续生产线类交钥匙工程标准化和模块化设计理念可连续式磁控溅射镀膜设备HC-INLine单面或双面镀膜高度客制化兼顾产品规格与低投资成本需求可应用于消费品能源半导体等领域大型多腔室真空卷绕磁控溅射镀膜设备在PET薄膜上溅射沉积大面积柔性光电薄膜柔性材料卷绕镀膜设备HCRTR-1650生产线生产CuTiNiCr等金属膜层SiOxAlOx等透明高阻隔膜和ITO透明导电膜提升高端柔性光电薄膜生产品质和效率卧式矩形线列式磁控溅射镀可往返连续镀膜特别应用在玻璃电阻电子元器件中大深径比的微深孔沉积镀膜主要HCCL-2750膜设备应用在石英玻璃陶瓷等微电子元器件的功能膜层沉积此设备采用大尺寸腔体设计并增加控制细长管变形装置用于直径立式细长管真空镀膜设备HCMS10600L10mm近5000mm锆管应用于核反应堆镀耐高温防腐膜层采用自下而上磁控溅射技术具有高真空超大规格镀膜尺寸在玻璃或石英表面沉积金光刻掩膜版铬版镀膜设备HC-G5PVDINline属铬及其氧化物或氮化物镀膜产品后续用于制作光刻掩膜版非均匀镀此设备根据被镀材料不同区域不同温控要求通过调整补偿ITO电阻-膜设备实现沉积图案化电阻非均匀分布主要用在商用飞机前档玻璃ITO镀膜资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部13公司主要产品配件及耗材技术服务及其他产品配件及耗材公司根据客户的需要会向客户销售真空镀膜设备的相关配件及少量耗材其中相关配件主要分为发行人具有专利的部件标准件以及部分易损件具有专利的部件为发行人自主研发设计标准件部分易损件以及耗材通常情况下是客户基于采购便利性和专业化的角度考虑后向公司发起采购技术服务及其他产品发行人技术服务主要包括向客户提供工艺开发服务运维服务设备升级改造服务发行人其他产品包括真空干燥设备单晶炉等主要应用于动力电池光伏等新能源领域14公司核心技术核心技术均为自主研发取得包括了真空系统温控系统卷对卷真空镀膜设备技术等研发费用率率近2年逐步提升公司营业收入万元及主营业务占比公司核心技术情况项目2022H1202120202019核心技术名称成熟度主营业务收入3067594534110639237172954120真空腔体及真空系统设计技术自研成熟营业收入3067734534160739239542954120真空环境机械装置设计技术自研成熟主营业务收入占100009999999910000温控系统设计技术自研成熟总收入比例电弧蒸发源设计技术自研成熟研发费用万元及占营业收入比例磁控溅射靶设计技术自研成熟项目2022H1202120202019弧光电子束增强离子清洗装置技术自研成熟研发费用161525236550146202163863卷对卷真空镀膜设备设计技术自研成熟营业收入3067734534160739239542954120研发费用占营业真空连续生产线设计技术自研成熟收入比例527443373555资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部15公司研发情况公司持续保持在国内行业领先技术地位截至2022年6月30日公司共拥有97项专利其中发明专利16项实用新型专利79项外观设计专利2项部分专利如下公司已获专利专利名称类别进展情况专利申请日一种平面磁控溅射靶发明专利已获专利2011-01-30已获汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法及装置发明专利已获专利2011-04-27专利一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源发明专利已获专利2011-12-19一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门发明专利已获专利2012-02-22一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置发明专利已获专利2012-12-04一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置发明专利已获专利2013-11-29微纳米空心金刚石钻头及其制作方法发明专利已获专利2017-05-18一种立式真空镀膜机炉门开启限位机构实用新型已获专利2012-09-29一种真空电阻发热蒸发镀膜用的W型钨丝实用新型已获专利2014-03-25一种用于工模具的多层复合硬质膜实用新型已获专利2015-07-28一种放电弧斑满布靶面的真空阴极电弧源实用新型已获专利2015-07-28一种可减少残留镀层碎片污染的工模具离子镀夹具实用新型已获专利2015-09-16一种升降架实用新型已获专利2017-10-31一种限位开关装置实用新型已获专利2017-10-31离子镀膜机外观设计已获专利2013-12-31公司正在研发项目正在研发的项目名称所处阶段及进展正在Ta-C系列涂层工艺研究和设备开发研发设计阶段半导体行业PVD研发设备开发研发设计阶段研发预热室项目开发研发设计阶段新型多元层PVD镀膜装备开发及工艺研究研发设计阶段高温合金超长超细内孔CVD涂覆关键装备开发研发设计阶段资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部16公司财务情况营业收入归母净利润公司收入和净利润快速增长主要由于下游多个应用领域需求增长同时公司积极开发优质客户2019-2022年H1公司营业收入2019-2022年H1公司归母净利润单位万元单位万元6000000800000700000500000060000040000005000003000000400000300000200000020000010000001000000000002019202020212022H12019202020212022H1资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部17公司财务情况各业务毛利率期间费用率公司毛利率平稳管理费用率明显下降研发费用率提升销售费用率也呈下降趋势体现了公司加大研发提高经营效率2019-2022年H1公司各业务毛利率2019-2022年H1公司期间费用率主营业务其他业务综合销售费用率管理费用率研发费用率财务费用率35001000925313531203121900300030342865800250070060062320005475555505475005271500443400373100030031128425420050010012704006000000020030010000272019202020212022H12019202020212022H1资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部18公司主营业务收入构成报告期各期公司真空镀膜设备收入合计分别为2436527万元2993645万元4499598万元和2327731万元占主营业务收入的比重分别为824876308424和7588占比较高2019-2022年H1公司公司主营业务收入万元构成及主营业务占比2022年1-6月2021年度2020年度2019年度项目金额占比金额占比金额占比金额占比真空镀膜设备23277317588449959884242993645763024365278248真空镀膜设备消费电子2053112669334827346521169472043199903283352真空镀膜设备其他消费品1804665887322351371629537160411880074022真空镀膜设备工业品766302501227702305773171471213679723真空镀膜设备科研院所175220571618583039207123544513151配件及耗材3847541254587384110067105117103536821197技术服务及其他3551081158254124476259022660163911555主营业务收入合计306759410000534110610000392371710000295412010000资料来源汇成真空招股说明书中信证券研究部19