事件：
　　公司发布2023年三季报，2023Q3营收15.1亿元，同比+41.4%；扣非后归母净利润2.15亿元，同比+5.68%；归母净利润1.57亿元，同比-51.76%。
　　2023Q3刻蚀设备收入继续高增，股份支付费用致利润承压：
　　2023年1-9月公司实现营收40.4亿元，同比+32.8%；其中，刻蚀设备收入28.7亿元，同比+43.4%，毛利率46.46%，MOCVD设备收入4.09亿元，同比+5.5%，毛利率36.29%。
　　对应2023Q3单季度看，公司实现营收15.1亿元，同比+41.4%；其中，刻蚀设备收入11.5亿元，同比+64%，毛利率46.9%；MOCVD设备收入1.1亿元，同比-25%，毛利率31.9%；其他备品备件及设备维护收入2.6亿元，环比持平。综合来看，MOCVD设备相对承压，但刻蚀设备受益份额提升及ICP放量继续实现高增长。
　　利润端，2023年1-9月公司实现扣非后归母净利润7.3亿元，同比+13.9%；对应2023Q3单季度扣非利润2.1亿元，同比+5.7%，扣非净利率14.2%，同比-4.8pcts，环比-8.2pcts，主要系Q3产生股份支付费用1亿元左右。2023年1-9月公司实现归母净利润11.6亿元，同比+46.3%，对应2023Q3单季度归母净利润1.6亿元，同比-51.8%，主要系Q3非经常性损益亏损0.58亿元，主要原因为公司投资的天岳先进等二级市场股价波动导致本期公司计入非经常性损益的以公允价值计量的股权投资所产生的公允价值变动损益和投资损益合计亏损1.02亿元。
　　向平台化转型，看好新设备突破打开成长天花板: 
　　公司目前已从深耕刻蚀逐渐向平台化企业转型，初步形成“刻蚀全面覆盖+薄膜沉积部分覆盖+量检测投资布局”的业务版图，展望后续，我们看好公司在新产品上持续突破，打开成长天花板：
　　1）刻蚀：持续推进针对逻辑器件的一体化大马士革刻蚀工艺和存储器件的极高深宽比刻蚀技术的攻关验证，进一步提升刻蚀工艺覆盖率。
　　2）沉积：钨沉积方面，首台CVD钨设备已顺利导入客户生产线，正对接更多逻辑/存储客户进行验证，新型号的CVD钨和ALD钨设备首台量产验证机已在客户端进行测试；TiN沉积方面，用于高端存储和逻辑器件的ALD氮化钛设备预计2023H2发往客户端进行量产验证；EPI设备也进入工艺调试和客户验证阶段。
　　3）量检测：持股睿励仪器，投资布局前道量检测设备。
　　投资建议：
　　我们预计公司2023-2025年的收入分别为63.14/75.95/98.96亿元，同比增长33.2%/20.3%/30.3%；归母净利润为16.80/18.47/23.93亿元，同比增长43.6%/9.9%/29.6%，对应市盈率60.9/55.4/42.8倍。
　　考虑2024年内资晶圆厂资本支出边际上行，且市场预期核心下游扩产招标在即，考虑公司在关键刻蚀设备领域的国产突破优势，我们给予公司2024年70xPE，对应目标价210.1亿元，维持“买入-A”。
　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，新产品导入放量不及预期，中美博弈影响供应链，市场竞争加剧。