5月设备招标以积塔为主，行业招标设备主要包括清洗、刻蚀和炉管设备等品类。2023年5月统计样本中的晶圆产线合计产生25项招标。　以中芯国际、积塔半导体、合肥长鑫等产线招标为主。招标设备主要包括清洗、刻蚀和炉管设备，主要为积塔半导体、上海华力招标。此外，基建项目主要为中芯国际、合肥长鑫、粤芯半导体和积塔半导体招标。2023年1-5月，统计样本中的晶圆产线合计招标279项，其中，中芯国际、积塔半导体、粤芯半导体的招标量位居前三。整体而言，设备招标以刻蚀、CVD、测试机设备为主。
　　国产厂商卡位清洗、气液系统、CVD等设备领域，5月中标设备国产比例为52%。中标方面，2023年5月，统计样本中的晶圆产线上合计中标83台设备，以气液系统、光刻、CVD设备居多；国产设备整体中标比例约52%，其中，清洗、气液系统、CVD设备的国产中标比例显著。2023年1-5月，统计样本中的晶圆产线合计中标203台设备，以气液系统、量测、刻蚀设备居多；国产设备整体中标比例约50%，其中，沉积、PECVD、外延、检测设备的国产中标比例较高。
　　1-5月北方华创和万业企业中标量领先，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为37%。2023年5月，万业企业（嘉芯迦能）中标23台气液系统设备，在对应工艺环节的中标比例为43%，芯源微中标1台清洗设备，在对应工艺环节的中标比例为100%。2023年1-5月，国内半导体设备厂商合计中标61台设备，万业企业、北方华创中标量领先。其中，北方华创中标主要包括刻蚀、炉管、扩散和外延设备，分别为10台、1台、1台和1台；万业企业中标主要包括气液系统、沉积、PVD和CVD设备，分别为23台、5台、1台和2台。2023年1-5月，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为37%。其中，北方华创的外延设备、拓荆科技的PECVD设备和万业企业的沉积设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为100%、100%、83%。
　　投资建议：国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中科飞测、拓荆科技、芯源微、中微公司*、华海清科、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）
　　风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。