设备板块为申万电子半导体指数中唯一实现23Q1业绩同比正增长的子行业。我们选取申万电子半导体设备指数（2021）成分股，整体法下，2022年半导体设备行业合计营收371.43亿元，同比+55.99%，23Q1合计营收91.02亿元，同比+46.55%，环比-26.30%；2022年合计归母净利71.99亿元，同比+73.70%，23Q1合计归母净利15.18亿元，同比+87.82%，环比-32.24%；此外，半导体设备行业2022年/23Q1分别实现销售毛利率43.75%/45.56%。
　　23Q1半导体设备指数成分股合计合同负债环比增长。细分标的方面，23Q1，北方华创/中微公司/拓荆科技/盛美上海营业收入分别同比+81.26%/28.86%/274.24%/74.09%，业绩高增主要归因国产替代持续渗透下销售订单及生产规模增长。此外，23Q1半导体设备指数成分股合计合同负债150.72亿元（2022年报合计为139.28亿元），环比+8.21%，业绩放量可持续。
　　中美贸易事件下半导体设备国产替代持续。由于美对华实行半导体制裁，阻碍国内先进制程的发展，部分客户先进制程扩产放缓，短期来看设备厂商业绩或将承压，但成熟制程仍然继续加大国产替代。我们认为，在国内不断扶持下，半导体产业链国产替代将加速进行，而设备材料及零部件作为晶圆制造上游环节将率先受益。
　　投资建议：建议关注：北方华创/中微公司/盛美上海/拓荆科技/长川科技/华峰测控等
　　风险提示：半导体国产替代进程不及预期。