事件：3月8日，荷兰政府表示计划对半导体技术出口实施新的限制。
　　中国10nm及更成熟制程光刻机的进口并不受本次限制影响。ASML在3月8日的最新声明中指出，最新出口限制局限于7nm及以下制程，侧重于先进的芯片制造技术，包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统，主要为DUV光刻机TWINSCANNXT：2000i和TWINSCANNXT：2050i两款产品，而未被禁运的NXT 1980i等设备仍可支持最低至10nm的芯片生产。也就是说，荷兰实际实施的禁运措施比美国去年10月的芯片管制新规更加宽松（管制新规禁运美国14nm及以下设备）。
　　光刻机技术难度极高，ASML在光刻机领域一家独大。作为集成电路的核心设备之一，光刻机决定了集成电路的集成度，技术难度极高。精细至纳米级别的复杂系统与操作、超高良率和长时间稳定运行的要求共同构成了光刻机的技术壁垒。经历五代产品更迭，光刻机从最初的g-line发展到EUV光刻。ASML作为全球光刻机市场的龙头，其光刻技术拥有绝对领先优势，在EUV、ArFi和ArF领域市占率分别高达100%、96%和88%。目前，我国的光刻机仍处于产业化的起步阶段。
　　市场悲观预期筑底，国内资本开支及设备国产化率有超预期机会。下游晶圆厂资本开支方面，我们认为供应链安全为当前国内产业核心矛盾，国内成熟制程晶圆产能尚不足实现完全自给，即使在半导体行业景气度下行背景下，行业龙头中芯国际预计2023年资本开支与上一年基本持平，维持在60亿美元以上。同时，部分存储产线受益管制的边际放松和产品规划的调整资本开支有超市场预期机会，部分特殊产线亦有望快速推进。国产化率角度看，目前半导体设备整体国产化率整体仅15%左右，我们认为在新型举国体制背景下，下游晶圆厂有望加速导入国产设备，有以成本和良率换国产化率的可能，因此国产化率存在潜在超预期机会。整体来看，我们认为即使今年国内资本开支受到外部设备管制的负面影响，但国产化率的加速提升有望对冲掉资本开支下行的负面影响，半导体设备厂商依然有望在今年迎来加速式成长。
　　投资建议与投资标的
　　荷兰政府最新限制局限于7nm及以下制程，中国10nm及更成熟制程光刻机的进口不受本次限制影响。目前半导体设备行业空间广阔，我们看好国产化进程加速推进。建议关注国内半导体设备领先企业中微公司(688012，买入)、精测电子(300567，买入)、芯源微(688037，买入)、拓荆科技-U(688072，买入)、北方华创(002371，未评级)等。
　　风险提示
　　中美贸易摩擦升级风险；美荷进一步限制光刻机出口风险；国内半导体设备厂商发展不及预期。
　　

研究报告全文：行业研究动态跟踪电子行业荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设看好维持国家地区中国备国产化加速行业电子行业报告发布日期2023年03月13日核心观点事件3月8日荷兰政府表示计划对半导体技术出口实施新的限制中国10nm及更成熟制程光刻机的进口并不受本次限制影响ASML在3月8日的最新声明中指出最新出口限制局限于7nm及以下制程侧重于先进的芯片制造技术包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统主要为DUV光刻机TWINSCANNXT2000i和TWINSCANNXT2050i两款产品而未被禁运的NXT1980i等设备仍可支持最低至10nm的芯片生产也就是说荷兰实际实施的禁运措施比美国去年10月的芯片管制新规更加宽松管制新规禁运美国14nm及以下设备蒯剑021-633258888514光刻机技术难度极高ASML在光刻机领域一家独大作为集成电路的核心设备之kuaijianorientseccomcn一光刻机决定了集成电路的集成度技术难度极高精细至纳米级别的复杂系统执业证书编号S0860514050005与操作超高良率和长时间稳定运行的要求共同构成了光刻机的技术壁垒经历五香港证监会牌照BPT856代产品更迭光刻机从最初的g-line发展到EUV光刻ASML作为全球光刻机市场李庭旭litingxuorientseccomcn的龙头其光刻技术拥有绝对领先优势在EUVArFi和ArF领域市占率分别高达执业证书编号S086052209000210096和88目前我国的光刻机仍处于产业化的起步阶段市场悲观预期筑底国内资本开支及设备国产化率有超预期机会下游晶圆厂资本韩潇锐hanxiaoruiorientseccomcn开支方面我们认为供应链安全为当前国内产业核心矛盾国内成熟制程晶圆产能杨宇轩yangyuxuanorientseccomcn尚不足实现完全自给即使在半导体行业景气度下行背景下行业龙头中芯国际预张释文zhangshiwenorientseccomcn计2023年资本开支与上一年基本持平维持在60亿美元以上同时部分存储薛宏伟xuehongweiorientseccomcn产线受益管制的边际放松和产品规划的调整资本开支有超市场预期机会部分特殊产线亦有望快速推进国产化率角度看目前半导体设备整体国产化率整体仅15左右我们认为在新型举国体制背景下下游晶圆厂有望加速导入国产设备有以成本和良率换国产化率的可能因此国产化率存在潜在超预期机会整体来看我前道检测与量测设备进入放量前夜头部2022-12-05们认为即使今年国内资本开支受到外部设备管制的负面影响但国产化率的加速提厂商确定性强升有望对冲掉资本开支下行的负面影响半导体设备厂商依然有望在今年迎来加速地方半导体设备补贴政策落地支持力度2022-12-02式成长可观国内晶圆厂逆周期扩产持续看好半导体2022-08-29投资建议与投资标的设备材料板块半导体前道设备研究框架2022-07-14荷兰政府最新限制局限于7nm及以下制程中国10nm及更成熟制程光刻机的进口不受本次限制影响目前半导体设备行业空间广阔我们看好国产化进程加速推进建议关注国内半导体设备领先企业中微公司688012买入精测电子300567买入芯源微688037买入拓荆科技-U688072买入北方华创002371未评级等风险提示中美贸易摩擦升级风险美荷进一步限制光刻机出口风险国内半导体设备厂商发展不及预期有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速目录1美荷对中国半导体设备实施出口新限制42国内资本开支及设备国产化率有超预期机会6投资建议8风险提示8有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明2电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速图表目录图1美日荷对中国大陆半导体设备的限制措施4图2ASML公司光刻机产品线及相应制程4图3光刻机发展历程5图4光刻机TOP3企业销售结构-20215图5光刻机市场竞争格局2019年6图62021年光刻机TOP3企业销售情况及产品结构台6图7半导体设备光刻机-ASML内部结构复杂6图8设备的良率缺陷会在数百道生产工序中巨幅累积放大6图9中芯国际历年资本开支亿元7图102021年全球半导体设备市场格局及国内主要企业下图市场规模为全球口径7有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明3电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速1美荷对中国半导体设备实施出口新限制荷兰政府在3月8日表示计划对半导体技术出口实施新的管制ASML在3月8日的最新声明中指出这些新的出口管制措施侧重于先进的芯片制造技术包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统图1美日荷对中国大陆半导体设备的限制措施数据来源东方证券研究所整理中国10nm及更成熟制程光刻机的进口并不受本次限制影响情况好于市场预期ASML公司官网信息显示该公司主流的DUV光刻机产品共有三款设备TWINSCANNXT1980DiTWINSCANNXT2000i和TWINSCANNXT2050i其中2000i和2050i两款是公司在声明所指的产品ASML申明该限制并不是针对所有浸没式光刻机而是仅针对其中的最先进制程设备即NXT2000i及更先进机型NXT2000i最小工作制程为7nm而未被禁运的NXT1980i等设备仍可支持最低至10nm的芯片生产也就是说荷兰实际实施的禁运措施比美国去年10月的芯片管制新规更加宽松管制新规禁运美国14nm及以下设备图2ASML公司光刻机产品线及相应制程产品细分产品制程TWINSCAN支持5和3纳米逻辑节点和领先的DRAM节点的EUV批量生产EUV光刻NXE3600D系统TWINSCAN以更高的生产力支持7和5纳米节点的EUV批量生产NXE3400C采用135NA193nm反射率投影透镜可实现低至40nmc-四极和TWINSCAN38nm偶极的生产分辨率并支持全26x33mm的视场尺寸缩小4NXT2050i倍并与现有设计兼容浸光刻系统TWINSCANDUV润可以实现25nm交叉匹配的产品覆盖NXT2000i光刻式系统TWINSCAN包括135NA193nm反射率投影透镜可实现低至38nm的生产分辨NXT1980Di率实际工艺可以做到10nm以内支持全26x33mm的视场尺寸干TWINSCAN可以实现45nm以下的产品覆盖-同时每小时加工300多片晶圆式NXT1470有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明4电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速TWINSCAN在偏振照明下实现低至57nm的生产分辨率XT1460KTWINSCAN248纳米步进扫描系统是业界最高NA和生产率的双级光刻工具专为XT1060K300毫米晶圆生产而设计TWINSCANNXT870专为批量生产分辨率在110nm及以下的300mm晶圆而设计TWINSCANXT860N批量生产分辨率为110纳米及以下的200和300毫米晶圆TWINSCANXT860M批量生产300毫米晶圆分辨率低于110纳米专为批量生产200毫米和300毫米晶圆而设计分辨率可达220纳TWINSCANXT400L米数据来源ASML公司官网快科技东方证券研究所光刻机是集成电路制造的核心设备之一制造难度极高光刻是决定集成电路集成度的核心工序光刻即将电路图形信息从掩模版上保真传输转印到半导体材料衬底上其基本原理是利用涂敷在衬底表面的光刻胶的光化学反应作用记录掩模版上的电路图形从而实现转印的目的光刻机发展至今经历了5代产品的迭代已从最初的g-linei-line历经KrFArF发展到了如今的EUV全球TOP3光刻机厂商2021年销量结构中EUVi-lineArFiKrFArF设备分别占比93218365图3光刻机发展历程图4光刻机TOP3企业销售结构-20219iline32KrF18ArF5ArFi36EUV数据来源前瞻产业研究院东方证券研究所数据来源ChipInsights东方证券研究所ASML垄断全球高端光刻机市场光刻机市场集中度高ASMLNikonCanon市场占有率超过90其中ASML由于技术领先独占75的市场份额Nikon与Canon分别占据13和6的市场份额ASML的光刻技术在全球处于绝对领先地位EUV领域ASML市占率为100ArFiArF领域市占率分别高达9688有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明5电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速图5光刻机市场竞争格局2019年图62021年光刻机TOP3企业销售情况及产品结构台350EUVArFiArFKrFiline6ASML300625013Nikon200150Canon10075其他500ASMLNikonCanon数据来源SEMI前瞻产业研究院东方证券研究所数据来源ChipInsights东方证券研究所光刻机等半导体设备壁垒高国产替代亟待突破从技术角度看光刻机等半导体设备存在较高的技术壁垒半导体设备是由成千上万的零部件组成的复杂系统将成千上万的零部件有机组合在一起实现精细至nm级别的操作保障设备在nm级别的操作基础上的超高良率保障设备在实现以上两个要求的基础上长时间稳定的运行因此半导体设备尤其是光刻机与半导体先进制程的突破和良率的提升紧密相关以光刻机为首的半导体设备国产化亟待突破图7半导体设备光刻机-ASML内部结构复杂图8设备的良率缺陷会在数百道生产工序中巨幅累积放大单步骤良9099999999999999率最终良率0007606951995数据来源ASML东方证券研究所数据来源ChipInsights东方证券研究所2国内资本开支及设备国产化率有超预期机会中芯23年资本开支乐观其他厂商部分产线扩产有超预期机会下游晶圆厂资本开支方面我们认为供应链安全为当前国内产业核心矛盾国内成熟制程晶圆产能尚不足实现完全自给即使在半导体行业景气度下行背景下行业龙头中芯国际预计2023年资本开支与上一年基本持平维持在60亿美元以上目前中芯国际在分别在北京上海和深圳建设或扩大新制造基地至2022年底中芯深圳进入投产阶段中芯京城进入试生产阶段中芯临港完成主体结构封顶中芯西青开始土建同时部分存储产线受益管制的边际放松和产品规划的调整资本开支有超市场预期机会部分特殊产线亦有望快速推进有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明6电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速图9中芯国际历年资本开支亿元中芯国际资本开支亿元5004504003503002502001501005002017201820192020202120222023E数据来源公司公告东方证券研究所新型举国体制背景下设备国产化率有超预期机会目前半导体设备整体国产化率整体仅15左右我们认为在新型举国体制背景下下游晶圆厂有望加速导入国产设备有以成本和良率换国产化率的可能因此国产化率存在潜在超预期机会整体来看我们认为即使今年国内资本开支受到外部设备管制的负面影响但国产化率的加速提升有望对冲掉资本开支下行的负面影响半导体设备厂商依然有望在今年迎来加速式成长建议重点关注设备低国产化率环节的突破检测量测设备涂胶显影设备PECVD设备等国产化率仍不足10海外多边限制背景下国产替代诉求迫切低国产化率环节有望迎来加速突破给相关厂商该部分业务带来强业绩弹性图102021年全球半导体设备市场格局及国内主要企业下图市场规模为全球口径数据来源SEMI前瞻产业研究院华经产业研究东方证券研究所有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明7电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速投资建议荷兰政府最新限制局限于7nm及以下制程中国10nm及更成熟制程光刻机的进口不受本次限制影响目前半导体设备行业空间广阔国产化进程有望加速推进建议关注国内半导体设备领先企业中微公司688012买入精测电子300567买入芯源微688037买入拓荆科技-U688072买入北方华创002371未评级等风险提示中美贸易摩擦升级半导体设备进口受中美国际关系等因素影响若中美贸易摩擦持续升级将对我国半导体设备进口造成更加不利的影响美荷进一步限制光刻机出口光刻机是半导体制造的重中之重若美荷在更大范围内限制光刻机出口将在很大程度上影响我国半导体行业的发展国内半导体设备厂商发展不及预期半导体设备是高度依赖创新的行业若国内半导体设备厂商发展不及预期将对设备国产化带来不利影响依据发布证券研究报告暂行规定以下条款发布对具体股票作出明确估值和投资评级有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明的证券研究报8告时公司持电子行业动态跟踪荷兰光刻机禁运细则落地看好半导体设备国产化加速分析师TableDisclaimer申明每位负责撰写本研究报告全部或部分内容的研究分析师在此作以下声明分析师在本报告中对所提及的证券或发行人发表的任何建议和观点均准确地反映了其个人对该证券或发行人的看法和判断分析师薪酬的任何组成部分无论是在过去现在及将来均与其在本研究报告中所表述的具体建议或观点无任何直接或间接的关系投资评级和相关定义报告发布日后的12个月内的公司的涨跌幅相对同期的上证指数深证成指的涨跌幅为基准公司投资评级的量化标准买入相对强于市场基准指数收益率15以上增持相对强于市场基准指数收益率515中性相对于市场基准指数收益率在-55之间波动减持相对弱于市场基准指数收益率在-5以下未评级由于在报告发出之时该股票不在本公司研究覆盖范围内分析师基于当时对该股票的研究状况未给予投资评级相关信息暂停评级根据监管制度及本公司相关规定研究报告发布之时该投资对象可能与本公司存在潜在的利益冲突情形亦或是研究报告发布当时该股票的价值和价格分析存在重大不确定性缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确投资评级分析师在上述情况下暂停对该股票给予投资评级等信息投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该股票的投资评级盈利预测及目标价格等信息不再有效行业投资评级的量化标准看好相对强于市场基准指数收益率5以上中性相对于市场基准指数收益率在-55之间波动看淡相对于市场基准指数收益率在-5以下未评级由于在报告发出之时该行业不在本公司研究覆盖范围内分析师基于当时对该行业的研究状况未给予投资评级等相关信息暂停评级由于研究报告发布当时该行业的投资价值分析存在重大不确定性缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确行业投资评级分析师在上述情况下暂停对该行业给予投资评级信息投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该行业的投资评级信息不再有效有关分析师的申明见本报告最后部分其他重要信息披露见分析师申明之后部分或请与您的投资代表联系并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明9免责声明HeadertTableDisclaimerTableDisclaimer本证券研究报告以下简称本报告由东方证券股份有限公司以下简称本公司制作及发布本报告仅供本公司的客户使用本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户本报告的全体接收人应当采取必要措施防止本报告被转发给他人本报告是基于本公司认为可靠的且目前已公开的信息撰写本公司力求但不保证该信息的准确性和完整性客户也不应该认为该信息是准确和完整的同时本公司不保证文中观点或陈述不会发生任何变更在不同时期本公司可发出与本报告所载资料意见及推测不一致的证券研究报告本公司会适时更新我们的研究但可能会因某些规定而无法做到除了一些定期出版的证券研究报告之外绝大多数证券研究报告是在分析师认为适当的时候不定期地发布在任何情况下本报告中的信息或所表述的意见并不构成对任何人的投资建议也没有考虑到个别客户特殊的投资目标财务状况或需求客户应考虑本报告中的任何意见或建议是否符合其特定状况若有必要应寻求专家意见本报告所载的资料工具意见及推测只提供给客户作参考之用并非作为或被视为出售或购买证券或其他投资标的的邀请或向人作出邀请本报告中提及的投资价格和价值以及这些投资带来的收入可能会波动过去的表现并不代表未来的表现未来的回报也无法保证投资者可能会损失本金外汇汇率波动有可能对某些投资的价值或价格或来自这一投资的收入产生不良影响那些涉及期货期权及其它衍生工具的交易因其包括重大的市场风险因此并不适合所有投资者在任何情况下本公司不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任投资者自主作出投资决策并自行承担投资风险任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效本报告主要以电子版形式分发间或也会辅以印刷品形式分发所有报告版权均归本公司所有未经本公司事先书面协议授权任何机构或个人不得以任何形式复制转发或公开传播本报告的全部或部分内容不得将报告内容作为诉讼仲裁传媒所引用之证明或依据不得用于营利或用于未经允许的其它用途经本公司事先书面协议授权刊载或转发的被授权机构承担相关刊载或者转发责任不得对本报告进行任何有悖原意的引用删节和修改提示客户及公众投资者慎重使用未经授权刊载或者转发的本公司证券研究报告慎重使用公众媒体刊载的证券研究报告HeadertTableAddress东方证券研究所地址上海市中山南路318号东方国际金融广场26楼电话021-63325888传真021-63326786网址wwwdfzqcomcn东方证券股份有限公司经相关主管机关核准具备证券投资咨询业务资格据此开展发布证券研究报告业务东方证券股份有限公司及其关联机构在法律许可的范围内正在或将要与本研究报告所分析的企业发展业务关系因此投资者应当考虑到本公司可能存在对报告的客观性产生影响的利益冲突不应视本证券研究报告为作出投资决策的唯一因素