事件：3月1日，公司公告2023年限制性股票激励草案，拟授予激励对象限制性股票167.03万股，其中首次授予151.78万股。
　　授予价格70元/股，首次授予324人167.03万股。公司2023年激励计划拟授予激励对象限制性股票167.03万股，占公告时总股本的0.799%。其中，首次授予151.78万股，授予价格70元/股，激励对象共324人，包括董事、高管、核心技术人员以及董事会认为需要激励的其他员工，占2022年底公司员工总人数的17.6%。低授予价格，高员工授予比例充分激发员工活力，保证团队凝聚力，为公司高效运营与长期增长增益。
　　业绩目标三年40%复合增速，彰显公司高成长信心。本次激励计划业绩考核期为2023-2025年，对应各考核年度营收触发值为20/28/40亿元，目标值为24/36/45亿元，三年复合增速约37%；净利润触发值为2.6/3.6/5.4亿元，目标值为3.2/4.8/6.3亿元，三年复合增速约40%。高复合增速的业绩考核目标充分彰显公司对未来发展的信心，也将进一步激发员工积极性。
　　平台化布局，模组+气体管路成为新增长引擎。公司2008年成立后成功导入国际客户A并高速放量，同时承担多项国家重大科研专项，成为全球为数不多的可量产应用于7纳米工艺制程的半导体精密零部件制造商。目前，公司工艺件和结构件已高速成长，未来模组和气体管路业务将成为公司增长的重要引擎。
　　盈利预测：我们预计公司2022-2024年营业收入15.4/21.5/30.9亿元，归母净利润2.4/3.8/5.8亿元，给予“推荐”评级。
　　风险提示：（1）中美贸易摩擦风险；（2）下游晶圆厂扩产不及预期；（3）产品研发及产业化应用不及预期。