半导体设备零部件领军企业，业务线/客户覆盖范围国内最为齐全
　　富创精密成立于2008年，是国内半导体设备精密零部件的领军企业，目前在零部件7大品类中切入了4条产品线，主营业务包含工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路。与大多国内半导体公司不同，公司在早期就已进入海外头部厂商的供应链，证实了公司强大的产品和技术能力。我们预期公司未来3年会坚守海外市场，也将通过配套产线建设积极拓宽国内客户业务，实现收入规模超70%的复合增长率。我们预计公司2022-24年EPS1.15/1.92/2.84元，考虑到公司半导体零部件业务占比最高，盈利增速显著高于可比公司，我们首次覆盖富创精密给予“买入”评级，基于行业均值(2023年1.0倍PEG)溢价30%，给予公司2023年86倍PE，目标价165.1元。
　　行业：市场规模接近设备行业的一半，品类较为多样，竞争格局相对分散
　　根据半导体设备厂数据，半导体零部件占半导体设备公司总销售额约48%左右，我们测算2022年全球半导体设备厂商所需零部件的市场规模在521亿美元，同比增长5.9%。同时，考虑到公司占据的4大业务主体，我们预计2022年公司业务对应的全球市场空间在264亿美元，公司目前所能达到全球市占率仅接近1%。零部件由于品类多样，竞争格局相对较为分散，目前全球最大的Zeiss市场份额也仅为6.2%。国内厂商在诸如机械类和气体/真空系统类等品类中已经实现了一定的突破，但某些核心技术壁垒较高或对于产品精度要求较高的品类，诸如电气类和仪器仪表类，国产化率仍然偏低。
　　四大平台齐发力，国产半导体设备零部件龙头地位凸显
　　公司的核心竞争力主要在于1）四大业务平台化布局，公司是国内零部件厂商中覆盖范围最广的公司；2）三大制造工艺领先，是全球少数能够量产7纳米制程零部件厂商；3）深耕行业多年依托海外龙头客户横向拓展，国内客户份额不断提升；4）募集资金助力厂房建设，打开产能限制，公司目前产值仍依靠沈阳产线，2023年起随着沈阳新厂以及南通、北京产能释放，预计可为公司未来3年收入高增长提供保障。
　　估值：首次覆盖给予“买入”评级，目标价165.1元
　　受益于上游零部件行业进口替代加速，我们预计公司2022-24年归母净利润为2.4/4.0/5.9亿元，对应EPS 1.15/1.92/2.84元，考虑到公司半导体零部件业务占比最高，半导体设备零部件的高毛利率支撑公司盈利增速显著高于可比公司，我们首次覆盖富创精密给予“买入”评级，基于行业均值(2023年1.0倍PEG)溢价30%，给予公司2023年86倍PE,目标价165.1元。
　　风险提示：1）下游设备厂商新增订单缩减风险；2）中美贸易摩擦升级风险；3）大客户依赖度过高风险。
　　

研究报告全文：证券研究报告富创精密688409CH半导体设备零部件龙头受益国产化华泰研究首次覆盖投资评级首评买入2023年2月20日中国内地半导体目标价人民币16510研究员黄乐平PhD半导体设备零部件领军企业业务线客户覆盖范围国内最为齐全SACNoS0570521050001lepinghuanghtsccomSFCNoAUZ06685236586000富创精密成立于2008年是国内半导体设备精密零部件的领军企业目前在零部件7大品类中切入了4条产品线主营业务包含工艺零部件结构零研究员丁宁部件模组产品和气体管路与大多国内半导体公司不同公司在早期就已SACNoS0570522120003dingning021681htsccom进入海外头部厂商的供应链证实了公司强大的产品和技术能力我们预期862128972228公司未来3年会坚守海外市场也将通过配套产线建设积极拓宽国内客户业研究员陈旭东务实现收入规模超70的复合增长率我们预计公司2022-24年EPSSACNoS0570521070004chenxudonghtsccom115192284元考虑到公司半导体零部件业务占比最高盈利增速显著SFCNoBPH392862128972228高于可比公司我们首次覆盖富创精密给予买入评级基于行业均值2023研究员刘溢年10倍PEG溢价30给予公司2023年86倍PE目标价1651元SACNoS0570522070002liuyi020747htsccom862128972228行业市场规模接近设备行业的一半品类较为多样竞争格局相对分散根据半导体设备厂数据半导体零部件占半导体设备公司总销售额约48基本数据左右我们测算年全球半导体设备厂商所需零部件的市场规模在2022521目标价人民币16510亿美元同比增长59同时考虑到公司占据的4大业务主体我们预收盘价人民币截至2月17日11400计2022年公司业务对应的全球市场空间在264亿美元公司目前所能达到市值人民币百万23832全球市占率仅接近1零部件由于品类多样竞争格局相对较为分散目6个月平均日成交额人民币百万32183前全球最大的Zeiss市场份额也仅为62国内厂商在诸如机械类和气体52周价格范围人民币10498-15110人民币真空系统类等品类中已经实现了一定的突破但某些核心技术壁垒较高或对BVPS2206于产品精度要求较高的品类诸如电气类和仪器仪表类国产化率仍然偏低股价走势图四大平台齐发力国产半导体设备零部件龙头地位凸显富创精密人民币相对沪深300公司的核心竞争力主要在于1四大业务平台化布局公司是国内零部件厂15254商中覆盖范围最广的公司2三大制造工艺领先是全球少数能够量产714039纳米制程零部件厂商3深耕行业多年依托海外龙头客户横向拓展国内12824客户份额不断提升4募集资金助力厂房建设打开产能限制公司目前产值仍依靠沈阳产线2023年起随着沈阳新厂以及南通北京产能释放1168预计可为公司未来3年收入高增长提供保障1047Oct-22Nov-22Jan-23Feb-23估值首次覆盖给予买入评级目标价1651元资料来源Wind受益于上游零部件行业进口替代加速我们预计公司2022-24年归母净利润为244059亿元对应EPS115192284元考虑到公司半导体零部件业务占比最高半导体设备零部件的高毛利率支撑公司盈利增速显著高于可比公司我们首次覆盖富创精密给予买入评级基于行业均值2023年10倍PEG溢价30给予公司2023年86倍PE目标价1651元风险提示1下游设备厂商新增订单缩减风险2中美贸易摩擦升级风险3大客户依赖度过高风险经营预测指标与估值会计年度202020212022E2023E2024E营业收入人民币百万4812284313162826724182-89947521931064115653归属母公司净利润人民币百万935012649240524010259323-380433528901566734793EPS人民币最新摊薄045061115192284ROE139912878027791051PE倍2548818841990859434017PB倍25992274482446401EVEBITDA倍1390711025579835672340资料来源公司公告华泰研究预测免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读1富创精密688409CH正文目录首次覆盖富创精密给予买入评级目标价1651元3区别于市场的观点4盈利预测5估值分析7采用PE估值法我们给予公司目标价1651元基于86倍2023年市盈率7富创精密国内半导体设备精密零部件领军企业8专注半导体设备零部件制程工艺稳步提升国内外高端客户快速突破8产业链位置半导体迭代基石充分受益半导体设备市场发展8工艺零部件结构零部件模组产品和气体管路平台化布局9收入快速放量毛利率稳中有升10公司承接重大科研项目获政府补贴共计9524万元12董事长实际控制公司核心团队均在半导体零部件行业内拥有多年经验12半导体零部件行业市场空间广阔国产化任重道远14设备零部件是半导体行业基础市场空间广阔14半导体零部件种类繁多机械类占比最高高端产品技术壁垒高14半导体零部件市场主要被美日供应商占据国产厂商主要以机械类为主16内因外因推动半导体零部件国产化率提升18中国零部件厂商持续扩产打开市场份额天花板20公司核心竞争力分析21核心推荐逻辑一四大业务平台化布局市场空间广阔21工艺零部件工艺制程复杂技术要求高公司产品国内领先已导入7nm22结构零部件工艺制程相对简单种类繁多公司部分结构零部件已导入7nm22模组产品行业模块化趋势下需求旺盛公司模组产品逐步放量22气体管路晶圆加工对气体纯度要求高公司叠加国产化契机重点布局23核心推荐逻辑二全球少数能够量产7纳米工艺制程零部件制造商23核心推荐逻辑三依托海外龙头客户横向拓展国内客户份额不断提升25核心推荐逻辑四募集资金助力厂房建设打开产能限制26可比公司对比富创精密在多个维度上处于行业领先地位28财务分析盈利能力趋稳31利润表毛利率水平维持平稳研发费用占比高31资产负债表资产负债率优化32现金流量表经营性活动现金流状况良好32风险提示33免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读2富创精密688409CH首次覆盖富创精密给予买入评级目标价1651元富创精密是国内半导体设备精密零部件领军企业曾先后两次承担国家02重大专项项目通过持续自主研发投入掌握了部分精密零部件制造技术及特种涂层喷涂工艺等表面处理特种工艺核心技术具备了一套完整的复合焊接工艺目前已形成工艺零部件结构零部件模组产品和气体管路四大业务平台公司成立之初即对标全球半导体设备龙头的供应商管理标准不断拓展海内外市场先后打入多家国内外龙头企业供应链受益于业务及客户拓展2019年后公司收入实现跨越式增长2019-2021年收入年复合增速高达553年均向客户交付量产产品种类超过2000种我们认为公司是国内目前业务布局最全面规模最大的半导体设备零部件公司之一规模效应逐步体现龙头地位凸显我们认为富创精密的核心竞争力主要在于1四大业务平台化布局市场空间广阔公司是国内零部件厂商中覆盖范围最广的公司2三大制造工艺领先是全球少数能够量产7纳米工艺制程零部件的制造商3深耕行业多年依托海外龙头客户横向拓展国内客户份额不断提升4募集资金助力厂房建设打开产能限制图表1富创精密核心推荐逻辑四大业务平台三大核心技术客户资源丰富打开产能限制工艺零部件精密机械加工技术客户A沈阳现有产能15亿结构零部件表面处理特种工艺技术北京计划产能20亿2027年达产焊接技术模组产品南通系募投项目投资10亿计划产能20亿2025年达产气体管路依托三大核心技术成为了全球少数能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商资料来源富创精密招股说明书华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读3富创精密688409CH区别于市场的观点市场对于设备公司基本面存在两点担忧1海外占比较高受整个半导体下行周期影响更大2内销占比提升导致盈利水平下滑对此我们认为1SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模同比下滑16至912亿美元而2024年恢复成长176至10716亿美元公司作为一个拥有出海逻辑的全球化公司感受到行业压力但公司总体市占率处于低位对此我们乐观看待公司份额提升提高国内设备厂商导入以及南通北京工厂产能放量带来的快速增长2我们看到随着国内半导体设备厂商的崛起公司内销收入占比2021年上升至3932但是同时可以看到公司内销毛利率与外销毛利率差距已经缩小至10以内我们认为未来随着内销毛利率的上升且随着公司高毛利产品占比提升整体毛利率有望维持稳健水平图表2华泰预测vsWind一致预期截至2023年2月19日2022E2023E百万元华泰预测Wind一致预期差异华泰预测Wind一致预期差异营业收入16281443132672222020营业利润2782501144639612归母净利润241226640135812每股盈利元115108719217112资料来源Wind华泰研究预测免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读4富创精密688409CH盈利预测营收水平我们认为随着公司研发的持续投入模组及气体管路产品的持续放量以及海内外客户的拓展公司发展有望从量变走向质变受益于产品结构优化半导体设备零部件国产化趋势及长期市场份额提升2022-2024年归母净利润预计为241401593亿元同比增长901667479对应EPS为115192284元毛利率201920202021年公司毛利率分别为172316320毛利率持续改善我们认为主要源于1随着公司产品销量提升和工序优化生产效率提升规模效应显现2公司产品在半导体领域认证的品类不断扩充高毛利产品销售占比持续提升产品结构优化受益于规模效应和产品结构优化3Q22公司毛利率升至3288我们预计2022年公司毛利率将升至335随着公司毛利率较低的模组产品放量预计2324年毛利率有所回落至309308费用率公司营业费用率随公司规模效应凸显维持稳定2019-2021年分别为340199196展望2022-2024年我们预计22-24年公司销售费用率分别为121110管理费用率分别为7570702021年公司研发费用率为88较2020年同比11pct主要系公司大幅增加研发投入为后续发展提前进行工艺储备对应职工薪酬咨询费和其他研发费用快速增长展望2022-2024年我们认为公司将保持较高的研发力度研发费用率保持在85工艺零部件公司工艺零部件主要包含腔体按使用功能分为过渡腔传输腔和反应腔内衬和匀气盘等产品2021年营收占比为212公司工艺零部件已应用于7nm制程半导体设备或将受益于中国半导体设备国产化向更先进制程发展有望保持高速增长我们预计222324年随着客户份额提升出货量大幅增长收入预计分别为365065亿元同比增速为1004030毛利率侧2021年公司工艺零部件产品毛利率为340我们预计2022年受益于规模效应提升至3502324随着行业竞争加剧预计略降至330330结构零部件公司结构零部件主要包含托盘轴铸钢平台流量计底座定子冷却套和冷却板等产品2021年营收占比为418受益于半导体零部件国产化趋势公司作为国内半导体设备金属零部件龙头企业有望迅速抢占市场空间市占率大幅提升222324年收入预计分别为6190120亿元同比增速为734734公司结构零部件毛利率波动与工艺零部件基本一致2021年公司结构零部件产品毛利率为324我们预计222324毛利率为340320320模组产品公司模组产品主要包含离子注入机模组传输腔模组过渡腔模组刻蚀阀体模组和气柜模组等2021年营收占比为191模组产品为公司新拓展品类从供应简单模组发展到组装复杂腔体模组和刻蚀阀体模组再到掌握先进制程的半导体气柜模组多种产品不断得到客户认证实现量产供货我们预计公司模组产品收入将逐年高速增长222324年收入预计分别为3464108亿元同比增速为1108968毛利率侧因为公司模组产品不断得到公司客户认可加之规模效应带来单位成本的下降2021年公司模组产品毛利率为222我们预计2022年受益于产品结构调整提升至262324年回落至220220气体管路公司气体管路主要用于半导体设备中的特殊工艺气体传送2021年营收占比为163公司多种气体管路产品已通过国内外核心客户认证将持续量产供货我们预计公司气体管路销售收入将高速增长222324年收入预计分别为3061121亿元同比增速为120100100毛利率侧因为公司气体管路产品通过主要客户验证产品销量提升下规模效应明显2021年公司气体管路产品毛利率为339我们预计222324毛利率为350340340免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读5富创精密688409CH图表3营收预测表百万人民币3Q224Q222019202020212022E2023E2024EAEAAAHuataiHuataiHuatai营业收入415616253481843162826724182YoY82112787126899752931641565营业成本278407210329573108318452893毛利136208441522705458271290OPEX691158696165288451691销售费用56141216202942销售费用率1210532519121110管理费用3442373565122187293管理费用率82671467377757070研发费用3360293774138227355研发费用率79971147788858585财务费用3771111871财务费用率-0712272412050300资产减值损失821189162121其他经营收益15531725650100100营业利润719434108136278446659YoY73511180-407041742551044603479营业外收入支出00000100税前收益719434108136278446659YoY73911356-470741642521054601479所得税15811514384566少数股东损益79005000归母净利润63773394126241401593YoY6297483-58593804353901667479稀释每股收益030037-016045061115192284比率分析毛利率329338172316320335309308营业费用率165186340199196177169165研发费用率79971147788858585营业利润率172153-135225161171167158净利率135141-132194144148150142资料来源Wind华泰研究预测图表4分业务预测表人民币百万元2019202020212022E2023E2024EAAAHuataiHuataiHuatai收入253481843162826724182同比126899752931641565毛利率172316320335309308工艺零部件67117178356498648占比263243212219186155同比755525995400300毛利率228360340350330330结构零部件1181973526108971201占比467409418375336287同比664789733470339毛利率182354324340320320模组产品591001613396401075占比232209191208240257同比7086071100890680毛利率62142222260220220气体管路6591383036061213占比22122163186227290同比95591340120010001000毛利率-03350339350340340资料来源公司公告华泰研究预测免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读6富创精密688409CH估值分析采用PE估值法我们给予公司目标价1651元基于86倍2023年市盈率我们选取了与公司同为半导体设备零部件赛道的3家公司作为可比公司包括江丰电子新莱应材华亚智能从产品线来看富创精密深耕结构零部件工艺零部件模组产品和气体管路产品下游半导体占比882江丰电子专注于高纯金属溅射靶材新布局的半导体零部件业务占比约116新莱应材聚焦高洁净高纯及超高纯应用材料产品广泛应用于各种无菌真空无尘的环境下游半导体占比259华亚智能的生产工艺则以钣金加工为主下游半导体占比488可比公司的2023年PEG平均数为10倍考虑到公司半导体零部件业务占比最高半导体设备零部件的高毛利率支撑公司盈利增速显著高于可比公司我们首次覆盖富创精密给予买入评级基于行业均值溢价30给予公司13倍PEG对应2023年86倍PE目标价1651元图表5可比公司估值表PEPBPSPEG22-24归市值母净利润代码公司名称股价百万元2022E2023E2022E2023E2022E2023E2022E2023ECAGR300666CH江丰电子759020162663498746579580515656300260CH新莱应材7100160864413151068157450408615003043CH华亚智能62535002326223514071520407531平均值469325776269510410688409CH富创精密11400238329915944845158971111676注可比公司预测数据来自Wind一致预期截止日期为2023219资料来源彭博Wind华泰研究预测免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读7富创精密688409CH富创精密国内半导体设备精密零部件领军企业富创精密成立于2008年深耕半导体设备精密零部件制造领域是国家级专精特新小巨人企业国家02重大专项及国家智能制造新模式应用项目承担单位公司坚持自主研发金属材料零部件精密制造技术掌握了精密机械制造表面处理特种工艺焊接组装检测等多种制造工艺是全球少数能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商公司产品具备高精密高洁净高耐腐蚀耐击穿电压等性能应用的半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀薄膜沉积光刻及涂胶显影化学机械抛光离子注入等核心环节客户既包括A客户东京电子HITACHIHigh-Tech和ASMI等国际知名半导体设备企业也包括北方华创屹唐股份中微公司芯源微等国内主流半导体设备企业专注半导体设备零部件制程工艺稳步提升国内外高端客户快速突破2008年富创精密正式成立成立之初就面向半导体零部件市场20112014年先后两次承担国家02重大专项项目通过持续自主研发投入掌握了部分精密零部件制造技术及特种涂层喷涂工艺等表面处理特种工艺核心技术具备了一套完整的复合焊接工艺相关技术达到了主流国际客户标准2011年进入海外龙头A客户供应链从成立之初的90nm以上制程到如今为7nm制程工艺设备提供精密零部件公司实现了半导体设备部分精密零部件国产化的自主可控先后为上海微电拓荆科技北方华创中科信装备等国内知名半导体设备企业提供精密零部件的研发及量产配套服务打入国际半导体设备龙头客户A东京电子VATHITACHIHigh-TechASMI等多个全球半导体设备龙头厂商供应链体系图表6富创精密主要产品技术及客户演变情况40nm及以上制程14-28nm制程7-14nm制程承担国家02重大成功试制并交付再次承担国家02为28nm制程工艺为14nm制程工艺设备为7nm制程工艺设备专项之IC设备千余种零部件表重大专项之基设备提供精密零提供精密零部件建提供精密零部件关键零部件集成面处理样件为于焊接和表面涂部件核心产品立美国研发中心及柔拥有自动化产线报制造技术与加工65nm制程工艺设覆技术的大型铝应用于12英寸硅性智能化车间告期内累计交付首平台项目备提供精密零部件制造技术开发片加工设备与北方华创中科信件种类10000首次与客户A合件项目为40nm成为客户A的战装备TOCALO日为ASMI中微公司作并于2011年产品通过上海微制程工艺设备提略供应商完成本VTEX等国内外知北京屹唐等国内外通过其SSQA质量电子荆拓科技供精密零部件瑞士VAT的阀门名半导体领域公司批知名半导体设备厂体系认证成为等国内半导体设成为日本TEL零部件开发并批量提供精密零部件及商提供精密零部件合格供应商备厂商用户验证日本DAIHEN供量供应服务累计通过客户A特种应商工艺认证38项201120122014201620182020资料来源富创精密招股说明书华泰研究产业链位置半导体迭代基石充分受益半导体设备市场发展半导体行业遵循一代技术一代工艺一代设备的产业规律半导体设备作为晶圆制造的重要生产工具需要贴合下游需求不断迭代升级而半导体设备精密零部件作为半导体设备制造技术含量较高的环节其工艺突破是推动半导体设备制程进步的关键因素也是国内半导体设备企业亟待突破的卡脖子环节之一公司量产的精密零部件产品超千种具备百级和千级洁净间和半导体级别的洁净检测能力达到了全球半导体设备龙头企业的标准同时精密零部件需要先后进行质量工艺性能等多方面认证方能获得半导体设备企业首件试制资格验证通过后才能量产全部流程持续2-3年因而达成合作关系后黏性较强公司与国内外龙头客户合作稳定有望充分受益于半导体设备市场发展免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读8富创精密688409CH图表7富创精密所处产业链位置EDAIP半导体材料设计晶圆代工封装测试模组整机掩模半导体设备铝合金材料半导体设备零部件其他金属非金属原材料工艺零部件结构零部件模组气体管路真空系类传感器类仪器仪类资料来源富创精密招股说明书华泰研究工艺零部件结构零部件模组产品和气体管路平台化布局图表8富创精密产品分类按收入占比公司产品分类工艺部件2115结构部件4176模组产品1912气体管路1635其他162用于刻蚀薄用于化学机械离子注入机用于离子注入过渡腔托盘轴气体管路膜沉积设备抛光设备模组设备用于刻蚀薄用于化学机械用于刻蚀薄传输腔铸钢平台传输腔模组膜沉积设备抛光设备膜沉积设备刻蚀薄膜沉积离子注入设备等用于刻蚀薄用于刻蚀薄反应腔用于刻蚀薄流量计底座过渡腔模组膜沉积设备膜沉积设备膜沉积设备用于化学机械刻蚀阀体匀气盘用于刻蚀设备定子冷却套用于刻蚀设备抛光设备模组用于制造显示面板用于刻蚀薄用于刻蚀薄膜沉的薄膜沉积设备内衬冷却板气柜模组积离子注入设备膜沉积设备涂胶显影设备资料来源富创精密招股说明书华泰研究1工艺零部件晶圆制备工艺的关键零部件在半导体设备中与晶圆直接接触或直接参与晶圆反应主要应用于刻蚀设备薄膜沉积设备也少量应用于离子注入设备和高温扩散设备等公司工艺零部件包括腔体内衬和匀气盘系公司技术要求最高的业务部分产品应用于7纳米制程的半导体前道设备2021年实现收入178亿元占总收入比例达212公司工艺零部件产品在耐腐蚀性密封性洁净度真空度耐击穿电压和微孔加工等多项指标均达到或高于主流客户要求2结构零部件在半导体设备中一般起连接支撑和冷却等作用广泛应用于半导体设备面板及光伏等领域公司结构零部件产品种类繁多主要按客户定制要求进行生产2021年实现收入352亿元占总收入比例达418结构零部件贡献了公司收入的主要部分系其工艺制程相对简单公司与客户往往从结构零部件生产开始合作公司部分结构零部件产品同样应用于7纳米制程的半导体前道设备在上述性能及机械加工精度上达到国际主流客户要求免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读9富创精密688409CH3模组产品由自制的工艺零部件结构零部件与外购的电子标准件和机械标准件等经组装测试而成公司的模组产品系新开拓的产品品类主要包括离子注入机模组传输腔模组过渡腔模组刻蚀阀体模组和气柜模组等标准化程度较高通过客户验证后得到批量化生产2021年实现收入161亿元占总收入比例达191模组产品的销售方式优化了半导体设备的生产流程和交付周期随着半导体产业的持续发展未来市场对模组产品的需求有望进一步增加为公司业绩增长赋能4气体管路产品用于半导体设备中的特殊工艺气体传送是连接气源到反应腔的传输管道公司生产的气体管路主要应用于离子注入设备刻蚀设备和薄膜沉积设备等2021年实现收入138亿元占总收入比例达163由于半导体设备厂商难以排除气体污染对气体管路产品质量要求极高公司利用超洁净管路焊接技术及清洗技术结合自身工艺保证了产品的优良品质达到了国际主流客户的严苛标准收入快速放量毛利率稳中有升公司营业收入从2018年的225亿元增长至2021年的843亿元CAGR达5534归母净利润从2018年的686万元增长至2021年的126亿元CAGR达16416主因半导体行业景气度持续回升叠加半导体设备国产化趋势公司不断得到境内外客户认可实现产品销售的迅速放量公司2022年前三季度实现收入1013亿元同比增长767实现归母净利润163亿元同比增长984合同负债和存货平稳上升未来增长确定性较强从合同负债指标来看公司从2020年65万元大幅增加至2021年的1903万元2022年前三季度1273万元开启扩产能的道路从存货来看公司同样于2021年开始存货扩张从2020年13亿增加至26亿元图表9富创精密2018-2022Q3收入利润及增速图表10富创精密2018-2022Q3毛利率与净利率百万元营业收入归母净利润毛利率净利率40营业收入YoY右轴归母净利润YoY右轴33291200600332431583204301000400194320152180020014401718600010400-2003050200-4000-600-10-1316200-800-2020182019202020211-3Q2220182019202020211-3Q22资料来源Wind华泰研究资料来源Wind华泰研究图表11富创精密合同负债图表12富创精密存货万元合同负债亿元存货20006180051600140041200100038002600400120000202020212022Q1-32019202020212022Q1-3资料来源Wind华泰研究资料来源Wind华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读10富创精密688409CH气体管路产品通过核心客户认证营收占比迅速攀升公司和客户的合作往往从结构零部件开始向性能更高的工艺零部件延伸两大业务共同形成了60以上的营业收入模组产品和气体管路标准化程度较高一旦通过验证容易批量化生产快速拉动公司收入和利润规模2020-2021年公司多种气体管路产品陆续通过客户A北方华创等核心客户认证持续量产供货21年收入规模较19年增长24倍营收占比也迅速攀升至163公司毛利率整体处于稳定水平模组产品毛利率逐步提升2019年行业景气度羸弱且当年预投产能转固大幅增加折旧与摊销产能利用率较低各类产品及整体毛利率处于较低水平除去当年影响公司毛利率整体围绕32上下浮动公司模组产品属于高度定制化品类随着其产品质量和交付周期不断得到客户认可销量提升和工序优化能够带来规模效应叠加公司模组产品结构持续优化应用于半导体设备领域的占比提高双重因素有望推动公司模组产品毛利率提升公司不同型号产品尺寸性能附加值和客户应用的定制化半导体设备差异较大单价和毛利率差异较大例如工艺零部件单价基本在1000-200000元件之间而结构零部件的单价基本在50-50000元件不等产品结构的变动是影响公司财务指标的重要因素图表13富创精密2018-2021营业收入拆分按产品图表14富创精密2018-2021分产品毛利率结构零部件工艺零部件模组产品气体管路其他业务结构零部件工艺零部件40100模组产品气体管路122410391635302319802086203178191260262910243021150405460-1046702040904176-200-3020182019202020212018201920202021资料来源Wind华泰研究资料来源Wind华泰研究国产化加速内外占比提升但内销毛利率低于外销公司营收主要销往国际半导体设备厂商在北美和亚洲的组装工厂随着国内半导体设备厂商的崛起公司内销收入占比逐年提升从2019年的1534上升至2021年的3932但因外销客户产品技术先进性和性能稳定性更高如7nm产品均为外销且公司开拓国内客户给予一定让价所以相比外销公司内销毛利率更低未来随着内销毛利率的上升且随着公司高毛利产品占比提升整体毛利率有望维持稳定水平图表15富创精密内外销占比图表16富创精密内外销毛利率与主营业务毛利率内销占比外销占比内销毛利率外销毛利率10040主营业务毛利率908030706068207770608466501040030203932-102230101534-200201920202021201920202021资料来源Wind华泰研究资料来源Wind华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读11富创精密688409CH公司承接重大科研项目获政府补贴共计9524万元公司过去共承担三次重大科研项目并获得政府补贴分别为2011年承担国家02重大专项之IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台项目2014年承担国家02重大专项之基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发以及2017年承担国家智能制造新模式应用项目之集成电路装备零部件柔性数字化车间建设多品种小批量智能制造新模式应用其实施周期分别为2011年1月至2015年12月2014年1月至2020年6月2016年7月至2019年6月每个项目分别获得政府补助三次共计9524万元图表17富创精密三次重大科研项目政府补助第一次补贴第二次补贴第三次补贴万元6000500040003000200010000项目1项目2项目3资料来源Wind华泰研究董事长实际控制公司核心团队均在半导体零部件行业内拥有多年经验2003年因中国科学院沈阳自动化研究所旗下沈阳先进拟引入投资者董事长郑广文投资入股沈阳先进后业务逐步拓展至高端精密制造领域并于2008年6月通过沈阳先进投资设立富创有限2008年1月至今郑广文先后任沈阳先进董事总经理执行董事等职务2006年5月至今任芯源微董事2009年11月至今任富创有限富创精密董事长总经理公司核心技术团队由董事倪世文副总经理宋岩松等7位人员组成均在半导体精密零部件制造开发行业内拥有多年经验在公司两次02重大专项任务及其他研发项目中核心技术成员各自带领团队实现产品技术突破截至2021年12月31日公司拥有研发人员225人占当年员工总人数的207截止三季报2022年10月28日公司董事长郑广文先生直接持有478股份沈阳先进持有公司1691股份占比最高中信证券富创精密员工参与科创板战略配售集合资产管理计划占公司154股份促进管理团队和人才队伍的稳定公司股东辽宁科发系辽宁省国资委控股作为国有股东持有公司478股份创业投资公司宁波祥浦私募基金公司上海国投及辽宁中德分别持有公司16171367478股份公司拥有沈阳融创北京富创南通富创富创研究院沈阳强航5家境内控股子公司美国富创日本富创2家境外全资子公司和上海广川芯链融创2家境内参股公司其中北京富创南通富创和富创研究院主要负责精密零部件的研发生产和销售沈阳融创和沈阳强航主要负责高端精密零部件的研发生产和销售美国富创和日本富创主要负责当地产品研发和客户沟通免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读12富创精密688409CH图表18富创精密股份股权结构截至2022年10月10日实际控制人员沈宁上辽辽宁中宿工郑阳波海宁宁波证迁参广先祥国科中芯投浑与文进浦投发德富资璞合计169116171367478478478287194175154富创精密上海分公司1001001001001001002735419北京富创南通富创富创研究院美国富创日本富创沈阳融创沈阳强航上海广川芯链融创半导体设备精密零部件的研发生产和销售协助公司产品研协助公司产品研高端精密零部件的研发生产和销售洁净室机械手及其半导体相关技术的发及北美客户业发及日本客户业他半导体领域自动开发服务咨询务沟通务沟通化设备的研发销检测和设备租赁等售和维修资料来源富创精密招股说明书华泰研究图表19大股东解禁时间表股份数量万股解禁数量占比解禁日期解禁前流通股本次解禁解禁后流通股占解禁前流通股占解禁后流通股占总股本上市股份类型剩余限售股数2025101012189308716032090533715141694169首发原股东限售股份000202410101204643142881218930119117068首发战略配售股份871603首发原股东限售股份2023101046754073710312046431576661193526885891首发战略配售股份首发一股股份首发机2023410445153223874675405034791071622994构配售股份首发一股股份首发机20221010000445153445153--1000021291645380构配售股份资料来源Wind华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读13富创精密688409CH半导体零部件行业市场空间广阔国产化任重道远设备零部件是半导体行业基础市场空间广阔半导体精密零部件支撑半导体设备的升级迭代是半导体产业链中不可或缺的一环半导体的生产需要经过光刻刻蚀离子注入薄膜沉积清洗量测抛光等一系列步骤各环节需要不同的制造设备半导体设备大部分关键核心技术物化于设备精密零部件因此具备高精密高洁净超强耐腐蚀能力耐击穿电压等特性的精密零部件直接保障了半导体设备的精度和可靠性其技术突破进而支撑了半导体设备的升级迭代半导体设备零部件市场规模持续上升我们预计全球2022年将达564亿美元规模半导体设备厂商与晶圆厂均对半导体零部件存在一定需求目前约90的需求来自于半导体设备厂商这是目前半导体零部件的主要市场与最大成长动能据北方华创拓荆科技等公司公告中国半导体设备公司设备业务毛利率在38-45左右即成本占据设备总销售额的55-62同时直接材料占比构成了设备总成本中的88-94左右对应半导体零部件占半导体设备公司总销售额约48左右SEMI预计2022年全球半导体设备市场规模仍有望同比增长59至1085亿美元据此我们测算2021年全球半导体设备所需精密零部件的市场规模为492亿美元2022年将达到521亿美元图表20全球半导体设备零部件市场规模图表212021年全球市场各类半导体设备零部件占比仪器仪表类2160050其他销售额增长率8340500机械类30电气类2504001252030010200光学类气体液体真0167空系统类188100-10机电一体类0-201672011201020122013201420152016201720182019202020212022E资料来源SEMI华泰研究预测资料来源富创精密招股说明书华泰研究半导体零部件种类繁多机械类占比最高高端产品技术壁垒高按产品类别半导体精密零部件具体又分为机械类电气类机电一体类仪器仪表类气体液体真空系统类和光学类六大精密零部件据富创精密招股书披露2021年全球机械类电气类机电一体类仪器仪表类气液真空系统类光学类零部件市场规模占半导体设备零部件市场比例分别为25131721917市场份额分别为1236282109282亿美元机械类零部件占比最高市场空间最大1机械类在设备中起到构建整体框架基础结构晶圆反应环境和实现零部件特殊功能的作用保证反应良率延长设备使用寿命具体又分为金属工艺件金属结构件和非金属机械件其中金属件技术要求相对较低国产化程度较高但应用于高制程设备的产品仍存在较高技术壁垒而静电卡盘密封圈等非金属机械件对密封性真空度等要求较高国内市场尚处于起步阶段2电气类在设备中起到控制电力信号工艺反应制程的作用核心模块为射频电源直接关系到腔体中的等离子体浓度均匀度和稳定度目前国产射频电源主要应用于低端工业及泛半导体设备系电源的波形频率和功率等参数不够稳定精度达不到半导体级应用要求免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读14富创精密688409CH3机电一体类在设备中起到实现晶圆装载传输运动控制温度控制的作用部分产品包含机械类产品其中温控系统废气处理装置等国产化程度较高EFEM机械手等产品已实现技术突破但稳定性及一致性较国外产品存在差距应用于光刻机的双工台浸液系统技术壁垒较高尚未实现突破4仪器仪表类在设备中起到控制和监控流量压力真空度温度等数值的作用对响应速度测量精度及稳定性要求极高国内厂商通过收购已进入国际半导体设备供应商但高端产品尚未实现技术突破5气体液体真空系统类在设备中起到传输和控制特种气体液体和保持真空的作用对真空度抗腐蚀性等性能要求较高其中泵阀管路等产品已经实现技术突破进入国际半导体设备供应商但气柜模组等高端产品尚未实现技术突破6光学类在光学设备中起到控制和传输光源的作用对光学性能要求较高主要应用于光刻设备和量测设备国内光刻设备及量测设备均处于发展阶段技术较国际龙头厂商差距较大图表22各类零部件具体情况2021年市分类场规模占比具体类别技术要求主要应用设备技术突破难度机械类25金属工艺件反应腔传输腔过渡腔内衬满足加工精度耐腐蚀性密封应用于所有设备应用最广市场份额最大匀气盘等性洁净度真空度等指标品类繁多主要产品技术金属结构件托盘冷却板底座铸钢平台等已实现突破和国产替代非金属机械件石英陶瓷件硅部件静电卡应用于高制程设备的产品盘橡胶密封件等技术突破难度较高电气类13射频电源射频匹配器远程等离子源供电满足输出功率的稳定性电压质应用于所有设备控制设备工艺制程的核心系统工控电脑等量波形质量频率质量等指标部件技术突破难度较高机电一体类17EFEM机械手加热带腔体模组阀体模满足真空度洁净度放气率应用于所有设备其中双工品类繁多部分产品已实组双工机台浸液系统温控系统等SEMI定制标准等指标同时保证机台和浸液系统仅用于光现技术突破但产品稳定多次使用后的一致性和稳定性刻设备性和一致性与国外有差不同具体产品要求差别较大距技术难度适中气体液体真19气体输送系统类气柜气体管路管路焊接件满足真空度耐腐蚀性洁净度主要应用于薄膜沉积设备品类繁多部分产品已实空系统类等SEMI定制标准等指标刻蚀设备和离子注入设备现技术突破但产品稳定等干法设备性和一致性与国外有差真空系统类干泵分子泵真空阀门等满足抽气后的真空指标可靠性主要应用于薄膜沉积设备距技术难度适中稳定性一致性等指标刻蚀设备和离子注入设备等干法设备气动液压系统类阀门接头过滤器液体管满足真空度表面粗糙度洁净主要应用于化学机械抛光路等度使用寿命耐液体腐蚀等指标设备清洗设备等湿法设备仪器仪表类2气体流量计真空压力计等满足量程时间流量测量精度温应用于所有设备对测量的精准度要求极度测量精度压力测量精度温度高技术突破难度较高影响小等指标光学类17光学元件光栅激光源物镜等满足制造精度分辨率曝光能主要应用于光刻设备量测对光学性能要求极高国力光学误差小等指标设备等内光刻设备尚在发展技术突破难度较高其他8定制装置耗材等满足相应设备要求的定制化指标应用于所有设备-资料来源富创精密招股说明书华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读15富创精密688409CH晶圆厂与半导体设备厂商均对半导体零部件存在一定需求据芯谋研究数据2020年中国大陆晶圆厂8-12寸晶圆设备零部件直接采购零部件金额超过10亿美元其中中国本土晶圆厂直接采购零部件金额约43亿美元晶圆厂具体采购的零部件主要包括石英件射频发生器泵阀静电吸盘喷淋头边缘环流量计MFC陶瓷件密封圈等按零部件品类划分机械类电气类机电一体类仪器仪表类气液真空系统类光学类零部件分别占比421292277据SEMI数据中国大陆晶圆厂资本开支占全球份额的274我们测算2021年全球晶圆厂直接采购零部件金额可达约37亿美元预计晶圆厂持续扩产将进一步催生其对半导体设备零部件的需求2021年全球晶圆厂及设备厂合计所需零部件市场规模达529亿美元图表232020年中国晶圆厂采购8-12寸晶圆设备零部件产品结构边缘环反应腔喷头气体质量流量控制器6真空计832陶瓷2吸盘9O型圈1阀门9其他泵2910射频发生器石英1011资料来源芯谋研究华泰研究半导体零部件市场主要被美日供应商占据国产厂商主要以机械类为主国内规模较大的半导体精密零部件厂商以外资控股为主目前国内规模较大的半导体设备精密零部件厂商主要为台湾地区的京鼎精密和日本Ferrotec等外资企业的境内子公司其主要为国际半导体设备厂商供货同时国内设备尤其是先进制程设备零部件采购也主要依赖进口一方面国内部分零部件在技术上较国际龙头厂商尚有差距技术突破难度较高另一方面半导体精密零部件对设计和生产要求较高国产产品在同等技术水平下的量产稳定性尚有不足国内设备厂商更愿意选择国际成熟产品据北京国际咨询对国内主流代工厂调研数据目前全年日常运营过程中领用的零部件包括更换和失效更换的零部件达到2000种以上但国产占有率仅为8左右美国和日本占有率分别为597和267其中高端零部件市场主要被美国日本欧洲供应商占有中低端零部件市场主要被韩国中国台湾供应商占据免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读16富创精密688409CH图表24各品类半导体零部件主要玩家及国产化率2021年零部件具体类别全球市场规模中国市场规模国产化率海外主流厂商国内主流厂商亿美元亿美元钣金件金属件腔体机械类硅电极喷淋头石英件3650静电吸盘密封圈123电气类可编程电源射频电源621810-50废气处理装置温控装机电一体类置机械手EFEM双工822410-50台浸液系统仪器仪表类3MFC1010-50气液真空管路泵过滤器气体922710-50系统类输送系统阀真空规光源物镜系统曝光系8224光学类统光场匀化器NA资料来源富创精密招股说明书华泰研究预测全球半导体设备零部件龙头均为外企前十大厂商销售额超110亿美元根据techinsights数据2021年全球半导体设备零部件十大领军供应商为Zeiss光学镜头MKSMFC射频电源真空产品Edwards真空泵HoribaMFCAdvancedEnergy射频电源VAT真空阀件UltraCleanTech密封系统Ichor模块化气体输送系统以及其他组件Ebara干泵和ASML光学部件以上企业均为外企且均非纯粹的半导体零部件公司而是横跨多个行业将半导体零部件供应作为其业务线之一其中涉及电气类仪器仪表类气液真空系统类光学类零部件的企业分别有2262家除MKS外均只供应一类零部件系不同零部件领域壁垒较高厂商难以全面涉足对比之下中国前十大半导体设备零部件供应商零部件收入显著低于全球前十家且全球市占率总和仅为121图表25全球前十大半导体设备零部件供应商与中国前十大半导体设备零部件供应商对比2021A半导体泛半导体零部件零部件收入国外公司所在国家主要产品收入规模全球占有率中国公司全球占有率中国占有率亿美元亿美元Zeiss德国物镜系统307624万业企业14028105MKS美国MFC射频电源真空产品199405富创精密13027050Edwards英国真空泵182370新莱应材08017063Horiba日本MFC88179神工股份07015056AdvancedEnergy美国射频电源86175华亚智能04008031VAT瑞士真空阀件72146江丰电子03006022UltraCleanTech美国真空阀件69140机器人03005019lchor美国模块化气体输送系统及其他组件6122凯德石英02004015ASML荷兰光学部件及光刻机服务组件5101伟泰科技03006021Ebara日本干泵5101盛剑环境03005019合计--11632363合计60121401注富创国内收入按照50调整汇率按照Wind2021年历史汇率美元对人民币638计算资料来源techinsights公司年报中国公司部分华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读17富创精密688409CH内因外因推动半导体零部件国产化率提升SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模同比下滑16至912亿美元而2024年恢复成长176至10716亿美元半导体设备行业的核心增长驱动力是下游晶圆厂的资本开支由于半导体行业的强周期属性晶圆厂的扩产节奏及资本开支同样也呈现较强的周期性特征带动半导体设备行业呈现一定的周期性近年来随着先进制程投资比例逐步加大以及本地建厂的趋势兴起全球半导体设备市场的周期性有所减弱呈现波动上行的趋势在经历了2020-21年高昂的资本开支后SEMI预计2022年全球半导体设备市场规模仍有望同比增长59至1085亿美元但受下游需求及宏观经济转弱影响半导体自2H22进入下行周期台积电美光等半导体制造商宣布削减2023年资本开支SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模将同比减少16至912亿美元而2024年恢复成长176至10716亿美元图表26全球半导体设备市场规模2023年主要全球半导体设备销售额半导体设备销售额同比增速右代工厂及存储厂下修资十亿美元2020年后本开支2016-2018数据中全球半导体1202007-2011智能手机2002011-2015全球经济出现疲心与智能手机对存进入上行周需求爆发寸晶圆12软智能手机销量增速出现下储器需求增加期资本开厂产能扩张滑2019行业短暂进支大幅提升年互联网泡沫破裂产能过剩导致两年倒入下行周期1995-2000手机和通讯带动半20001987-19956寸晶圆开始替代4退年起寸晶圆带动新一轮扩产潮导体需求提升8寸晶圆开始替200412寸晶圆PC与家电为主要需求代6寸晶圆迎来扩产期驱动力10015080100605040020-500-100198719881989199019911992199319941995199619971998199920002001200220032004200520062007200820092010201120122013201420152016201720182019202020212022E2023E强周期性波动上行资料来源GartnerSEMI华泰研究供应链安全催化产能区域化利好上游本土设备厂商近年来受到中美贸易摩擦影响供应链安全问题日益凸显中国系统厂商和本土设计厂纷纷转向本土代工厂为其带来庞大市场需求因此不同于全球半导体资本开支放缓趋势本土晶圆厂产能仍持续扩张我们预计2023年中国内资晶圆厂合计产能折合8寸有望增长21受下行周期及美对华出口管制影响中国大陆23年资本开支或下滑根据各公司公开披露数据国内内资晶圆厂IDM存储厂2022年资本开支有望从2021年的198亿美元提升至269亿美元同比增长36较2021年同比增速提升35pct在2023年根据中芯国际及华虹业绩说明会中芯国际仍保持相同资本开支强度华虹因周期下行原因略有下滑同时由于美国出口管制影响长江存储自主技术进展与量产能力将受阻碍并可能推迟部分产线的建设我们预测2023年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑315但仍有望接近200亿美元2024年同比提升325免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读18富创精密688409CH图表2722-23年中国内资晶圆厂整体持续扩张等效8英寸图表28中国内资晶圆厂IDM存储厂2015-2024E资本开支kwpm内资晶圆厂合计产能折合8寸百万美元同比右轴80003530000中国大陆内资晶圆厂资本开支YOY1007000302500080600060252000050004020150004000201530001000001020005000-20100050-4000201620172018201920202021201820192020202120222023E20152023E2024E2022E资料来源各公司公告华泰研究预测资料来源各公司公告华泰研究预测应对美国限制卡脖子环节半导体设备国产化加速从2016年开始美国对中兴通讯进行限制要求美国出口管制条例下的产品供应商须申请出口许可证才可以向中兴通讯供应该类产品2018年美国再次限制中兴通讯在未来7年内禁止中兴通讯向美国企业购买敏感产品2019年美国限制华为及华为海思等114家关联公司限制商汤科技海康威视及依图科技2020年限制中芯国际等10家关联公司向中芯国际出口的部分美国设备配件及原物料会受到美国出口管制规定的进一步限制并新增38家与华为有关联的企业2021年再次限制中芯国际时代电气和海康威视2022年美国出台芯片和科技法案禁止获得美国补贴的公司在中国大幅增产和新建芯片先进制程凡是违反该条例的企业将被要求全额退还补贴资金期限为十年并禁止出口14nm及以下制程设备半导体设备是半导体重要的卡脖子环节为应对美国限制中国半导体设备迎来国产化机遇图表29美国禁令限制中国半导体行业发展2022限制适用14nm及以下201920202021逻辑芯片制造设备出限制华为及华为海思等限制中芯国际等再次限制中芯国口114家关联公司10家关联公司际时代电气限制适用128层及以海康威视上存储芯片制造设备2018出口2016芯片法案再次限制中兴通限制商汤科技海康限制中兴通讯新增38家与华为有讯威视依图科技关联的企业限制系统厂商与设计公司限制晶圆厂IDM存储厂资料来源华泰研究半导体设备国产化叠加零部件交期延长国产零部件迎来重大机遇由于半导体设备需求的迅猛增长半导体设备零部件交货时间延长2倍以上零部件企业若要建设新的基础设施工作繁多大规模设备投资负担过重因此存在产能瓶颈国产零部件在解决零部件技术自主可控推动半导体设备国产化等供应链卡脖子问题上具有重要意义在全球零部件短缺与设备国产化浪潮下我们认为国产零部件有望迎来重大机遇实现弯道超车免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读19富创精密688409CH中国零部件厂商持续扩产打开市场份额天花板中国零部件厂商持续扩产产能提升承接半导体设备旺盛需求富创精密在辽宁沈阳北京江西南通新建厂房工程其中沈阳工厂产能已达15亿江西工厂预计2025年达到20亿满产北京工厂预计2027年达到20亿满产江丰电子在北京湖北武汉湖南广东新建厂房工程截至1H22北京武汉湖南广东惠州广东二期工厂的工程进度分别为12302250209854325306新莱应材在安徽蚌埠新建厂房工程截至1H22工程进度为7077华亚智能在江苏苏州新建生产基地目前已完成备案随着国产零部件产能释放高产低价短交期将构建国产半导体设备国产替代护城河图表30中国半导体零部件公司新建厂房情况富创精密辽宁沈阳新建厂房工程目前产能已达15亿新莱应材富创精密江丰电子安徽蚌埠新建厂房工程北京新建厂房工程北京新建厂房工程截至2022H1工程进度为预期2027年达到20亿满产截至2022H1工程进度为12307077华亚智能江苏苏州新建生产基地江丰电子目前已完成备案湖北武汉新建厂房工程富创精密截至2022H1工程进度为江西南通新建厂房工程2250预期2025年达到20亿满产江丰电子江丰电子广东新建厂房工程湖南新建厂房工程1惠州基地平板显示用高纯金属靶材及部截至2022H1工程进度为件建设项目进度为543220982广东二期工程进度为5306资料来源富创精密招股说明书华亚智能江丰电子新莱应材公司公告华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读20