投资要点
　　国内半导体设备平台型企业，布局工艺件+结构件+模组+气体管路产品。公司自2008年成立，后成功导入国际客户A并实现高速放量，同时承担多项国家重大科研专项，成为全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程的半导体精密零部件制造商。目前，公司工艺件和结构件已高速成长，未来，模组和气体管路业务也将成为公司规模扩张的重要引擎。
　　布局产品30年全球TAM至300亿美元，21年市占率不足1%。半导体设备90%以上成本来自零部件，综合设备公司毛利率为40%-45%，全球半导体设备零部件市场规模约占半导体设备规模的50%-55%；公司布局产品TAM则约占设备市场的22%，预计至2030年对应市场规模将突破300亿美元。2021年公司营收仅8.4亿元，全球市占率不足1%。
　　受益晶圆厂扩产+半导体设备/设备零部件双重国产替代，公司迎来黄金发展期。自2012年，公司陆续切入北方华创、上海微电子、中微公司、拓荆科技、华海清科等头部国产半导体设备厂商，2021年北方华创营收占比已至19%。2021年主要国产设备企业对应公司布局产品采购需求合计约115亿元，随着内资晶圆厂扩产持续推进，叠加设备、零部件双层国产替代逻辑，公司将迎来黄金发展期。
　　盈利预测：我们预计公司2022-2024年营业收入14.0/21.5/30.9亿元，归母净利润2.2/3.5/5.1亿元，首次覆盖，给予“推荐”评级。
　　风险提示：（1）中美贸易摩擦风险；（2）晶圆厂扩产不及预期；（3）产品研发及产业化应用不及预期。