半导体设备：机会和挑战并存的一年
　　半导体行业自2022年初进入下行周期，2023年对于设备板块挑战与机遇并存。1）SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模将同比减少16.0%至912亿美元。2）2022年10月7日美国商务部宣布修订《出口管理条例》，受此影响，22年11月中国半导体制造设备进口额显著下滑至18.76亿美元（同比-42.63%，环比-7.91%），我们预测2023年中国大陆半导体设备资本开支下滑31.5%。3）在内因及外因推动下，下游厂商加快国产设备认证，我们看好拓荆科技、盛美上海、北方华创、华海清科等受益于国产化率提升带来的投资机会。
　　挑战1#：SEMI预计2023年全球半导体设备规模同比减少16.0%
　　受下游需求及宏观经济转弱影响，半导体自2H22进入下行周期，台积电、美光等半导体制造商宣布削减2023年资本开支，SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模将同比减少16.0%至912亿美元，而2024年恢复成长17.6%至1071.6亿美元。Lam Research预估2023年的WFE（晶圆厂设备）市场规模将从2022年的950亿美元衰退至750亿美元，约为21%跌幅，其中存储行业的强周期属性，因此受到终端消费、景气的影响更甚逻辑设备，NAND设备支出衰退幅度将会超过DRAM设备支出。
　　挑战2#：美国出口管制新规进一步发酵，中国2023年半导体资本开支下滑
　　2022年10月7日国商务部宣布修订《出口管理条例》，受美国禁令影响，22年10月中国半导体制造设备进口额显著下滑至20.37亿美元（同比-22.81%，环比-31.30%），11月份持续削减至18.76亿美元，同比锐减42.63%，环比下滑7.91%，创2020年5月以来新低。2023年，我们预计中芯国际、虹仍逆周期保持较高资本开支步伐，但是由于供应链中断，长江存储自主技术进展与量产能力将受阻碍，可能推迟部分产线的建设。我们预测2023年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑31.5%，仍有望接近200亿美元，2024年同比提升32.5%。
　　机遇：外因+内因进一步催化国产替代加速
　　半导体设备国产化率仍有提升空间，我们预计2022年国内半导体设备市场国产化率在13%左右。当前干法刻蚀、清洗、去胶设备等均已实现较高国产化率，CMP、薄膜沉积、量测等设备成熟制程均有产品推出。国内尚未获得突破的设备主要为光刻设备，另外，28nm及以下薄膜沉积、刻蚀、量测检测、离子注入和涂胶显影等环节国产设备仅覆盖部分步骤。在内因及外因推动下，下游厂商加快国产设备认证，我们看好增量空间较大如刻蚀、CVD等领域，以及此前国产化率较低量测、涂胶显影等设备国产化率提升。
　　板块估值或已消化资本开支下行预期，建议关注政策催化以及国产化突破
　　自10月7日美国宣布《出口管制条例》后，设备板块估值下滑，根据Wind一致市场预期，当前时点设备板块估值中枢为9.9倍23年PS，我们认为当前半导体设备板块估值或已消化资本开支下滑预期。在目前板块整体估值水平不高的情况下，市场主要关注美对华出口管制后续进展以及中国对半导体扶持政策落地。我们建议投资者关注（1）所处赛道空间广阔的单一设备厂商如拓荆科技受益于国产率提升带来的业绩高弹性。（2）持续扩张新品类如盛美上海、北方华创、华海清科未来成长性。
　　风险提示：中美贸易摩擦升级，半导体周期下行。
　　

研究报告全文：证券研究报告科技半导体设备机会和挑战并存的一年华泰研究电子增持维持2023年2月21日中国内地专题研究半导体增持维持研究员黄乐平PhD半导体设备机会和挑战并存的一年SACNoS0570521050001lepinghuanghtsccomSFCNoAUZ06685236586000半导体行业自2022年初进入下行周期2023年对于设备板块挑战与机遇并存1SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模将同比减少160至912研究员丁宁亿美元22022年10月7日美国商务部宣布修订出口管理条例受此SACNoS0570522120003dingning021681htsccom影响年月中国半导体制造设备进口额显著下滑至亿美元同86212897222822111876比-4263环比-791我们预测2023年中国大陆半导体设备资本开支研究员刘溢下滑3153在内因及外因推动下下游厂商加快国产设备认证我们SACNoS0570522070002liuyi020747htsccom看好拓荆科技盛美上海北方华创华海清科等受益于国产化率提升带来862128972228的投资机会行业走势图挑战1SEMI预计2023年全球半导体设备规模同比减少160受下游需求及宏观经济转弱影响半导体自2H22进入下行周期台积电美电子半导体沪深300光等半导体制造商宣布削减2023年资本开支SEMI预计2023年全球半导7体设备市场规模将同比减少160至912亿美元而2024年恢复成长1764至10716亿美元LamResearch预估2023年的WFE晶圆厂设备市场规模将从2022年的950亿美元衰退至750亿美元约为21跌幅其中存14储行业的强周期属性因此受到终端消费景气的影响更甚逻辑设备NAND25设备支出衰退幅度将会超过DRAM设备支出35Feb-22Jun-22Oct-22Feb-23挑战2美国出口管制新规进一步发酵中国2023年半导体资本开支下滑资料来源Wind华泰研究2022年10月7日国商务部宣布修订出口管理条例受美国禁令影响22年月中国半导体制造设备进口额显著下滑至亿美元同比102037重点推荐-2281环比-313011月份持续削减至1876亿美元同比锐减目标价4263环比下滑791创2020年5月以来新低2023年我们预计股票名称股票代码当地币种投资评级中芯国际虹仍逆周期保持较高资本开支步伐但是由于供应链中断长江拓荆科技688072CH33960买入存储自主技术进展与量产能力将受阻碍可能推迟部分产线的建设我们预盛美上海688082CH12650买入测2023年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑315仍有望接近200北方华创002371CH37520买入亿美元2024年同比提升325华海清科688120CH29830买入资料来源华泰研究预测机遇外因内因进一步催化国产替代加速半导体设备国产化率仍有提升空间我们预计2022年国内半导体设备市场国产化率在13左右当前干法刻蚀清洗去胶设备等均已实现较高国产化率CMP薄膜沉积量测等设备成熟制程均有产品推出国内尚未获得突破的设备主要为光刻设备另外28nm及以下薄膜沉积刻蚀量测检测离子注入和涂胶显影等环节国产设备仅覆盖部分步骤在内因及外因推动下下游厂商加快国产设备认证我们看好增量空间较大如刻蚀CVD等领域以及此前国产化率较低量测涂胶显影等设备国产化率提升板块估值或已消化资本开支下行预期建议关注政策催化以及国产化突破自10月7日美国宣布出口管制条例后设备板块估值下滑根据Wind一致市场预期当前时点设备板块估值中枢为99倍23年PS我们认为当前半导体设备板块估值或已消化资本开支下滑预期在目前板块整体估值水平不高的情况下市场主要关注美对华出口管制后续进展以及中国对半导体扶持政策落地我们建议投资者关注1所处赛道空间广阔的单一设备厂商如拓荆科技受益于国产率提升带来的业绩高弹性2持续扩张新品类如盛美上海北方华创华海清科未来成长性风险提示中美贸易摩擦升级半导体周期下行免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读1科技SEMI预测2023年半导体设备市场规模同比下滑16SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模同比下滑16至912亿美元而2024年恢复成长176至10716亿美元半导体设备行业的核心增长驱动力是下游晶圆厂的资本开支由于半导体行业的强周期属性晶圆厂的扩产节奏及资本开支同样也呈现较强的周期性特征带动半导体设备行业呈现一定的周期性近年来随着先进制程投资比例逐步加大以及本地建厂的趋势兴起全球半导体设备市场的周期性有所减弱呈现波动上行的趋势在经历了2020-21年高昂的资本开支后SEMI预计2022年全球半导体设备市场规模仍有望同比增长59至1085亿美元但受下游需求及宏观经济转弱影响半导体自2H22进入下行周期台积电美光等半导体制造商宣布削减2023年资本开支SEMI预计2023年全球半导体设备市场规模将同比减少160至912亿美元而2024年恢复成长176至10716亿美元图表1全球半导体设备市场规模2023年主要全球半导体设备销售额半导体设备销售额同比增速右代工厂及存储厂下修资十亿美元2020年后本开支2016-2018数据中全球半导体1202007-2011智能手机2002011-2015全球经济出现疲心与智能手机对存进入上行周需求爆发寸晶圆12软智能手机销量增速出现下储器需求增加期资本开厂产能扩张滑2019行业短暂进支大幅提升年互联网泡沫破裂产能过剩导致两年倒入下行周期1995-2000手机和通讯带动半20001987-19956寸晶圆开始替代4退年起寸晶圆带动新一轮扩产潮导体需求提升8寸晶圆开始替200412寸晶圆PC与家电为主要需求代6寸晶圆迎来扩产期驱动力10015080100605040020-500-100198719881989199019911992199319941995199619971998199920002001200220032004200520062007200820092010201120122013201420152016201720182019202020212022E2023E强周期性波动上行资料来源GartnerSEMI华泰研究海外半导体设备4Q业绩增速放缓对23年指引保守4Q22ASMLLamResearchAMATKLATeradyne分别实现营业收入56652867529873亿美元同比285249102268-173环比112403595115均在前期财测指引之内其中前道设备厂AMAT说明获利降低系原先替中国客户提供的特定库存受到禁令影响所致后道设备厂中Teradyne则因占比较高的记忆体终端导致收入下滑明显毛利率依旧维持高位分别为51845046609575ASMLLamResearchAMATKLATeradyne分别给出6670354162622255563亿美元的23Q1收入指引半导体设备厂商均下调2023全年WFE预测随着景气下行半导体制造巨头相继削减23年资本开支同时由于美国对华出口管制新规各设备厂商面临不同程度的收入压力中国区收入占比高的厂商后续受影响尤其严重LamResearch特别提到了其预估2023年的WFE晶圆厂设备市场规模将从2022年的950亿美元衰退至750亿美元约为21跌幅这与SEMI预估的-169大致吻合公司提到衰退的主因是存储行业由于存储行业的强周期属性因此受到终端消费景气的影响更甚逻辑设备其中公司指出NAND设备支出衰退幅度将会超过DRAM设备支出免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读2科技图表2海外设备公司业绩一览资料来源GartnerSEMI华泰研究A股设备公司Q4业绩基本符合或略超市场预期仍维持高速增长从业绩侧角度不同于海外半导体公司3Q21以来营收增速的逐步下滑国内半导体公司营收持续保持高速增长1Q222Q223Q22国内半导体设备公司营收同比增速分别达到87133784Q预告普遍维持50以上高增速毛利率方面19-22年国内设备公司稳中有升受益于规模效应和费用管控公司整体盈利水平改善4Q预告利润增速显著高于收入增速免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读3科技图表3A股设备公司业绩一览1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q224Q22预告中位数收入亿元688072SH拓荆科技0605263811424769688082SH盛美上海2835465335748882688120SH华海清科1217252635374248300604SZ长川科技29384044546557NA002371SZ北方华创142218257351214331457454688012SH中微公司60747310495102107170688200SH华峰测控12213124262824NA688037SH芯源微1124202818323946603690SH至纯科技23693680555781NA收入同比增速688072SH拓荆科技0000866587981688082SH盛美上海00033291129154688120SH华海清科00001931116684300604SZ长川科技1608511746827243NA002371SZ北方华创5276555850517829688012SH中微公司4630473057394664688200SH华峰测控3611118813012435-24NA688037SH芯源微123034031141623510065603690SH至纯科技104695226137-17123NA净利润亿元688072SH拓荆科技-01-010801-01121313688082SH盛美上海0405061200232022688120SH华海清科0403080509091613300604SZ长川科技0505040809160815002371SZ北方华创0829394325639948688012SH中微公司1426154712353235688200SH华峰测控03121613121511NA688037SH芯源微0103020203040705603690SH至纯科技07080410030608NA净利润同比增速688072SH拓荆科技0000-191299651219688082SH盛美上海00058-8934724686688120SH华海清科0000122222102168300604SZ长川科技91712738169932289380002371SZ北方华创132591287719711715412688012SH中微公司426179-8118-1535124-26688200SH华峰测控-2512724410435622-32NA688037SH芯源微183103-5348639830309104603690SH至纯科技54270-31-45-60-24123NA资料来源Wind华泰研究美国对中国限制愈演愈烈政策问题成为设备板块重要影响因素美国2022年出台芯片和科技法案法案禁止出口14nm及以下制程设备并禁止未获许可的美国公民在中国从事芯片开发或制造工作除此之外10月以来多家企业入列实体清单包括长江存储合肥万亿芯寒武纪深圳鹏芯微上海微电子等长江存储列入美国实体清单未来232层NANDFlash高层数制程发展遭到锁喉上海微作为国内光刻机先行者目前SSX600系列光刻机仍停留在90nm美对上海微的限制使中国芯片28nm甚至45nm全设备国产化进程受到阻碍图表4美国禁令限制中国半导体行业发展2022限制适用14nm及以下201920202021逻辑芯片制造设备出限制华为及华为海思等限制中芯国际等再次限制中芯国口114家关联公司10家关联公司际时代电气限制适用128层及以海康威视上存储芯片制造设备2018出口2016芯片法案再次限制中兴通限制商汤科技海康限制中兴通讯新增38家与华为有讯威视依图科技关联的企业限制系统厂商与设计公司限制晶圆厂IDM存储厂资料来源华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读4科技产业面临经济萧条的冲击加上美国近期针对华制订的新管制导致新技术无法输出中国大陆据Wind数据受美国禁令影响22年10月中国半导体制造设备进口额显著下滑至2037亿美元同比-2281环比-313011月份持续削减至1876亿美元同比锐减4263环比下滑791创2020年5月以来新低图表5中国半导体制造设备进口金额及增长情况亿美元半导体制造设备进口额yoy右轴qoq右轴358030602540202015010-205-400-60Jul-20Jul-21Jul-22Oct-20Oct-21Oct-22Apr-20Apr-21Apr-22Jan-20Jun-20Jan-21Jun-21Jan-22Jun-22Feb-20Mar-20Feb-21Mar-21Feb-22Mar-22Nov-20Dec-20Nov-21Dec-21Nov-22Aug-20Sep-20Aug-21Sep-21Aug-22Sep-22May-21May-22May-20资料来源Wind华泰研究美新规对中国区收入占比较大尤其是存储占比较大的海外设备厂商具有较大不利影响2022年10月7日美国商务部宣布修订出口管理条例ASML和LAM对此表态不一ASML表示没有直接影响23年发货或间接影响公司5积压订单但这些订单是符合美国出口管制条例的而LAM则表示或因此减少2025亿美元收入并明确向中国销售设备需购买主体和相应技术均不受限科磊集团对其大陆地区的业务前景持悲观态度预估2023年全球营收损失6-9亿美元新规影响不同或因此前ASML已不得向中国销售EUV此次并未收紧美国对光刻机的出口管制ASML可继续向中国晶圆厂销售DUV而主要限制了除光刻机以外的其他半导体设备此外本次新规主要限制了中国存储厂商LAM存储收入占比52受影响较大图表6半导体设备公司中国内地港澳收入占比中国内地港澳其他120100806040200东京电子应用材料拉姆研究KLA泰瑞达阿斯麦注时间截止202210资料来源各公司财报DIGTIMES华泰研究免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读5科技根据Gartner数据综合晶圆前后道加工以及封测设备来看全球半导体设备市场中北美和日本则处于绝对的优势地位就晶圆处理设备而言美国公司实力非常强劲其中美国的刻蚀设备离子注入机薄膜沉积设备测试设备程序控制CMP等设备的制造技术位于世界前列荷兰凭借ASML的高端光刻机在全球处于领先地位在2021年全球半导体设备供应商前10名中美国公司占4席分别为AMATLamResearchKLATeradyne市占率为2401608036排名1457日本公司在电子束描画设备涂布显影设备清洗设备氧化炉减压CVD设备等重要前端设备以划片机为代表的重要后道封装设备和以探针器为代表的重要测试设备环节竞争力强劲21年全球半导体设备供应商前10名中日本公司占4席分别为TELAdvantestScreenHitachi市占率为170383524排名36810中国半导体设备公司并未上榜国半导体设备整体国产化率不足20国内半导体设备公司已进入多个细分领域但国产替代仍处于早期当前重要的国内半导体设备公司涵盖产品已涵盖半导体全产业链包括清洗设备盛美上海北方华创至纯科技氧化设备屹唐股份北方华创光刻设备上海微涂光显影设备芯源微刻蚀设备屹唐股份北方华创中微公司去胶设备屹唐股份北方华创离子注入设备万业企业CMP设备华海清科过程控制设备上海睿励中科飞测等图表72021年半导体制造设备产业链地图硅片表面清洗氧化涂光刻胶光刻显影蚀刻硅抛光片硅外延片SOI清洗设备热处理氧化扩散光刻胶光刻设备显影设备刻蚀设备晶片过程控制清洗设备2021全球市场空间42亿热处理氧化扩散设备2021全光刻设备2021全球市场涂光显影设备2021全刻蚀设备2021全球市场空美元球市场空间20亿美元空间231亿美元球市场空间34亿美间200亿美元过程控制设备元SCREEN盛美上海688082LamResearchTELAMATAMAT屹唐股份待上市ASML上海微电子TELSEMSSCREENTELCHVECO北方华创002371Nikon未上市屹唐股份待上市过程控制设备2021全球市SEMES北方华创002371CHCanon芯源微北方华创002371CH场空间93亿美元LamResearchCH688037中微公司688012CH至纯科技603690CHKLAAMATHitachiCH上海睿励未上市金属溅射化学机械抛光原子层沉积气相沉积离子注入光刻胶去除中科飞测待上市靶材CMP设备电子气体CVDPVD离子注入设备去胶设备CMP设备2021全球市场空间CVD2021年全球市场空间135亿美元离子注入设备2021全去胶设备2021全球市场空28亿美元AMATLamResearchTEL球市场空间22亿美间7亿美元元PSK屹唐股份待上市EBARA华海清科688120CH北方华创002371CH拓荆科技688072CHAMATHitachi北方华创002371AMAT烁科精微未上市万业企业SMIT600641CHTESCHPVD2021年全球市场空间36亿美元AxcelisLamResearchAMATEvatecUVACULVAC北方华创002371CH资料来源GartnerSEMI华泰研究受下行周期及美对华出口管制影响中国大陆23年资本开支或下滑不同于全球半导体资本开支放缓趋势国内晶圆厂产能仍持续扩张进而拉升对上游设备厂商的需求根据各公司公开披露数据国内内资晶圆厂IDM存储厂2022年资本开支有望从2021年的198亿美元提升至269亿美元同比增长36较2021年同比增速提升35pct在2023年虽然中芯国际华虹仍保持资本开支强度同时由于美国出口管制影响长江存储自主技术进展与量产能力将受阻碍最新Xtacking30架构3DNAND技术也面临较大障碍并可能推迟部分产线的建设我们预测2023年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑315仍有望接近200亿美元2024年同比提升325免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读6科技图表822-23年中国内资晶圆厂整体持续扩张等效8英寸图表9中国内资晶圆厂IDM存储厂2020-2023E资本开支kwpm内资晶圆厂合计产能折合8寸百万美元同比右轴80003530000中国大陆内资晶圆厂资本开支YOY1007000302500080600060252000050004020150004000201530001000001020005000-20100050-4000201620172018201920202021201820192020202120222023E20152023E2024E2022E资料来源各公司公告华泰研究预测资料来源各公司公告华泰研究预测美对长江存储等厂商的限制或将对国内设备公司产生不利影响而长江存储作为华海清科盛美上海中微公司拓荆科技等国产设备厂商的大客户美对其限制将对中国设备厂商营收产生较大影响但从另一个层面讲美国新规未来或将推动设备国产化率在客户端的提高图表10国内设备厂商来自长江存储收入占比2021A其他8321其他其他7500长江存储63626640华海清科其他盛美上海中微公司拓荆科技3360长江存储3638长江存储2500长江存储1679资料来源各公司公告华泰研究为避免半导体发展掣肘于海外实现设备自主可控是关键半导体设备国产化率整体处于低位据我们统计2021年国内半导体设备厂商收入仅占中国半导体设备销售额的12干法刻蚀清洗去胶设备等均已实现较高比例国产设备采用率且在2020-2022年维持较高水平CMP薄膜沉积量测等设备2022年国产设备采用率均有提高国内在尚未获得突破的设备主要为光刻设备另外28nm及以下薄膜沉积刻蚀量测检测离子注入和涂胶显影等环节中国产设备仅覆盖环节的几个步骤目前尚未完成整个环节的覆盖且部分国产设备良率较低会对fab厂商形成较大的成本压力高国产化线目前难以形成损益平衡供应链安全问题依旧十分严重技术优化突破与国产化替代均刻不容缓免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读7科技图表11各半导体制造设备招标国产化率情况202150454035302520151050干法去胶机清洗设备抛光设备刻蚀设备炉管设备后道检测设备沉积设备涂胶显影机前道检测设备离子注入机光刻机资料来源中国国际招标网华泰研究根据各个环节所需设备的市场空间及国产化率我们将目前的半导体设备国产化进程划分为三大环节国产替代程度较高的环节正在实现国产替代的环节易被卡脖子的亟待突破的重点环节去胶设备及清洗设备国产替代程度较高屹唐半导体盛美上海等占据领先地位去胶设备2021年去胶设备的全球市场空间为7亿美元国内市场空间为2亿美元目前去胶设备工艺以干法去胶为主其中屹唐半导体为干法去胶设备全球龙头企业2021年全球市占率达31位列第一其他主要竞争对手为比思科日立高新LamResearch屹唐半导体的干法去胶设备可用于90nm到5nm逻辑芯片1y到2xnm系列DRAM芯片以及32层到128层3D闪存芯片制造中若干关键步骤的大规模量产清洗设备2021年清洗设备全球市场空间达42亿美元国内市场空间达14亿美元目前我国半导体清洗设备的国产化率已达25预计到2030年有望翻倍全球半导体清洗设备行业高度集中龙头企业主要是迪恩士TEL韩国SEMESLamResearch等等近年来盛美上海至纯科技北方华创等国产设备公司不断在单片槽式等清洗设备上有所突破盛美上海已率先研发出14nm清洗设备并处于客户验证中75nm在研至纯科技北方华创芯源微已具备28nm制程技术14nm在研盛美上海2021年全球市占率达23国产设备有望在刻蚀CMP薄膜沉积等领域率先突破刻蚀设备2021年刻蚀设备全球市场空间达200亿美元由LamResearchTELAMAT三巨头主导市场国内市场空间为58亿美元主要玩家包括北方华创中微公司等目前国产化率已达20北方华创以硅刻蚀金属刻蚀为主ICP刻蚀机领域国内领先14nm等离子硅刻蚀机在客户端通过多道制程工艺验证已实现量产应用中微半导体以介质刻蚀为主已经成功生产出5nm的刻蚀机并开始获得台积电及长江存储等公司的刻蚀设备订单目前国内刻蚀设备虽已实现一定的国产替代但开发能够处理这些工艺的干式蚀刻技术和原子层刻蚀设备成为当务之急CMP设备CMP在半导体前道设备中占比较低仅为32021年CMP设备全球市场空间为28亿美元AMAT联合日本荏原合计占据了全球90以上的市场空间华海清科为国产CMP设备龙头占据全球市场4的份额国产化率达18目前在国内成熟制程领域华海清科28nm及以上制程的主要CMP设备与国际龙头已不存在明显技术差距而在先进制程领域美国AMAT与日本荏原分别已实现5nm制程和部分材质5nm制程的工艺应用华海清科的14nm制程工艺技术正处于验证中免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读8科技热处理氧化扩散设备2021年全球市场规模达20亿美元AMAT垄断近70的份额屹唐半导体与北方华创分别占比12221年国产化率达12屹唐半导体的快速热处理设备达到国际领先水平技术突破至14nm已覆盖台积电三星电子中芯国际华虹集团长江存储等知名厂商薄膜沉积设备2021年薄膜沉积设备全球市场空间达190亿美元国内市场空间达50亿美元21年国产化率达7薄膜沉积设备是目前半导体设备国产化的重要突破口国产替代空间广阔主要包括CVDPVDALD三大类全球市场中AMATLAMTEL占据主导国内企业中拓荆科技的PECVD设备已适配180-14nm逻辑芯片1917nmDRAM及64128层FLASH制造工艺SACVD设备适配12英寸4028nm及8英寸90nm以上的逻辑芯片制造工艺ALD设备也已适配55-14nm逻辑芯片制造工艺需求基本达到国际厂商设备水准北方华创在PVD领域实现了国产高端薄膜制备设备零的突破28nmHardmaskPVDAl-PadPVD设备已率先进入国际供应链体系覆盖90-14nm多个制程涂胶显影设备涂胶显影设备是配合光刻机工作的核心工艺设备2021年全球市场规模达34亿美元长期被TEL垄断国产化率为2处于低位目前芯源微是国内唯一可提供前道高端量产涂胶显影设备的厂商尚处于产业化初期2021年全球市占率为2公司可全面覆盖盖PIBarcSOCSODI-lineKrFArF等工艺ArFi处于研发验证中offline-buckI线k线等工艺通过客户验证公司浸没式高产能涂胶显影机可覆盖28nm及以上工艺节点国产化率有望进一步提升离子注入设备2021年全球市场规模为22亿美元被应用材料Axcelis垄断国产设备仍相对空缺处于快速起步期国产化率仅为2万业企业旗下的凯世通制造的IC离子注入机迎来商业客户及多款设备订单的重大突破电科装备旗下的烁科中科信的中束流离子注入机已经在12英寸和8英寸产线量产或demo验证超过数十台套大束流离子注入机已实现多台销售正在陆续进入客户端光刻机及过程控制设备是易被卡脖子的亟待突破的重点环节光刻设备光刻机是芯片制造与光刻胶研发中的核心工艺设备2021年全球市场份额高达231亿美元ASML市占率达75是全球唯一销售高端光刻机-EUV的厂商国内市场规模达67亿美元但国产化率仍接近于零极大程度上依赖海外光刻设备在国产光刻机领域中上海微电子产品主要采用ArFKrF和i-line光源目前只能达到90nm制程量产且主要用于IC的后道封装和面板领域公司正在攻关28nm制程过程控制设备贯穿于集成电路领域生产过程的质量控制环节可分为前道检测中道检测和后道测试检测和量测环节贯穿制造全过程是保证芯片生产良品率非常关键的环节2021年全球市场规模为93亿美元竞争格局相对集中全球范围内主要检测和量测设备企业包括KLAAMAT日立等国内设备国产化率较低仅为2左右目前上海睿励12英寸光学测量设备可满足28nm及以上应用14nm正在验证存储芯片领域已覆盖64层3DNAND芯片的生产96层3DNAND芯片并正在验证精测电子膜厚量测设备已量产电子束OCD产品通过国内客户验证硅片应力测量设备明场缺陷检测设备也均有突破但国内企业目前在过程控制设备产品线上的覆盖广度与深度仍与国际龙头存在较大差距仍存在较大的国产替代空间免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读9科技图表12国产半导体前道制造设备基本覆盖28nm及以上制程且其他性能基本达到国际水平精测电子资料来源Wind公司公告全球半导体观察华泰研究自10月7日美国宣布出口管制条例后设备板块估值下滑根据Wind一致市场预期当前时点设备板块估值中枢为95倍23年PS我们认为当前半导体设备板块估值或已消化资本开支下滑预期我们建议投资者关注国内半导体设备公司由于设备国产化率提升以及新品类拓张平台化布局带来的业绩增长以及政策面驱动因素图表13可比公司估值表截至2023年2月21日PE倍PB倍PS倍证券代码可比公司收盘价元总市值百万2023E2024E2023E2024E2023E2024E002371CH北方华创2390512635047037065576450688012CH中微公司1080266567457362444110883688082CH盛美上海851936935550418686110074688200CH华峰测控28206256882722506956159127688037CH芯源微20897193547885531201049973688120CH华海清科245582619538228268579971688072CH拓荆科技27012341648294471139912590603690CH至纯科技37421202622717730263024300604CH长川科技460927854-195-230124937054平均值40729478669572中位数--44132768579973注北方华创盛美上海华海清科拓荆科技预测数据为华泰预测其余可比公司预测数据来自Wind一致预期资料来源Wind华泰研究预测板块建议估值或已消化资本开支下行预期建议关注政策催化以及国产化突破近年来国内设备厂商持续拓宽产品广度和挖掘产品深度平台化布局有利于其后续规模的持续扩张芯片制造各阶段所需设备种类不同具体涵盖清洗设备氧化设备光刻设备涂光显影设备刻蚀设备去胶设备离子注入设备CMP设备过程控制设备等中国设备厂商往往仅专注于其中1-2种设备我们认为拓宽现有设备的覆盖工艺及道次将为公司营收增长提供更多可能性有助于国内设备厂商规模的扩张此外挖掘产品深度在特定细分设备领域中持续推出性能更佳的新产品将有助于公司在该细分领域市占率的提升也有利于公司整体营收规模的提升免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读10科技图表14中国半导体设备厂商产能实现逐步突破设备公司北方华创中微公司盛美上海屹唐半导体上海微电子芯源微万业企业至纯科技华海清科沈阳拓荆上海睿励中科飞测光刻涂胶显影热处理刻蚀清洗去胶CMPCVDPVD电镀离子注入量测21年中国市占率245157078143NA041006080041038NA01821年全球市占率071045023041NA012002023012011NA005注黄色表示21年该细分领域有新产品推出红色表示21年公司新切入该细分领域资料来源各公司官网及公告华泰研究图表15重点推荐公司一览表收盘价目标价市值百万EPS元PE倍股票名称股票代码投资评级当地币种当地币种当地币种20212022E2023E2024E20212022E2023E2024E拓荆科技688072CH买入27012339603416405429832660450022906482864472盛美上海688082CH买入8519126503693506113315520413966640554964176北方华创002371CH买入239053752012635320441550964611718576046963700华海清科688120CH买入24558298302619518642664387213203576538192816注数据截至2023221资料来源Bloomberg华泰研究预测拓荆科技688072CH买入目标价3396元薄膜沉积设备龙头进口替代加速拓荆科技成立于2010年专注于薄膜沉积领域是国内唯一一家实现PECVD和SACVD产业化应用的公司同时在ALD领域也处于国内龙头地位公司目前已进入到中芯国际长江存储等国内头部制造企业同时在海外客户拓展上有所突破薄膜沉积作为半导体制造三大核心工艺之一目前国产化率不足10未来替代空间较大公司作为国内头部企业将核心受益我们预计公司2022-24年收入为169274380亿元归母净利润为384176亿元给予买入评级目标价3396元基于157倍2023年PS估值日期2023220风险提示1管理层美籍人士研发运营活动受影响2半导体下行周期对应设备厂新增订单缩减风险3中美贸易摩擦升级导致收入不达预期风险4薄膜沉积设备行业竞争加剧风险盛美上海688082CH买入目标价1265元清洗设备龙头发力涂胶显影PECVD盛美上海发布公告预计22年营收27-29亿元中位数yoy72723年营收预计为365-425亿元中位数yoy4112022年公司顺利切入涂胶显影及PECVD设备实现将2022年潜在市场空间总和从80亿美元翻至160亿美元我们看好公司平台化差异化全球化核心竞争力但考虑到23年中国设备资本开支存在不确定性下调我们预计222324年收入为279370498亿元维持买入考虑到公司涂胶显影PECVD未来对收入的提升以行业Wind一致预期均值110x23PS为基础给一定的溢价基于148倍23年PS给于目标价1265元估值日期2023120风险提示中美贸易摩擦加剧清洗设备竞争加剧免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读11科技北方华创002371CH买入目标价3752元新产品推动泛半导体设备高速增长北方华创公告预计2022年实现收入135-156亿元中位数1455亿元503yoy归母净利润预计为21-26亿元中位数235亿元118yoy符合我们预期1498219亿元公司2022年订单饱满全年电子工艺装备和电子元器件业务经营业绩均实现了持续增长其中4Q22单季度预计实现收入454亿元环比持平受股权激励费用的影响利润中位数为66亿元环比-287我们预计222324年收入为149811983325161亿元不变维持买入评级设备板块估值中枢下行至93x2023年PS考虑到公司平台化布局抵抗风险能力更强给予2023年10倍PS对应目标价3752元估值日期2023113风险提示全球半导体设备进入下行周期的风险设备研发不及预期的风险华海清科688120CH买入目标价2983元国产CMP设备龙头持续拓展新业务华海清科成立于2013年是国内唯一一家能够量产CMPChemicalMechanicalPolishing化学机械抛光设备的上市公司公司目前产品能够覆盖12寸及8寸产线最高工艺节点可支持到28nm并已切入中芯国际长江存储华虹集团等国内头部企业根据我们测算公司2021年在国内CMP市场中份额达到161随着公司300系列的大规模放量我们预计远期公司份额有望超过500我们预计公司2022-24年收入为167264371亿元归母净利润为456993亿元给予买入评级目标价2983元基于121x2023年PS估值日期2023220风险提示1半导体下行周期风险2中美贸易摩擦升级风险3新品研发及工艺改进不及预期风险4CMP设备行业竞争加剧风险风险提示半导体行业下行周期对应设备厂商订单缩减风险目前全球半导体处于下行周期3Q22包括台积电及一批存储企业在内的重资产公司已经下修了资本开支指引相应导致设备厂商新增订单边际下降影响远期收入规模中美贸易摩擦升级导致收入不达预期风险2022年10月美国商务部公布了一系列针对中国半导体产业的管制措施禁令加码后可能导致制造环节扩产低于预期从而对于设备厂商的新增订单产生负面影响另一方面国内设备厂商采购美系供应链零部件同样可能受限导致设备产出不达预期图表16报告提及公司列表证券代码公司名称证券代码公司名称证券代码公司名称证券代码公司名称证券代码公司名称002371CH北方华创未上市屹唐半导体603690CH至纯科技688072CH拓荆科技688120CH华海清科688012CH中微公司未上市上海微688037CH芯源微688200CH华峰测控未上市长江存储688082CH盛美上海未上市上海睿励LARCUSLamresearchASMLUSASMLAMATUSAMAT未上市中科飞测资料来源Wind华泰研究预测免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读12科技免责声明分析师声明本人黄乐平丁宁刘溢兹证明本报告所表达的观点准确地反映了分析师对标的证券或发行人的个人意见彼以往现在或未来并无就其研究报告所提供的具体建议或所表迖的意见直接或间接收取任何报酬一般声明及披露本报告由华泰证券股份有限公司已具备中国证监会批准的证券投资咨询业务资格以下简称本公司制作本报告所载资料是仅供接收人的严格保密资料本报告仅供本公司及其客户和其关联机构使用本公司不因接收人收到本报告而视其为客户本报告基于本公司认为可靠的已公开的信息编制但本公司及其关联机构以下统称为华泰对该等信息的准确性及完整性不作任何保证本报告所载的意见评估及预测仅反映报告发布当日的观点和判断在不同时期华泰可能会发出与本报告所载意见评估及预测不一致的研究报告同时本报告所指的证券或投资标的的价格价值及投资收入可能会波动以往表现并不能指引未来未来回报并不能得到保证并存在损失本金的可能华泰不保证本报告所含信息保持在最新状态华泰对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改投资者应当自行关注相应的更新或修改本公司不是FINRA的注册会员其研究分析师亦没有注册为FINRA的研究分析师不具有FINRA分析师的注册资格华泰力求报告内容客观公正但本报告所载的观点结论和建议仅供参考不构成购买或出售所述证券的要约或招揽该等观点建议并未考虑到个别投资者的具体投资目的财务状况以及特定需求在任何时候均不构成对客户私人投资建议投资者应当充分考虑自身特定状况并完整理解和使用本报告内容不应视本报告为做出投资决策的唯一因素对依据或者使用本报告所造成的一切后果华泰及作者均不承担任何法律责任任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效除非另行说明本报告中所引用的关于业绩的数据代表过往表现过往的业绩表现不应作为日后回报的预示华泰不承诺也不保证任何预示的回报会得以实现分析中所做的预测可能是基于相应的假设任何假设的变化可能会显著影响所预测的回报华泰及作者在自身所知情的范围内与本报告所指的证券或投资标的不存在法律禁止的利害关系在法律许可的情况下华泰可能会持有报告中提到的公司所发行的证券头寸并进行交易为该公司提供投资银行财务顾问或者金融产品等相关服务或向该公司招揽业务华泰的销售人员交易人员或其他专业人士可能会依据不同假设和标准采用不同的分析方法而口头或书面发表与本报告意见及建议不一致的市场评论和或交易观点华泰没有将此意见及建议向报告所有接收者进行更新的义务华泰的资产管理部门自营部门以及其他投资业务部门可能独立做出与本报告中的意见或建议不一致的投资决策投资者应当考虑到华泰及或其相关人员可能存在影响本报告观点客观性的潜在利益冲突投资者请勿将本报告视为投资或其他决定的唯一信赖依据有关该方面的具体披露请参照本报告尾部本报告并非意图发送发布给在当地法律或监管规则下不允许向其发送发布的机构或人员也并非意图发送发布给因可得到使用本报告的行为而使华泰违反或受制于当地法律或监管规则的机构或人员本报告版权仅为本公司所有未经本公司书面许可任何机构或个人不得以翻版复制发表引用或再次分发他人无论整份或部分等任何形式侵犯本公司版权如征得本公司同意进行引用刊发的需在允许的范围内使用并需在使用前获取独立的法律意见以确定该引用刊发符合当地适用法规的要求同时注明出处为华泰证券研究所且不得对本报告进行任何有悖原意的引用删节和修改本公司保留追究相关责任的权利所有本报告中使用的商标服务标记及标记均为本公司的商标服务标记及标记中国香港本报告由华泰证券股份有限公司制作在香港由华泰金融控股香港有限公司向符合证券及期货条例及其附属法律规定的机构投资者和专业投资者的客户进行分发华泰金融控股香港有限公司受香港证券及期货事务监察委员会监管是华泰国际金融控股有限公司的全资子公司后者为华泰证券股份有限公司的全资子公司在香港获得本报告的人员若有任何有关本报告的问题请与华泰金融控股香港有限公司联系免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读13科技香港-重要监管披露华泰金融控股香港有限公司的雇员或其关联人士没有担任本报告中提及的公司或发行人的高级人员拓荆科技688072CH华泰金融控股香港有限公司其子公司和或其关联公司实益持有标的公司的市场资本值的1或以上盛美上海688082CH华泰金融控股香港有限公司其子公司和或其关联公司在本报告发布日担任标的公司证券做市商或者证券流动性提供者有关重要的披露信息请参华泰金融控股香港有限公司的网页httpswwwhtsccomhkstockdisclosure其他信息请参见下方美国-重要监管披露美国在美国本报告由华泰证券美国有限公司向符合美国监管规定的机构投资者进行发表与分发华泰证券美国有限公司是美国注册经纪商和美国金融业监管局FINRA的注册会员对于其在美国分发的研究报告华泰证券美国有限公司根据1934年证券交易法修订版第15a-6条规定以及美国证券交易委员会人员解释对本研究报告内容负责华泰证券美国有限公司联营公司的分析师不具有美国金融监管FINRA分析师的注册资格可能不属于华泰证券美国有限公司的关联人员因此可能不受FINRA关于分析师与标的公司沟通公开露面和所持交易证券的限制华泰证券美国有限公司是华泰国际金融控股有限公司的全资子公司后者为华泰证券股份有限公司的全资子公司任何直接从华泰证券美国有限公司收到此报告并希望就本报告所述任何证券进行交易的人士应通过华泰证券美国有限公司进行交易美国-重要监管披露分析师黄乐平丁宁刘溢本人及相关人士并不担任本报告所提及的标的证券或发行人的高级人员董事或顾问分析师及相关人士与本报告所提及的标的证券或发行人并无任何相关财务利益本披露中所提及的相关人士包括FINRA定义下分析师的家庭成员分析师根据华泰证券的整体收入和盈利能力获得薪酬包括源自公司投资银行业务的收入拓荆科技688072CH华泰证券股份有限公司其子公司和或其联营公司实益持有标的公司某一类普通股证券的比例达1或以上盛美上海688082CH华泰证券股份有限公司其子公司和或其联营公司在本报告发布日担任标的公司证券做市商或者证券流动性提供者华泰证券股份有限公司其子公司和或其联营公司及或不时会以自身或代理形式向客户出售及购买华泰证券研究所覆盖公司的证券衍生工具包括股票及债券包括衍生品华泰证券研究所覆盖公司的证券衍生工具包括股票及债券包括衍生品华泰证券股份有限公司其子公司和或其联营公司及或其高级管理层董事和雇员可能会持有本报告中所提到的任何证券或任何相关投资头寸并可能不时进行增持或减持该证券或投资因此投资者应该意识到可能存在利益冲突评级说明投资评级基于分析师对报告发布日后6至12个月内行业或公司回报潜力含此期间的股息回报相对基准表现的预期A股市场基准为沪深300指数香港市场基准为恒生指数美国市场基准为标普500指数具体如下行业评级增持预计行业股票指数超越基准中性预计行业股票指数基本与基准持平减持预计行业股票指数明显弱于基准公司评级买入预计股价超越基准15以上增持预计股价超越基准515持有预计股价相对基准波动在-155之间卖出预计股价弱于基准15以上暂停评级已暂停评级目标价及预测以遵守适用法规及或公司政策无评级股票不在常规研究覆盖范围内投资者不应期待华泰提供该等证券及或公司相关的持续或补充信息免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读14科技法律实体披露中国华泰证券股份有限公司具有中国证监会核准的证券投资咨询业务资格经营许可证编号为91320000704041011J香港华泰金融控股香港有限公司具有香港证监会核准的就证券提供意见业务资格经营许可证编号为AOK809美国华泰证券美国有限公司为美国金融业监管局FINRA成员具有在美国开展经纪交易商业务的资格经营业务许可编号为CRD298809SEC8-70231华泰证券股份有限公司南京北京南京市建邺区江东中路228号华泰证券广场1号楼邮政编码210019北京市西城区太平桥大街丰盛胡同28号太平洋保险大厦A座18层邮政编码100032电话862583389999传真862583387521电话861063211166传真861063211275电子邮件ht-rdhtsccom电子邮件ht-rdhtsccom深圳上海深圳市福田区益田路5999号基金大厦10楼邮政编码518017上海市浦东新区东方路18号保利广场E栋23楼邮政编码200120电话8675582493932传真8675582492062电话862128972098传真862128972068电子邮件ht-rdhtsccom电子邮件ht-rdhtsccom华泰金融控股香港有限公司香港中环皇后大道中99号中环中心58楼5808-12室电话852-3658-6000传真852-2169-0770电子邮件researchhtsccomhttpwwwhtsccomhk华泰证券美国有限公司美国纽约公园大道280号21楼东纽约10017电话212-763-8160传真917-725-9702电子邮件Huataihtsc-uscomhttpwwwhtsc-uscom版权所有2023年华泰证券股份有限公司免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分请务必一起阅读15