1.1伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统
　　1.1.1伺服系统的定义和构成
　　定义：伺服系统是以物体的位移、角度、速度为控制量组成的能够动态跟踪目标位置变化的自动化控制系统，是一种是在变频技术基础上的运动控制部件，可实现精确、快速、稳定的位置控制、速度控制和转矩控制，主要应用于对定位精度和运转速度要求较高的工业自动化控制领域。
　　构成：伺服系统由伺服电机、伺服驱动器与编码器组成。其中，伺服电机是伺服系统的执行元件，其作用是把接受的电信号转换为电动机转轴的角位移或角速度；伺服驱动器是伺服电机的一种控制器，一般通过位置、速度和力矩三种方式对伺服电机进行控制，以实现高精度的传动系统定位；编码器将信号或数据进行编制，转换为可用于通讯、传输和存储的信号形式，一般将编码器视为伺服电机的组成部分，多数伺服电机生产厂商外购或自研编码器，将伺服电机与编码器配套出售。
　　未来的数字化工厂从上到下包括信息层、控制层、驱动层、执行层、传感层，伺服系统中的伺服驱动器、伺服电机、编码器分别对应驱动层、执行层、传感层。因此，伺服系统相当于工业生产系统的中枢神经+肌肉骨骼+感受系统。
　　构成：伺服系统由伺服电机、伺服驱动器与编码器组成。其中，伺服电机是伺服系统的执行元件，其作用是把接受的电信号转换为电动机转轴的角位移或角速度；伺服驱动器是伺服电机的一种控制器，一般通过位置、速度和力矩三种方式对伺服电机进行控制，以实现高精度的传动系统定位；编码器将信号或数据进行编制，转换为可用于通讯、传输和存储的信号形式，一般将编码器视为伺服电机的组成部分，多数伺服电机生产厂商外购或自研编码器，将伺服电机与编码器配套出售
　　风险分析
　　①宏观经济和制造业景气度下滑风险：伺服行业受宏观经济波动影响较大，产业与宏观经济波动的相关性明显，尤其是和工业制造的需求、基础设施投资等宏观经济重要影响因素强相关。若未来国内外宏观经济环境发生变化，下游行业投资放缓，将可能影响伺服行业的发展环境和市场需求。
　　 ②市场竞争风险：如果国际厂商加大本土化经营力度，国内市场竞争将日趋激烈，内资伺服企业将面临市场竞争加剧的风险。
　　 ③原材料价格上涨风险：受全球宏观经济、贸易战、疫情防控、自然灾害等影响，若原材料继续上涨，芯片等关键物料供应持续出现失衡，将引起内资伺服厂商生产成本增加，经营业绩可能会受影响。

研究报告全文：证券研究报告行业深度报告伺服系统持续受益高端装备发展国产化方兴未艾分析师吕娟lyujuancsccomcn021-68821610SAC执证编号S1440519080001SFC中央编号BOU764发布日期2023年1月11日本报告由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和国仅为本报告目的不包括香港澳门台湾提供在遵守适用的法律法规情况下本报告亦可能由中信建投国际证券有限公司在香港提供同时请参阅最后一页的重要声明目录一伺服系统具备高精高效的特点持续受益高端装备发展11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统12伺服系统市场规模处于上升通道其中通用伺服占比高13通用伺服系统下游高端装备占比高持续受益产业升级二伺服系统仍处于国产化加速期国产替代空间仍然广阔三编码器自制平台化和深度制造能力助力伺服企业打造护城河四内资代表企业分析五投资建议六风险分析11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统111伺服系统的定义和构成定义伺服系统是以物体的位移角度速度为控制量组成的能够动态跟踪目标位置变化的自动化控制系统是一种是在变频技术基础上的运动控制部件可实现精确快速稳定的位置控制速度控制和转矩控制主要应用于对定位精度和运转速度要求较高的工业自动化控制领域构成伺服系统由伺服电机伺服驱动器与编码器组成其中伺服电机是伺服系统的执行元件其作用是把接受的电信号转换为电动机转轴的角位移或角速度伺服驱动器是伺服电机的一种控制器一般通过位置速度和力矩三种方式对伺服电机进行控制以实现高精度的传动系统定位编码器将信号或数据进行编制转换为可用于通讯传输和存储的信号形式一般将编码器视为伺服电机的组成部分多数伺服电机生产厂商外购或自研编码器将伺服电机与编码器配套出售图表伺服系统实物图例图表伺服系统由伺服驱动器伺服电机与编码器组成汇川SV660系列通用型伺服伺服驱动器伺服电机编码器来源汇川技术官网中信建投来源电子发烧友中信建投11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统111伺服系统的定义和构成未来的数字化工厂从上到下包括信息层控制层驱动层执行层传感层伺服系统中的伺服驱动器伺服电机编码器分别对应驱动层执行层传感层因此伺服系统相当于工业生产系统的中枢神经肌肉骨骼感受系统图表伺服系统在数字化工厂中涵盖了驱动执行传感层来源汇川技术公告中信建投11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统111伺服系统的定义和构成构成伺服系统由伺服电机伺服驱动器与编码器组成其中伺服电机是伺服系统的执行元件其作用是把接受的电信号转换为电动机转轴的角位移或角速度伺服驱动器是伺服电机的一种控制器一般通过位置速度和力矩三种方式对伺服电机进行控制以实现高精度的传动系统定位编码器将信号或数据进行编制转换为可用于通讯传输和存储的信号形式一般将编码器视为伺服电机的组成部分多数伺服电机生产厂商外购或自研编码器将伺服电机与编码器配套出售图表伺服系统由伺服驱动器伺服电机与编码器组成来源电子发烧友中信建投11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统112伺服系统的分类按动力来源划分伺服系统可分为气动伺服系统液压伺服系统和电气伺服系统气动伺服系统是最早普及的采用压缩气体为动力源精度低灵活性差目前已经较少应用液压伺服系统是指使用液压油和泵推动油缸执行动作后结合电气伺服发展为电液伺服系统主要用于大功率设备如工程机械建筑机械飞机船舶等电气伺服系统当前运用最广泛它是在20世纪50年代在电气控制技术有所突破后发展形成的又可细分为直流有刷伺服直流无刷伺服交流同步伺服交流异步伺服目前应用最为广泛的是交流伺服系统也是本文所重点讨论的图表伺服系统分类交流伺服系统为主高精度伺服以交流同步伺服系统为主按动力来源划分液压伺服系统气动伺服系统电气伺服系统主流后发展为电液伺服系统采用压缩气体为动力源精度低灵活性差液压推动大功率大力矩精度一般交流伺服系统主流目前已经较少应用直流伺服系统结构简单无需换向制造方闭环控制响应快结构复杂用于大功率设备如工程机械建便筑机械飞机船舶等需要电刷和换向器摩擦生热影响电机性能和寿命交流同步伺服系统直流有刷伺服系统永磁同步电机稀土生磁精度电刷易坏逐步淘汰高响应快成本高小功率为主直流无刷伺服系统交流异步伺服系统用霍尔传感器替代电刷性能优化感应异步电机电感生磁成本低精度和相应均稍慢适用于精来源中信建投但是成本高且方波产生震动不够稳定未能普及度一般但大功率场景11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统113伺服系统和步进系统的对比伺服系统各项性能都优于步进系统伺服系统交流伺服比步进系统精度更高两相混合式步进电机步距角一般为1809五相混合式步进电机步距角一般为072036伺服电机的控制精度则由编码器保证对于带17位编码器的电机而言驱动器每接收217131072个脉冲电机转一圈其脉冲当量为36013107200027466是步距角为18的步进电机的脉冲当量的1655伺服系统响应更快步进系统从静止加速到工作转速需要200400毫秒交流伺服系统仅需几毫秒伺服系统可靠性更强步进多为开环控制易出现丢步过冲现象交流伺服系统为闭环控制编码器会反馈信号内部构成位置环和速度环实时调整伺服系统具备过载能力步进电机一般不具有过载能力交流伺服电机具有较强的过载能力可用于克服惯性负载在启动瞬间的惯性力矩图表步进电机结构图图表伺服电机结构图来源鸣志电器官网中信建投来源鸣志电器官网中信建投11伺服系统是集成了驱动和执行的高精高效系统114伺服系统和变频器的对比伺服系统与变频器技术同源但具备位置控制功能精度更高适用于小功率场景伺服系统和变频器相同点在于伺服系统中的伺服驱动器和变频器都要实现变频功能即将工频电源整流为频率可调的交流电从而控制电机转动两者不同点在于首先伺服驱动器比一般变频器有更精确的控制技术和算法运算在功能上最主要的差异是伺服系统可以进行精确的位置控制而变频器则无位置环其次伺服系统多采用永磁同步交流电机而变频器主要控制交流异步电机受工艺限制10KW以上的永磁同步交流电机价格昂贵因此大功率场景下多采用性价比更高的变频器驱动异步电机伺服系统则一般用于小功率场景综上能用变频器控制的场合几乎都能用伺服取代关键在于价格伺服系统远高于变频器及功率图表伺服系统和变频器对比比较项目变频器伺服系统控制用途控制对象为比较缓和的稳定状态要求进行过度性的高速高精度控制的用途控制功能基本上以速度控制模式为对象适用于位置控制速度控制和转矩控制的各种模式使用电机使用通用感应电机基本上根据与伺服驱动器的关系有专用的固定的几种类型多台电机的运行1台变频器可以驱动多台电机原则上1台伺服驱动器驱动1台电机价格比较低比较高响应性能低30rads以下高2001500rads左右停止精度最高可达100m以下最高可达1m左右启停频率20次分钟以下20600次分钟左右速度变化率大由于没有速度反馈会受到负裁等变化的影响小由于有速度反馈可排除负裁变化等的影响连续运行范围100负载小110左右大15000左右最大转矩150左右300左右输出功率100W300KW左右10W60KW左右来源信维工业中信建投12伺服系统市场规模处于上升通道其中通用伺服占比高1212008-2021年伺服系统市场规模快速增长2022年Q1-3小幅下滑2008-2021年伺服系统市场规模整体呈现快速增长态势我国的伺服系统产业起步较晚2000年以后随着国内中高端制造业不断发展各行各业在生产制造活动中越来越多地需要使用伺服系统来满足其高质量和高精度产品的要求这一需求促使国内伺服系统市场呈现快速增长趋势2008-2021年国内伺服系统市场规模由245亿元增长至2793亿元CAGR高达2059其中2021年增长较快同比增长3709主要受益于2021年上半年制造业景气度较高需求较为旺盛2022年前三季度通用伺服市场规模有所下滑2022年前三季度通用伺服市场规模为1733亿元同比下滑345主要受到2022年传统制造业景气度较弱以及国内疫情影响图表伺服系统市场规模伺服系统市场规模同比增速亿元300403525030252002015015101005050-50-10200820152016201720182019202020212022Q1-Q3来源MIR睿工业华经产业研究院中信建投备注2022年Q1-Q3伺服市场规模为估计值根据通用伺服市场规模和2021年通用专用占比推算得出12伺服系统市场规模处于上升通道其中通用伺服占比高122伺服系统可以分为通用伺服系统和专用伺服系统其中通用伺服占比约80通用伺服系统可以在不同行业广泛应用主要为交流电伺服系统通用伺服系统市场规模较大2021年我国通用伺服系统市场规模为2333亿元其下游应用广泛包括电子及半导体机床机器人包装纺织塑料纸巾等专用伺服系统根据不同行业需求定制化开发提供专业化产品主要为交流电伺服以外的其他品类伺服其市场规模较小2021年我国专用伺服系统市场规模为460亿元其下游应用领域包括风力发电矿山机械缆车索道电梯等从市场结构来看我国伺服市场中通用伺服市场规模占比约为80专用伺服市场规模约为20近年来基本保持稳定由于通用伺服市场空间大国产化率相对低本文将重点讨论通用伺服图表通用和专用伺服系统市场规模和占比图表通用和专用伺服国产化率对比专用伺服系统市场规模通用伺服系统市场规模100通用伺服系统占比专用伺服系统占比250100908020080706015060504085001004030205020102493000通用伺服国产化率截至2022Q3专用伺服国产化率截至2021年20172018201920202021来源MIR睿工业中信建投来源MIR睿工业中信建投13通用伺服系统下游高端装备占比高持续受益产业升级131通用伺服下游分散高端装备赛道占比高通用伺服系统下游较为集中通用伺服有不少于17个下游行业包括电池制造设备电子制造设备工业机器人光伏设备包装机械半导体激光雕刻机机床等2022年前三季度占比最高的前五个行业为电子制造设备电池制造设备工业机器人光伏设备包装机械分别占比158113561044757657合计占比达到5395通用伺服下游多为高端装备赛道且占比逐年提升若将电子制造设备电池制造设备工业机器人光伏设备半导体激光定义为高端装备赛道其余定义为传统行业由于通用伺服小功率高精高效的特性更能满足高端装备的需求当前下游景气赛道占比已超60且提升显著从2017年到2022年前三季度高端装备赛道占比由5536提升至6535提升了近10个pct图表通用伺服系统下游需求图表通用伺服系统下游60以上为高端装备赛道电池电子工业机器人光伏包装高景气赛道偏传统行业半导体激光雕刻机机床纺织100木工液晶塑料纸巾印刷1009080807060605040406244653530553656795842607520201000201720182019202020212022Q1-Q3201720182019202020212022Q1-Q3来源MIR睿工业中信建投来源MIR睿工业中信建投13通用伺服系统下游高端装备占比高持续受益产业升级132受益制造业产业升级周期以及制造强国政策红利如果以1992年小平同志南巡讲话为起点我们认为中国制造业发展至今经历了三个不同特点的发展阶段第一阶段1992-2011年我们称之为制造大国阶段凭借劳动力成本优势中国制造物美价廉既满足了改革开放后国内人民群众对生活生产物资的需求又飘洋过海享誉全球这个阶段我们制造业更多是走量在新技术上更多是模仿跟随策略第二阶段2012-2016年即供给侧改革阶段在这个阶段传统行业经历了或主动或被动的出清过程很多小企业退出市场集中度提升竞争格局优化第三阶段2017年起我们称之为产业升级阶段一方面中国制造业发展阶段决定了产业升级是必由之路另一方面外部环境多变美国发起的贸易摩擦实体清单针对我国半导体产业链的进一步制裁还有全球疫情俄乌战争等等都要求通过制造业产业升级实现核心产品核心制备的自主可控降低对海外供应链的依赖改变制造业大而不强的局面图表制造业目前正处于产业升级阶段第一阶段1992-2011年制造大国走量在新技术上更多是模仿跟随策略第二阶段2012-2016年供给侧改革主动或被动的出清过程集中度提升竞争格局优化第三阶段2017年起产业升级内外部环境决定要通过制造业升级实现自主可控降低对海外供应链依赖资料来源中信建投13通用伺服系统下游高端装备占比高持续受益产业升级133制造业产业升级趋势明显高端装备占比持续提升推动伺服市场规模长期向好中国制造业正向高端化转型升级根据国家统计局数据我国高技术制造业固定资产投资增速明显高于普通制造业固定资产投资增速同时我国制造业中高端装备占比明显提升根据长江行业分类指数自2017年至2022年前三季度光伏设备半导体及3C设备锂电设备工业自动化电子专用设备工控元器件仪器仪表营业收入占机械设备总体营业收入比重均呈提升态势综合来看随着我国制造业产业不断升级高端装备占机械设备比重有望持续提升将推动通用伺服市场规模长期增长图表高技术制造业固定资产投资增速高于普通制造业图表高端装备占机械设备营业收入比重快速提升固定资产投资不含农户完成额制造业累计同比CJSC光伏设备收入CJSC机械设备CJSC半导体及3C设备收入CJSC机械设备固定资产投资不含农户完成额高技术制造业累计同比CJSC锂电设备收入CJSC机械设备CJSC工业自动化收入CJSC机械设备60CJSC电子专用设备收入CJSC机械设备CJSC工控元器件收入CJSC机械设备50CJSC仪器仪表收入CJSC机械设备50403040201030010202010304000201720182019202020212022Q1-3来源Wind中信建投来源Wind中信建投目录一伺服系统具备高精高效的特点持续受益高端装备发展二伺服系统仍处于国产化加速期国产替代空间仍然广阔21通用伺服系统国产化取得长足进展22通用伺服系统国产化率提升是多因素共同作用的结果23通用伺服系统国产替代空间仍然广阔三编码器自制平台化和深度制造能力助力伺服企业打造护城河四内资代表企业分析五投资建议六风险分析21通用伺服系统国产化取得长足进展211通用伺服系统国产厂商在汇川技术带领下实现市场份额大幅提升国产厂商份额大幅提升2017年内资份额为97通用伺服市场几乎被外资垄断2022年前三季度内资份额达到305较2017年提升了2086个pct国产品牌显著进步日系份额下滑明显2017年日系份额高达49312022年前三季度份额则下滑至2911明显失守欧美系厂商份额稳中有升2017年欧系和美系份额分别为11691272022年前三季度份额分别小幅提升至1560143欧美系品牌占据的市场较为坚挺台资份额波动略有下滑2017-2022年前三季度台资份额基本在7-8附近波动自2020年起至今份额略有下滑从833下滑了222个pct至611通用伺服市场集中度高头部厂家占据大部分市场份额2017-2022年前三季度伺服市场CR10在70左右CR5在50左右CR3在40左右略有波动但基本稳定图表通用伺服市场分区域竞争格局图表通用伺服市场集中度较高内资台资日系欧系美系其他100CR3CR5CR1080908015014312713315813470116912621398156070124213386060505035832911396540404931442442733061130751208332082189630511078123571018169651181119400201720182019202020212022Q1-Q3201720182019202020212022Q1-Q3来源MIR睿工业中信建投来源MIR睿工业中信建投21通用伺服系统国产化取得长足进展211通用伺服系统国产厂商在汇川技术带领下实现市场份额大幅提升国产新兴伺服厂商不断涌现首先汇川技术份额提升幅度最大从2008年的01的市场份额提升至2022年前三季度的21为份额提升幅度最大的国产厂商从伺服销售额角度汇川已远超西门子松下安川等老牌外资龙头其次国内涌现了一批新兴国产伺服品牌如禾川科技无锡信捷雷赛智能等2022年前三季度市场份额已分别达到342413最后老牌国产厂商经历洗牌和利时星辰科技珠海运控步科股份等老牌国产厂商进展较慢埃斯顿份额则有小幅提升从2008年的16小幅提升至2022年前三季度的24图表2008年通用伺服竞争格局图表2022年前三季度通用伺服竞争格局120201松下汇川技术安川西门子92三菱071614126松下西门子09安川2016博世力士乐172台达台达1121022三菱路斯特13禾川科技24110三洋东元16无锡信捷埃斯顿29罗克韦尔13丹纳赫20山洋电气31伦茨雷赛智能1061410533施耐德13罗克韦尔富士电机19欧姆龙埃斯顿博世力士乐33星辰科技24贝加莱6184102和利时24施耐德珠海运控73富士电机68步科股份34778261伦茨汇川技术东菱技术其他其他来源汇川技术招股说明书中信建投来源MIR睿工业中信建投21通用伺服系统国产化取得长足进展211通用伺服系统国产厂商在汇川技术带领下实现市场份额大幅提升汇川技术是通用伺服系统国产化领头羊从2020年到2022年前三季度汇川技术贡献60-80的国产伺服收入增量贡献量较大主要得益于两方面首先汇川技术提前布局新能源赛道早在2015年汇川就开始进军光伏锂电等新能源领域的伺服产品其次汇川技术未雨绸缪提前备芯公司在2020年年末就提前对工控芯片大量备货在2021年上半年行业缺芯严重的情况下保障供应实现了市场份额大幅提升图表各内资厂商国产化率提升贡献量图表主要内资伺服厂商新能源布局时间线汇川技术禾川科技无锡信捷埃斯顿雷赛智能其他布局时间下游新能源进展1002022年能源SBU占通用自动化收入比重约25在锂电光90汇川技术2015年伏行业中公司份额均达到50左右802022年下游新能源占比约45其中锂电行业收入占比约70禾川科技2018年16光伏行业占比约29602020年开始在锂电和光伏做测试和导入2022年下半年开50雷赛智能2020年始供应量逐渐爬坡4079793058信捷电气2021年2021上半年逐步进入新能源领域202022上半年成立先进事业部面向高景气赛道客户包括10伟创电气2022年0新能源行业202020212022Q1-Q3来源MIR睿工业中信建投备注贡献量该厂商伺服销售额国产品牌伺服来源公司年报中信建投合计销售额21通用伺服系统国产化取得长足进展212通用伺服系统仍处于国产替代加速期国产化率加速提升2008-2017年九年间伺服国产化率仅提升了355个pct进入2018年国产伺服经过多年积累技术井喷根据SooPAT当年伺服系统相关申请专利数量达到历史高点增速高达368国产伺服开始形成对国外品牌的有力竞争当年国产化率提升了216个pct2020年起国产厂商抓住了外资供应紧张的机会从2020年到2022年的四年一期中通用伺服系统国产化率分别提升了621pct542pct694pct三年合计提升1857pct超越2008-2020年十二年来国产化率提升的总和图表通用伺服国产化率图表伺服系统专利公开申请数量件伺服系统专利公开数量YoY通用伺服国产化率5000403530514299450041413039193040002357253500314332252029821816300027202010250022121967151181119409652000169413301061015001127-1051000-2050002008201720182019202020212022Q1-Q30-30201020112012201320142015201620172018201920202021来源汇川技术招股书MIR睿工业中信建投来源SooPAT中信建投备注剔除外观设计专利类别22通用伺服系统国产化率提升是多因素共同作用的结果221产品端国内主流产品性能接近国外品牌通过多年的技术积累国内头部企业已掌握了伺服系统三环综合矢量控制技术高级智能调整算法技术高速高精度编码器技术高速总线控制技术等一系列核心技术国产伺服系统在产品易用性上大幅提升部分产品已经可以在转矩精度速度波动率速度环带宽控制周期等性能参数上接近国外主流品牌图表伺服驱动器性能对比关键性能技术指标安川-7松下A6汇川SV660伟创SD700信捷DS5禾川X6转矩度1-21-1调速围351388889351388889351388889351388889-351388889控制性能速度动率001-05001-001速度带宽31kHZ32kHZ3kHZ3kHZ-3kHZETHERCATETHERCATETHERCATETHERCATETHERCATETHERCATCANOPEN总线类型CANOPEN总线控制M2MIIIRTEXM2MIIICANOPENPROFINETCANLINKMIII控制周期125us125us250us250us125us125us单参数整定自自调整功能免调整单参数整定单参数整定单参数整定单参数整定调谐模型跟踪控制模型跟踪二自由度---模型跟踪高级智能调整算法速度观测器速度观测器速度观测器速度观测器速度观测器速度观测器观测器功能扰动观测器扰动观测器扰动观测器扰动观测器扰动观测器扰动观测器自动手动自动手动自动手动自动手动自动手动自动手动制振控制陷波滤波陷波滤波陷波滤波陷波滤波陷波滤波陷波滤波来源禾川科技招股书中信建投22通用伺服系统国产化率提升是多因素共同作用的结果222价格端外资持续涨价凸显国产品牌价格优势受原材料涨价上游芯片供应紧张引起的外资工控图表2021-2022年海外厂商伺服系统涨价情况厂商2021年伺服涨价情况产品涨价潮仍在持续受到俄乌冲突疫情等因素松下2021Q2涨价3-5贝加莱2021Q2涨价8影响外资工控厂商面临原材料价格上涨芯片供罗克韦尔2021Q3涨价8月补涨1-211月继续上涨5左右应紧张等压力2021年考虑到中国本土品牌价格厂家相关伺服产品2022年涨价情况生效日期异步发电机9-14较低伺服市场竞争激烈担忧客户流失等因素进口电机发电机10-15ABB20221-3外资厂商多数没有进行大幅涨价2022年价格影响ACS510-01ACS530-01ACS580-010407等6-8伺服产品6因素并未缓解叠加人民币贬值影响外资品牌频SINAMICSV903西门子SINAMICSS2101220225繁提价具体来看西门子和三菱在伺服产品方面低压标准防爆特殊高转矩和大功率伺服电机12台达运动控制-伺服A23系列B23系列5-1020226提价两次罗克韦尔继2021年提价后于202212再次伺服LXM32系列5发布涨价通知ABB台达施耐德丹佛斯等也对施耐德伺服BMH系列电机520227伺服价格进行上调在外资频繁涨价背景下国产伺服BSH系列电机10-15三菱113-伺服6202210品牌价格优势更加凸显丹佛斯伺服驱动器5202210SINAMICSV903西门子SINAMICSS120SIMOTICS系列电机12202212SINAMICSS2103驱动控制设备伺服放大器10三菱驱动控制设备伺服电机1520232驱动控制设备内置式永磁电机20MOT-K系列伺服驱动器9-11罗克韦尔202212MOT-TLPMPLMPMVPL伺服电机9-11来源MIR睿工业各公司公众号中信建投