事件：公司发布2026年三季度报告，2026年前三季度实现营业收入10.19亿元（yoy+20.58%）、归母净利润12.62亿元（yoy+129.85%）、扣非归母净利润1.14亿元（yoy+45.09%）。
　　2026Q3主业增长明显加速，收入、扣非利润与经营性现金流同步改善。2026Q3实现营业收入3.95亿元（yoy+46.19%）、归母净利润-5.77亿元、扣非归母净利润5313万元（yoy+243.07%）。非经常损益数额主要受公司持有的拓荆科技股票价格波动及相关金融资产处置损益影响。2026年前三季度公司毛利率为29.18%（yoy+1.04pcts），扣非净利率为11.21%（yoy+1.89pcts）；销售、管理、研发费用率分别为3.93%、6.49%和7.66%。2026Q3经营活动现金流净额为6312万元（yoy+69.98%），与单季度经营改善相匹配。截至2026年9月末，公司合同负债为2.65亿元，较年初增长45.10%，反映在手订单及预收款规模增加；与此同时，应收账款、存货分别较年初增长98.30%、49.61%至4.94亿元、7.82亿元，主要是随着业务收入扩张而同步增长。
　　投资4.23亿元扩建集成电路干式真空泵产能，核心零部件自主制造能力有望进一步提升。伴随国内集成电路产业扩产及半导体设备核心零部件国产化需求提升，公司拟使用自有资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，总投资4.23亿元。其中，中科仪及上海分公司拟投资1.91亿元，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资2.32亿元。项目将在已有“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上进一步扩大产能，并提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，有望降低外协依赖、优化成本结构并增强订单交付能力。先进制程验证方面，截至2026H1，公司已完成28项先进制程工艺类别中14项的测试验证，其余14项产品均已完成研制并进入或陆续进入客户验证阶段，验证完成后将具备批量交付条件。我们认为，下游扩产、先进制程验证推进与新增产能建设形成共振，公司有望持续承接国内集成电路设备国产替代需求。
　　干式真空泵基本盘持续夯实，一体机、温控冷水机与废气处理设备打开第二增长曲线。公司以干式真空泵为核心，持续向半导体专用温控冷水机、一体机及工艺废气处理设备等泛半导体洁净真空设备延伸。其中，温控冷水机可配套刻蚀、薄膜沉积等核心制程，一体机及LocalScrubber主要用于处理刻蚀、沉积环节产生的有毒有害废气，相关产品已在海内外多家企业实现批量应用。随着干式真空泵存量装机规模扩大，维修、配件更换和技术改进需求亦有望持续释放，设备销售与后市场服务协同发展。公司正在推进韩国、新加坡、马来西亚及中国台湾地区等境外市场开拓，有望进一步拓展长期成长空间。
　　盈利预测与评级：我们预计公司2026-2028年归母净利润分别为11.1/2.8/3.6亿元，当前股价对应的PE分别为12/46/36倍。考虑到公司源于中科院的深厚技术积淀，形成“科研反哺产业、产业验证技术”的独特闭环，凭借在洁净真空与超高真空领域深耕，公司已在半导体干式真空泵这一核心“卖铲人”赛道建立起应用壁垒，是唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻全工艺环节均实现批量应用的国产企业，配套长江存储、长鑫科技、北方华创并已通过台积电、SK海力士等国际头部客户验证，成长空间广阔，维持“增持”评级。
　　风险提示：技术和产品研发风险、国际贸易摩擦的风险、市场竞争加剧的风险。