核心观点
　　事件：公司发布23年业绩预告。
　　23年业绩超预期：公司预计23年营收增长约32%至约62.6亿元，新增订单金额增长约32%至约83.6亿元。公司预计23年归母净利润17.0至18.5亿元（万得一致预期为15.8亿元），增长约45%至58%，扣非归母净利润为11.0至12.4亿元，增长约20%至35%。四季度单季营收约22.2亿元，同比增长31%，归母净利润约5.4至6.9亿元，同比增长43%至83%，扣非归母净利润约3.66至5.06亿元，同比增长33%至84%。
　　刻蚀设备高增长，竞争力强：公司主力产品等离子体刻蚀设备23年营收增长约49%至约47.0亿元，新增刻蚀设备订单金额增长约60%至约69.5亿元。受益于公司完整的单台和双台刻蚀设备布局、刻蚀应用覆盖丰富等优势，23年公司CCP和ICP刻蚀设备在国内主要客户的市占率大幅提升。公司的TSV硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和MEMS器件生产，12月底中微供应了增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目的首台生产设备Primo D-RIE。
　　新产品快速突破：公司近两年新开发了薄膜沉积设备，已有四款LPCVD设备和ALD设备，产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并得到重复性订单；公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多个新产品也会在近期投入市场验证。公司开发的包括碳化硅功率器件、氮化镓功率器件、Micro-LED等器件所需的多类MOCVD设备将在24年陆续进入市场。
　　盈利预测与投资建议
　　我们预测公司23-25年归母净利润分别为17.1、21.1、26.5亿元（原23-25年预测分别为15.8、19.9、25.1亿元，主要略调整主营业务营收），采用绝对估值法（FCFF），给予228.02元目标价，维持买入评级。
　　风险提示
　　刻蚀设备国产化不及预期；MiniLED需求不及预期；政府补助下滑风险；零部件断供风险。