核心观点：
　　掌握ALD核心技术，技术水平国内领先。ALD技术是化学气相沉积（CVD）的一种，将反应材料以单原子膜形式通过循环反应逐层沉积在基片表面，形成对复杂形貌的基底表面全覆盖成膜的薄膜沉积技术，ALD设备具备优秀的多面体表面成膜能力，可以满足复杂结构体的镀膜需求，在先进制程集成电路制造工序中应用广泛。公司管理团队在ALD领域积累深厚，通过长时间的研发投入，在光伏领域的氧化铝沉积中维持了较高的市占率，并切入半导体领域，技术国内领先。
　　光伏设备为基，充分享受高效电池扩产进程。据公司官网，公司全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域，有效帮助电池片厂商大幅降低设备投资额与生产成本，客户涵盖通威、隆基、晶澳等光伏龙头企业，获得广泛认可。结合公司在9月20日发布的《投资者关系活动记录表》，截止2023年6月30日，公司在手光伏设备订单56.21亿元。
　　半导体持续投入，逐步进入收获期。据公司23年中报，公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司；根据公司官方公众号7月16日的推送，公司切入PECVD设备领域并成功发货，打开新的增长曲线。
　　盈利预测与投资建议。我们预计微导纳米2023-2025年营业收入为15.34/39.74/49.43亿元，同期归母净利润为2.52/5.62/7.55亿元，EPS为0.55/1.24/1.66元/股，参考可比公司的估值水平，考虑公司在光伏领域ALD相关设备的领先地位，以及公司近几年新切入半导体的PECVD领域，故我们给予24年50倍的PE估值，对应合理总价值281.1亿元，合理价值61.86元/股，给予“买入”评级。
　　风险提示。技术迭代及新产品开发风险；新产品验证进度及市场发展不及预期的风险；毛利率下降的风险；经营业绩波动的风险。