核心观点
　　公司Q3营收同比+30.18%，维持较高增长，主要受益于下游扩产以及公司前道Track、清洗等产品品类拓展与份额提升，在客户端验证及交付顺利。Q3归母净利润同比+14.85%，增速相比营收较低，主要系非经常性损益减少，扣非后归母净利润同比+133.92%，实现高增。公司前道产品持续取得突破，尤其高端浸没式在客户端验证顺利，化学清洗也有望快速导入，后续放量值得期待。
　　事件
　　2023年前三季度，公司实现营业收入12.06亿元，同比增长34.55%，归母净利润2.20亿元，同比增长53.98%，扣非后归母净利润1.82亿元，同比增长83.35%。其中，Q3单季度实现营业收入5.11亿元，同比增长30.18%，归母净利润0.85亿元，同比增长14.85%。扣非后归母净利润0.78亿元，同比增长133.92%。
　　简评
　　Q3营收维持高增，扣非后净利润大幅增长
　　Q3营收维持高增。公司前三季度营收12.06亿元，同比+34.55%，Q3单季度实现营收5.11亿元，同比+30.18%，受益于行业扩产以及公司前道Track、清洗等产品品类拓展与份额提升，营收维持高增态势。
　　Q3毛利率同比提升，扣非后净利润大幅增长。前三季度归母净利润2.20亿元，同比+53.98%，毛、净利率分别为42.46%、18.25%，同比分别+2.37pct、+2.30pct；Q3单季度归母净利润0.85亿元，同比+14.85%，毛、净利率分别为41.12%、16.55%，同比+1.06pct、-2.21pct。Q3毛利率实现增长，随着前道Track毛利率不断修复并放量，公司毛利率有望继续提升。Q3净利率下滑主要系非经常性损益减少，扣非后净利润同比+133.92%，实现高速增长
　　前道产品持续突破，期待后续订单表现
　　前道Track：①浸没式涂胶显影机：公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构FT300（Ⅲ）于2022年12月份发布后获得客户广泛认可，在大客户端验证进展良好，受益后续规模扩产。②高端offline设备：公司超高温烘烤Barc设备已实现客户重复订单；应用于其他旋涂类工艺的SOC设备实现客户端导入。
　　前道清洗：公司前道物理清洗机SpinScrubber已作为主流机型广泛应用于各大晶圆厂，近年来在高产能清洗架构、颗粒去除能力等工艺上实现进一步提升，国内市占率稳步上升。此外，公司积极拓展化学清洗机，预计明年有望获得小批量订单。
　　投资建议
　　预计公司2023-2025年实现归母净利润分别为2.99、4.23、5.92亿元，同比分别增长49.34%、41.35%、40.06%，对应PE分别为68.54x、48.49x、34.62x，维持“买入”评级
　　风险分析
　　（1）下游扩产不及预期：公司客户包含国内外知名厂商，若下游投资、扩产意愿降低将影响公司产品销量。
　　（2）贸易摩擦加剧：中美等贸易摩擦加剧可能会对公司海外客户拓展产生不利影响。
　　（3）新产品研发不及预期：若新产品研发不及预期，则会对其后续收入产生负面影响。
　　（4）市场竞争持续加剧：公司竞争对手为国际知名半导体设备厂商与国内新进半导体设备公司，若公司无法有效应对市场竞争环境，则会面临行业地位下降等不利影响