核心观点
　　2023H1公司PECVD设备收入带动整体收入大幅增长，受股份支付影响整体盈利能力降幅较大，剔除该部分影响后公司业绩仍实现高增，公司持续推进研发投入，持续提升量产薄膜设备市场覆盖度，推进混合键合设备产业化验证，上半年ALD和SACVD持续取得验收、HDPCVD和混合键合实现验证。展望全年，公司在手订单充足，新建产能逐步释放，后续业绩有望持续增长。
　　事件
　　公司发布2023年半年报，2023H1公司实现营业收入10.04亿元，同比增长91.83%；归母净利润1.25亿元，同比增长15.22%；扣非后归母净利润0.65亿元，同比增长32.65%。其中Q2单季度实现营业收入6.01亿元；同比增长44.66%；归母净利润0.71亿元，同比下降40.96%；扣非后归母净利润0.46亿元，同比下降35.69%。
　　简评
　　收入实现大幅增长，剔除股份支付影响业绩依旧高增
　　订单充足新品导入顺利，上半年营收高增。2023H1公司实现营业收入10.04亿元，同比增长91.83%，其中PECVD设备实现收入9.08亿元，同比增长94.35%，营收占比超90%，营收实现高速增长，主要系①在手订单充足，产品线不断完善；②新产品及新工艺经下游用户陆续验证导入，销售收入放量增长。
　　从盈利能力角度来看，公司毛、净利率分别为49.43%、12.50%、同比+2.67pct、-7.87pct，产品毛利率实现较好增长。费用端来看，2023H1公司期间费用率为40.69%，同比+3.91pct，其中销售、管理、研发、财务费用率分别为11.43%、9.43%、20.93%、-1.10%，同比-0.22pct、+4.88pct、-1.53pct、+0.78pct，管理费用率提升较大，2023H1达0.95亿元，同比增长297.93%，主要系股份支付所致。受股份支付影响，公司整体盈利能力降幅较大。
　　归结到利润端，2023H1公司实现归母净利润1.25亿元，同比增长15.22%；扣非后归母净利润0.65亿元，同比增长32.65%，营收规模增长带动利润提升。利润增速低于营收增速主要系确认股份支付费用1.26亿元，剔除该部分影响后，公司归母净利润和扣非后归母净利润同比分别增长129.15%、283.68%。
　　在手订单充足，后续业绩支撑强劲。截至2023H1末，公司存货32.88亿元，相比去年同期增长110.37%，较23Q1增长21.02%，合同负债15.06亿元，相比去年同期增长38.59%，相比23Q1下降7.76%，存货和合同负债同比增长显著，我们推测合同负债较Q1末下降主要系产品结构变化和支付节奏影响，预计总体在手订单依旧可观。
　　研发创新投入持续推进，各产品系列均取得突破
　　公司持续深耕高端半导体工艺设备，专注于薄膜沉积设备的创新研发。2023H1公司研发投入达2.10亿元，同比增长78.77%，公司保持高强度研发投入，开拓新产品及新工艺拓展，已拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2023H1末，公司累计申请专利960项（含PCT）、获得专利298项，已先后累计承担8项国家重大专项/课题；2023H1公司新增申请专利108项（含PCT）、新增获得专利83项，获批承担1项国家重大专项。
　　公司持续提升量产薄膜设备市场覆盖度，推进混合键合设备产业化验证。公司薄膜沉积设备性能优秀，平均机台稳定运行时间（Uptime）超过90%（达到国际同类设备水平），截至2023H1末在客户端产线生产产品的累计流片量已突破1.2亿片。在客户产线验证通过的薄膜种类及性能指标类型持续增加，工艺覆盖面不断提升，不同产品系列均实现突破，ALD和SACVD持续取得验收、HDPCVD和混合键合实现验证。
　　（1）PECVD系列：①PECVD：通用及先进介质薄膜材料均已实现产业化应用，PECVD（NF-300H）型号设备已实现产业化应用，可以沉积Thick TEOS等介质材料薄膜；②UVCure：UVCure（Lok Ⅱ工艺）设备实现首台产业化应用。
　　（2）ALD系列：①PE-ALD：PE-ALD（PF-300TAstra）验证及拿单进展顺利；PE-ALD（NF-300HAstra）设备实现首台产业化应用，主要沉积较厚的PE-ALD薄膜，具有高产低成本优势。②Thermal-ALD：Thermal-ALD（PF-300TAltair、TS-300 Altair）验证及拿单进展顺利，可以沉积Al2O3等多种金属化合物薄膜材料。
　　（3）SACVD系列：截至2023H1末，公司可实现SATEOS、BPSG、SAF薄膜工艺沉积的SACVD设备均通过客户验证。
　　（4）HDPCVD系列：已实现首台产业化应用，可以沉积SiO2、FSG、PSG等介质材料薄膜。
　　（5）混合键合系列：①晶圆对晶圆键合：Dione 300实现首台产业化应用并获得重复订单；②芯片对晶圆键合：表面预处理产品Pollux已出货至客户端进行产业化验证，进展顺利。
　　高端半导体设备扩产项目、ALD设备研发与产业化项目已建成，为后续提供产能支撑
　　截至2023H1末，公司高端半导体设备扩产项目、ALD设备研发与产业化项目已完成建设并投入使用，超募项目半导体先进工艺装备研发与产业化项目已开始施工建设。
　　（1）高端半导体设备扩产项目：项目总投资0.46亿元，二期洁净厂房已完成建设并投入使用，进一步提升薄膜沉积设备系列产品产能。
　　（2）ALD设备研发与产业化项目：ALD薄膜沉积

研究报告全文：证券研究报告A股公司简评专用设备剔除股份支付影响业绩依旧高增新产品验拓荆科技688072SH证进展顺利半导体设备系列报告核心观点维持买入吕娟2023H1公司PECVD设备收入带动整体收入大幅增长受股份支lyujuancsccomcn付影响整体盈利能力降幅较大剔除该部分影响后公司业绩仍实021-68821610现高增公司持续推进研发投入持续提升量产薄膜设备市场覆SAC编号S1440519080001盖度推进混合键合设备产业化验证上半年ALD和SACVD编号持续取得验收HDPCVD和混合键合实现验证展望全年公司SFCBOU764在手订单充足新建产能逐步释放后续业绩有望持续增长研究助理陈宣霖chenxuanlincsccomcn事件发布日期2023年09月04日当前股价34650元公司发布2023年半年报2023H1公司实现营业收入1004亿元同比增长9183归母净利润125亿元同比增长1522扣主要数据股票价格绝对相对市场表现非后归母净利润065亿元同比增长3265其中Q2单季度实现营业收入601亿元同比增长4466归母净利润071亿元1个月3个月12个月同比下降4096扣非后归母净利润046亿元同比下降8971320-1707-144526813001356912月最高最低价元4551119916总股本万股1264788简评流通A股万股696487总市值亿元43825收入实现大幅增长剔除股份支付影响业绩依旧高增流通市值亿元24133订单充足新品导入顺利上半年营收高增2023H1公司实现营近3月日均成交量万15090业收入1004亿元同比增长9183其中PECVD设备实现收主要股东入908亿元同比增长9435营收占比超90营收实现高国家集成电路产业投资基金股份速增长主要系在手订单充足产品线不断完善新产品及1986有限公司新工艺经下游用户陆续验证导入销售收入放量增长股价表现从盈利能力角度来看公司毛净利率分别为49431250127同比267pct-787pct产品毛利率实现较好增长费用端来看772023H1公司期间费用率为4069同比391pct其中销售管理研发财务费用率分别为11439432093-11027同比-022pct488pct-153pct078pct管理费用率提升较-23大2023H1达095亿元同比增长29793主要系股份支付所致受股份支付影响公司整体盈利能力降幅较大202293020231312023228202333120234302023531202363020237312022831202210312022113020221231拓荆科技上证指数归结到利润端2023H1公司实现归母净利润125亿元同比增长1522扣非后归母净利润065亿元同比增长3265营相关研究报告收规模增长带动利润提升利润增速低于营收增速主要系确认股中信建投专用设备拓荆科技份支付费用126亿元剔除该部分影响后公司归母净利润和2023-04-23688072新品不断突破接单高速增长半导体设备系列报告扣非后归母净利润同比分别增长1291528368中信建投高端制造拓荆科技-U688072薄膜沉积主力产品大幅放2022-08-31量收入创新高同时利润同比扭亏半导体设备系列报告本报告由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和国仅为本报告目的不包括香港澳门台湾提供在遵守适用的法律法规情况下本报告亦可能由中信建投国际证券有限公司在香港提供同时请务必阅读正文之后的免责条款和声明拓荆科技A股公司简评报告在手订单充足后续业绩支撑强劲截至2023H1末公司存货3288亿元相比去年同期增长11037较23Q1增长2102合同负债1506亿元相比去年同期增长3859相比23Q1下降776存货和合同负债同比增长显著我们推测合同负债较Q1末下降主要系产品结构变化和支付节奏影响预计总体在手订单依旧可观研发创新投入持续推进各产品系列均取得突破公司持续深耕高端半导体工艺设备专注于薄膜沉积设备的创新研发2023H1公司研发投入达210亿元同比增长7877公司保持高强度研发投入开拓新产品及新工艺拓展已拥有多项自主知识产权和核心技术截至2023H1末公司累计申请专利960项含PCT获得专利298项已先后累计承担8项国家重大专项课题2023H1公司新增申请专利108项含PCT新增获得专利83项获批承担1项国家重大专项公司持续提升量产薄膜设备市场覆盖度推进混合键合设备产业化验证公司薄膜沉积设备性能优秀平均机台稳定运行时间Uptime超过90达到国际同类设备水平截至2023H1末在客户端产线生产产品的累计流片量已突破12亿片在客户产线验证通过的薄膜种类及性能指标类型持续增加工艺覆盖面不断提升不同产品系列均实现突破ALD和SACVD持续取得验收HDPCVD和混合键合实现验证1PECVD系列PECVD通用及先进介质薄膜材料均已实现产业化应用PECVDNF-300H型号设备已实现产业化应用可以沉积ThickTEOS等介质材料薄膜UVCureUVCureLok工艺设备实现首台产业化应用2ALD系列PE-ALDPE-ALDPF-300TAstra验证及拿单进展顺利PE-ALDNF-300HAstra设备实现首台产业化应用主要沉积较厚的PE-ALD薄膜具有高产低成本优势Thermal-ALDThermal-ALDPF-300TAltairTS-300Altair验证及拿单进展顺利可以沉积Al2O3等多种金属化合物薄膜材料3SACVD系列截至2023H1末公司可实现SATEOSBPSGSAF薄膜工艺沉积的SACVD设备均通过客户验证4HDPCVD系列已实现首台产业化应用可以沉积SiO2FSGPSG等介质材料薄膜5混合键合系列晶圆对晶圆键合Dione300实现首台产业化应用并获得重复订单芯片对晶圆键合表面预处理产品Pollux已出货至客户端进行产业化验证进展顺利高端半导体设备扩产项目ALD设备研发与产业化项目已建成为后续提供产能支撑截至2023H1末公司高端半导体设备扩产项目ALD设备研发与产业化项目已完成建设并投入使用超募项目半导体先进工艺装备研发与产业化项目已开始施工建设1高端半导体设备扩产项目项目总投资046亿元二期洁净厂房已完成建设并投入使用进一步提升薄膜沉积设备系列产品产能2ALD设备研发与产业化项目ALD薄膜沉积设备的研发与产业化基地总投资271亿元2023H1末厂房改造已经完成并投入使用开始推进ALD设备的研发与生产3半导体先进工艺装备研发与产业化项目上海临港新片区研发与产业化基地用于先进半导体薄膜沉积设备及工艺的研发项目总投资930亿元2023H1末已完成项目用地规划许可证和土地证的办理并开始施工建设投资建议请务必阅读正文之后的免责条款和声明1拓荆科技A股公司简评报告预计公司2023-2025年归母净利润分别为5007751096亿元同比分别增长357954824145对应2023-2025年PE估值分别为9257x5979x4227x维持买入评级重要财务指标202120222023E2024E2025E营业收入百万元75796170556283736399676524954YOY739912502663640863134净利润百万元6849368525004277473109582YOY6961043809357954824145毛利率44014927506150875120净利率9042161176419382087ROE574993119215661823EPS摊薄元054291396613866PE倍6763612570925759794227PB倍388412481104936770资料来源iFinD中信建投证券风险分析1终端消费市场复苏不及预期若AI3C汽车新能源等行业需求不达预期会影响晶圆代工厂及封测厂资本扩张进而影响半导体设备需求2国产设备进口替代不及预期若国产设备商在先进制程方面的突破不及预期将影响下游客户先进制程产线扩张从而影响国产设备需求3对华半导体制程限制加剧若地缘政治摩擦升级或将加剧对华半导体制程限制从而影响国内晶圆封测厂扩产最终影响国产半导体设备需求请务必阅读正文之后的免责条款和声明2拓荆科技A股公司简评报告吕娟分析师介绍董事总经理高端制造组组长机械首席分析师复旦大学经济学硕士法国EDHEC商学院金融工程交换生河海大学机械工程及自动化学士200707-201612曾就职于国泰君安证券研究所201701-201907曾就职于方正证券研究所曾获新财富金牛IAMAC水晶球第一财经WIND最佳分析师第一名陈宣霖研究助理chenxuanlincsccomcn请务必阅读正文之后的免责条款和声明3拓荆科技A股公司简评报告评级说明投资评级标准评级说明报告中投资建议涉及的评级标准为报告发布日后6买入相对涨幅15以上个月内的相对市场表现也即报告发布日后的6个增持相对涨幅515月内公司股价或行业指数相对同期相关证券市股票评级中性相对涨幅-55之间场代表性指数的涨跌幅作为基准A股市场以沪深减持相对跌幅515300指数作为基准新三板市场以三板成指为基准卖出相对跌幅15以上香港市场以恒生指数作为基准美国市场以标普强于大市相对涨幅10以上500指数为基准行业评级中性相对涨幅-10-10之间弱于大市相对跌幅10以上分析师声明本报告署名分析师在此声明i以勤勉的职业态度专业审慎的研究方法使用合法合规的信息独立客观地出具本报告结论不受任何第三方的授意或影响ii本人不曾因不因也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿法律主体说明本报告由中信建投证券股份有限公司及或其附属机构以下合称中信建投制作由中信建投证券股份有限公司在中华人民共和国仅为本报告目的不包括香港澳门台湾提供中信建投证券股份有限公司具有中国证监会许可的投资咨询业务资格本报告署名分析师所持中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格证书编号已披露在报告首页在遵守适用的法律法规情况下本报告亦可能由中信建投国际证券有限公司在香港提供本报告作者所持香港证监会牌照的中央编号已披露在报告首页一般性声明本报告由中信建投制作发送本报告不构成任何合同或承诺的基础不因接收者收到本报告而视其为中信建投客户本报告的信息均来源于中信建投认为可靠的公开资料但中信建投对这些信息的准确性及完整性不作任何保证本报告所载观点评估和预测仅反映本报告出具日该分析师的判断该等观点评估和预测可能在不发出通知的情况下有所变更亦有可能因使用不同假设和标准或者采用不同分析方法而与中信建投其他部门人员口头或书面表达的意见不同或相反本报告所引证券或其他金融工具的过往业绩不代表其未来表现报告中所含任何具有预测性质的内容皆基于相应的假设条件而任何假设条件都可能随时发生变化并影响实际投资收益中信建投不承诺不保证本报告所含具有预测性质的内容必然得以实现本报告内容的全部或部分均不构成投资建议本报告所包含的观点建议并未考虑报告接收人在财务状况投资目的风险偏好等方面的具体情况报告接收者应当独立评估本报告所含信息基于自身投资目标需求市场机会风险及其他因素自主做出决策并自行承担投资风险中信建投建议所有投资者应就任何潜在投资向其税务会计或法律顾问咨询不论报告接收者是否根据本报告做出投资决策中信建投都不对该等投资决策提供任何形式的担保亦不以任何形式分享投资收益或者分担投资损失中信建投不对使用本报告所产生的任何直接或间接损失承担责任在法律法规及监管规定允许的范围内中信建投可能持有并交易本报告中所提公司的股份或其他财产权益也可能在过去12个月目前或者将来为本报告中所提公司提供或者争取为其提供投资银行做市交易财务顾问或其他金融服务本报告内容真实准确完整地反映了署名分析师的观点分析师的薪酬无论过去现在或未来都不会直接或间接与其所撰写报告中的具体观点相联系分析师亦不会因撰写本报告而获取不当利益本报告为中信建投所有未经中信建投事先书面许可任何机构和或个人不得以任何形式转发翻版复制发布或引用本报告全部或部分内容亦不得从未经中信建投书面授权的任何机构个人或其运营的媒体平台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