核心观点：
　　订单量持续扩张，业绩实现高速增长。公司发布2023年一季报，23Q1公司营收6.16亿元，YoY+74.09%；归母净利润1.31亿元，YoY+2937%。毛利率54.61%，YoY+7.45pct，净利率21.26%，YoY+20.04pct。公司营收高速增长，主要受益于国内半导体下游行业设备需求的不断增加及公司产品的竞争优势，新客户拓展、新市场开发取得显著成效、新产品得到客户认可，订单量持续增长。业绩增长除营收、毛利高速增长外，公允价值变动也有较大贡献。23Q1公司合同负债9.44亿元，环比增加1.22亿元。
　　多元化布局成效显著，平台化拓宽未来成长空间。公司产品多元化进展显著，半导体设备平台化格局凸显。公司在清洗设备领域持续提升工艺和产品的覆盖度，不断强化领先优势，并且在电镀设备、立式炉等产品领域快速推进关键核心工艺的国产替代。同时，公司在高产能批式
　　ALD、前道涂胶显影设备、PECVD设备等新产品领域快速延伸，新品的市场和客户拓展稳步推进。新产品品类拓展带来公司可服务市场的显著扩容，公司未来成长空间广阔。
　　核心技术竞争力显著，优势地位不断强化。公司在新品开发与工艺改进等方面构筑了核心竞争优势，SAPS/TEBO/Tahoe/无应力抛光/多阳极电镀等核心技术的领先优势显著。同时，公司产品客户验证稳步推进，积累了众多国内外优质客户资源，随着公司“产品平台化、客户全球化”战略的推进，公司在半导体设备市场的优势地位有望不断强化。
　　盈利预测与投资建议。预计公司23-25年营业收入为39.69/52.65/65.47亿元，归母净利润8.65/10.58/13.55亿元，维持合理价值119.01元/股观点不变，维持“买入”评级。
　　风险提示。技术更新不及预期；市场竞争加剧；市场开拓不及预期。