芯源微发布2022年报，全年收入13.85亿元，同比+67.1%；归母净利润2亿元，同比+158.8%。公司全年新签订单22亿元，前道Track、清洗等新品持续拓展，维持“增持”评级。
　　2022年各产品线持续放量，全年收入业绩同比高增长。2022全年收入13.85亿元，同比+67.1%，其中涂胶显影设备收入7.57亿元，同比+49.6%，单片湿法设备收入5.5亿元，同比+90%；毛利率38.4%，同比+0.3ppt，其中涂胶显影毛利率34.7%，同比-3.3ppts，单片湿法设备毛利率39.2%，同比+3.7ppts；公司全年归母净利润2亿元，同比+158.8%；扣非归母净利润1.37亿元，同比+115%；全年扣非净利率为9.9%。非经常收益主要为政府补助、商业秘密维权赔偿金等。
　　全年新签订单同比高增长，当前在手订单较为饱满。公司2022全年新签订单22亿元，同比大幅增长。半导体设备成熟机台验证周期一般数个月，DEMO机台验证周期更长，公司在手订单较为饱满，前道offline、I-line、Krf等产品处于放量阶段，ArFi尚未规模量产，因此展望2023-2024年收入仍有望保持较高增长态势。
　　前道Track实现28nm以上制程全覆盖，清洗、封装、小尺寸产品不断迭代。1）前道Track：offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，22Q4推出ArFi机台并获得国内多家厂商订单，超高温Barc机台实现客户导入；ArFi新品于22Q4在国内某客户完成验证并顺利验收，公司目前前道Track实现28nm以上节点全覆盖；2）前道清洗：物理刷片清洗机Spin Scrubber成为国内晶圆厂baseline产品，2022全年销售近百套；公司在高产能清洗架构、颗粒去除能力等指标上实现进一步提升；化学清洗机研发测试在沈阳厂区进展顺利；3）先进封装：批量用于台积电、长电、华天、通富等厂商，全年销售超百台套，并加深与盛合晶微、长电绍兴、上海易卜等的合作；Chiplet催生更多后道涂胶显影、湿法类工艺需求，并且公司成功研发临时键合机、解键合机产品，正在客户端验证；4）化合物、MEMS、LED等小尺寸领域：全年销售超百台套，公司为三安集成的主力供应商，市场地位进一步巩固；在SiC领域，公司推出性价比更高6寸的涂胶显影机，满足产能>100WPH的光刻机联机产能。
　　产能持续扩张，零部件等供应链安全持续强化。产能方面，公司上海临港子公司厂区建设进入机电设备安装阶段，计划于23Q4投入生产；零部件方面，热盘和机械手已实现国产替代，胶泵等其他零部件国产替代加速进行。
　　投资建议。芯源微2022年新签订单22亿元，当前整体在手订单较为饱满，展望2023年，公司前道Track机台有望持续放量，收入将保持健康增长态势。我们预计公司2023/2024/2025年营收为18.75/24.11/29.44亿元，对应PS为14.3/11.6/9.1倍，预计归母净利润为2.47/3.09/4.52亿元，对应PE为108.6/87.0/59.5，维持“增持”评级。
　　风险提示：后续晶圆厂资本支出不达预期、客户验证及导入不及预期、新工艺研发进展不及预期、产能扩张进展不及预期的风险。