盛美上海作为国内领先的半导体湿法设备厂商，持续推进产品多元化战略布局，公司预期2023年全年的营业收入36.5~42.5亿人民币，同比+35.4%~76.0%，继续保持高速增长。我们预计未来国内晶圆厂对国产半导体设备的需求将显著提升，公司作为国内领先的平台型设备企业料将持续受益。考虑到公司依然处于快速成长期，我们给予公司2023年15倍PS，对应目标价135元，维持“买入”评级。
　　▍公司预计2023年全年营业收入36.5~42.5亿元，较2022年预期同比+35.4%~76.0%。根据公司公告，综合近年来的业务发展趋势，以及目前的订单等多方面情况，公司预计2023年全年的营业收入36.5~42.5亿人民币，符合我们此前预期。2022年初，公司披露2022年营业收入预计区间为3.45~3.85亿美元，折合人民币约24.15~26.95亿元。公司预计2023年营业收入实现同比增长35.4%~76.0%，对比2018-2021年CAGR 43.38%，2023年公司有望维持此前的高增速态势，主要原因之一是公司自成立以来，从聚焦单片兆声波清洗设备开始，根据市场需求不断扩展产品业务，到现在形成了集成电路专用清洗系列设备、前道铜互连及先进封装电镀设备、先进封装湿法设备和立式炉管设备等产品阵列，22Q4又陆续推出前道涂胶显影Track设备和PECVD设备等新产品，持续扩大产品类别，可覆盖市场空间显著提升。
　　▍新产品系列一：前道涂胶显影Track设备，Gartner预计2022年全球市场空间约37亿美元。盛美上海于2013年开发了首个封装涂胶机和显影机，并于2014年交付了给客户。根据公司公告，公司于2022年11月18日成功推出涂胶显影Track设备，将于几周后向中国国内客户交付首台ArF工艺涂胶显影Track设备，并将于2023年推出i-line型号设备。此外，公司已开始着手研发KrF型号设备。根据公司公开信息，盛美上海Track设备是一款应用于300毫米晶圆工艺的设备，共有4个适用于12英寸晶圆的装载口，8个涂胶腔体、8个显影腔体，将支持包括i-line、KrF和ArF系统在内的各种光刻工艺。Gartner预测，2022年全球Track市场规模将达37亿美元。鉴于全球逻辑及存储器制造商正在寻求第二供应商，我们预计此款产品会有较大机会占有一定的市场份额。
　　▍新产品系列二：进军PECVD市场，支持逻辑和存储芯片制造，全球市场规模约59亿美元。2022年12月12日，公司推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxPECVD设备，公司预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。该设备采用单腔体模块化设计，配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜均匀性，更小的薄膜应力和更少的颗粒特性。根据Gartner统计，CVD（PECVD、管式CVD、非管式LPCVD、MOCVD等）作为薄膜沉积设备的主要产品，在2021年全球薄膜沉积设备市场中占比约62%，其中PECVD设备占比最高，占整体薄膜沉积设备市场的31%，全球市场规模约为59亿美元。
　　▍湿法设备：湿法设备年新增出货约1000腔，新增金属剥离(MLO)功能扩大下游应用场景。湿法设备为公司的传统业务，公司预计2022年清洗设备销售量占比维持在70%左右。根据公司公告，2022年11月16日，盛美上海的湿法设备已顺利交付3000腔，其中，清洗设备工艺应用覆盖率已超过80%，未来有望超过90%，全部产品覆盖市场空间达到近85亿美元。2021年10月18日，盛美上海公告半导体湿法设备2000腔顺利交付，仅用一年左右的时间就达成湿法设备3000腔顺利交付的成就。此外，公司为Ultra C pr设备拓展了金属剥离(MLO)应用，以支持功率半导体制造和晶圆级封装(WLP)应用。MLO应用是一种形成晶圆表面图案化的方法，省去了蚀刻工艺步骤，可降低成本，缩短工艺流程，并减少高温化学品用量。
　　▍海外布局：公司积极扩展海外客户，持续推进全球化进程。海外客户方面，据公司11月披露已有1台ECP、3台PR清洗设备及1台单片清洗设备交付国际客户在中国的FAB厂，两台单片兆声波清洗设备已经交付美国头部客户，调试工作进行顺利。国际销售团队正在积极开拓中国台湾、韩国和欧洲大客户。同时，公司也将加快在韩国研发生产基地的建设，与国际客户展开全方位、多产品的战略合作，加快先进制程半导体设备在国际头部客户的导入及工艺验证。此外，根据公司公告，美国在2022年10月颁布的半导体出口新规对公司全球市场的开拓暂没有影响，因为新规没有限制国外客户。
　　▍未来发展：集中力量扩大产品类别，持续提升公司市场份额。公司从成立后致力于研发、生产和销售半导体单片晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备和立式炉管设备。目前公司还在持续研发新产品，根据公司公告，公司目前研发集中在湿法和干法设备领域，后续随着两项清洗设备新技术（超临界CO2干燥和IPA先进干燥）推出后，公司的可覆盖清洗步骤将达到90%。根据公司公告，未来2~3年公司的发展将围绕1）提高已有设备的市场覆盖度，2）增加可覆盖产品类别，实现在半导体设备领域的市场份额的提高，将差异化设备推向全世界。当前面临外部挑战的形势下，我们预期国内对集

研究报告全文：2023年有望延续高增速公司持续推出新品类加速成长盛美上海688082SH2023年经营业绩预测公告点评202314中信证券研究部核心观点盛美上海作为国内领先的半导体湿法设备厂商持续推进产品多元化战略布局公司预期2023年全年的营业收入365425亿人民币同比354760继续保持高速增长我们预计未来国内晶圆厂对国产半导体设备的需求将显著提升公司作为国内领先的平台型设备企业料将持续受益考虑到公司依然处于快速成长期我们给予公司2023年15倍PS对应目标价135元维持买入评级徐涛科技产业联席首席公司预计2023年全年营业收入365425亿元较2022年预期同比354分析师760根据公司公告综合近年来的业务发展趋势以及目前的订单等多方S1010517080003面情况公司预计2023年全年的营业收入365425亿人民币符合我们此前预期2022年初公司披露2022年营业收入预计区间为345385亿美元折合人民币约24152695亿元公司预计2023年营业收入实现同比增长354760对比2018-2021年CAGR43382023年公司有望维持此前的高增速态势主要原因之一是公司自成立以来从聚焦单片兆声波清洗设备开始根据市场需求不断扩展产品业务到现在形成了集成电路专用清洗系列设备前道铜互连及先进封装电镀设备先进封装湿法设备和立式炉管设备等王子源产品阵列22Q4又陆续推出前道涂胶显影Track设备和PECVD设备等新产品半导体分析师持续扩大产品类别可覆盖市场空间显著提升S1010521090002新产品系列一前道涂胶显影Track设备Gartner预计2022年全球市场空间约37亿美元盛美上海于2013年开发了首个封装涂胶机和显影机并于2014年交付了给客户根据公司公告公司于2022年11月18日成功推出涂胶显影Track设备将于几周后向中国国内客户交付首台ArF工艺涂胶显影Track设备并将于2023年推出i-line型号设备此外公司已开始着手研发KrF型号设备根据公司公开信息盛美上海Track设备是一款应用于300毫米晶圆工艺的设备共有4个适用于12英寸晶圆的装载口8个涂胶腔体8个显影腔体将支持包括i-lineKrF和ArF系统在内的各种光刻工艺Gartner预测2022年全球Track市场规模将达37亿美元鉴于全球逻辑及存储器制造商正在寻求第二供应商我们预计此款产品会有较大机会占有一定的市场份额新产品系列二进军PECVD市场支持逻辑和存储芯片制造全球市场规模约59亿美元2022年12月12日公司推出拥有自主知识产权的UltraPmaxPECVD设备公司预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备该设备采用单腔体模块化设计配置了自主知识产权的腔体气体分配装置和卡盘设计能够提供更好的薄膜均匀性更小的薄膜应力和更少盛美上海688082SH的颗粒特性根据Gartner统计CVDPECVD管式CVD非管式LPCVDMOCVD等作为薄膜沉积设备的主要产品在2021年全球薄膜沉积设备市场评级买入维持当前价8115元中占比约62其中PECVD设备占比最高占整体薄膜沉积设备市场的31目标价13500元全球市场规模约为59亿美元总股本434百万股湿法设备湿法设备年新增出货约腔新增金属剥离功能扩大下游流通股本75百万股1000MLO总市值352亿元应用场景湿法设备为公司的传统业务公司预计2022年清洗设备销售量占比近三月日均成交额194百万元维持在70左右根据公司公告2022年11月16日盛美上海的湿法设备52周最高最低价135566935元已顺利交付3000腔其中清洗设备工艺应用覆盖率已超过80未来有望近1月绝对涨幅163超过90全部产品覆盖市场空间达到近85亿美元2021年10月18日盛近6月绝对涨幅-1674美上海公告半导体湿法设备2000腔顺利交付仅用一年左右的时间就达成湿法近12月绝对涨幅-3650设备3000腔顺利交付的成就此外公司为UltraCpr设备拓展了金属剥离证券研究报告请务必阅读正文之后第4页起的免责条款和声明盛美上海年经营业绩预测公告点评688082SH2023202314MLO应用以支持功率半导体制造和晶圆级封装WLP应用MLO应用是一种形成晶圆表面图案化的方法省去了蚀刻工艺步骤可降低成本缩短工艺流程并减少高温化学品用量海外布局公司积极扩展海外客户持续推进全球化进程海外客户方面据公司11月披露已有1台ECP3台PR清洗设备及1台单片清洗设备交付国际客户在中国的FAB厂两台单片兆声波清洗设备已经交付美国头部客户调试工作进行顺利国际销售团队正在积极开拓中国台湾韩国和欧洲大客户同时公司也将加快在韩国研发生产基地的建设与国际客户展开全方位多产品的战略合作加快先进制程半导体设备在国际头部客户的导入及工艺验证此外根据公司公告美国在2022年10月颁布的半导体出口新规对公司全球市场的开拓暂没有影响因为新规没有限制国外客户未来发展集中力量扩大产品类别持续提升公司市场份额公司从成立后致力于研发生产和销售半导体单片晶圆及槽式湿法清洗设备电镀设备无应力抛光设备和立式炉管设备目前公司还在持续研发新产品根据公司公告公司目前研发集中在湿法和干法设备领域后续随着两项清洗设备新技术超临界CO2干燥和IPA先进干燥推出后公司的可覆盖清洗步骤将达到90根据公司公告未来23年公司的发展将围绕1提高已有设备的市场覆盖度2增加可覆盖产品类别实现在半导体设备领域的市场份额的提高将差异化设备推向全世界当前面临外部挑战的形势下我们预期国内对集成电路产业的政策支持以及本土需求将显著加速带动国产半导体制造设备需求稳定增长公司有望持续受益设备国产化趋势风险因素全球新冠疫情加剧的风险公司对客户订单执行情况不及预期的风险公司的新技术和设备未获得市场认可可能无法通过增强现有产品进行有效竞争等风险国际贸易争端加剧的风险行业内竞争加剧的风险盈利预测估值与评级考虑到为应对半导体制造及设备卡脖子的风险我们预计未来几年公司的主要客户仍处于持续扩产阶段且设备国产化进程将持续加速公司营收将稳步提升此外随着产能提升以及新产品的不断推出公司市场份额逐渐扩大净利润和毛利率预计也将显著提升我们维持公司20222324年营收预测268339045197亿元净利润预测为513680880亿元对应EPS预测为118157203元由于高研发投入和销量收入作为成长的主要导向半导体设备企业普遍采用PS估值A股中可比半导体设备公司北方华创中微公司芯源微拓荆科技华海清科华峰测控的2023年Wind一致预期的平均PS估值为104倍考虑到盛美上海在国内湿法设备领域处于技术领先公司积极进行平台化布局持续扩大产品品类未来成长空间较大此外当前半导体设备板块的估值处于相对低位公司上市至今的当年PS倍数在1340倍区间波动中值为24倍因此我们给予盛美上海2023年15倍PS目标价135元维持买入评级项目年度202020212022E2023E2024E营业收入百万元10071621268339045197营业收入增长率YoY331609656455331净利润百万元197266513680880净利润增长率YoY459353927326294每股收益EPS基本元050068118157203毛利率438425441446453净资产收益率ROE1885596113128每股净资产元2691111122913861589PE16231193688517400PB30273665951PS3492171319068EVEBITDA20241243631440334资料来源中信证券研究部预测注股价为年月日收盘价Wind202313请务必阅读正文之后的免责条款和声明2盛美上海年经营业绩预测公告点评688082SH2023202314利润表百万元资产负债表百万元指标名称202020212022E2023E2024E指标名称202020212022E2023E2024E营业收入10071621268339045197货币资金2713403289222842369营业成本566931150021622845存货6151443168927113728毛利率438425441446453应收账款25654277511421586税金及附加11233其他流动资产279419478536632销售费用106159236367483流动资产14225807583466738315销售费用率10598889493固定资产28394888891062管理费用5064102144187长期股权投资3052525252管理费用率5040383736无形资产6765656565财务费用328604944其他长期资产297375378383389财务费用率3205-22-13-08非流动资产42253098213881567研发费用141278419617832资产总计18446337681680619882研发费用率140172156158160短期借款17262000投资收益1197912应付账款29273375010811695EBITDA1752855618051062其他流动负债1314694807151040营业利润率22111653212519351881流动负债5951265123017962735营业利润223268570755978长期借款117146146146146营业外收入11011其他长期负债83111111111111营业外支出00100非流动性负债200258258258258利润总额223269570756978负债合计7951522148820532993所得税262577698股本390434434434434所得税率11809100100100资本公积3883845384538453845少数股东损益00000归属于母公司所10494815532860086888有者权益合计归属于母公司股197266513680880东的净利润少数股东权益00000净利率195164191174169股东权益合计10494815532860086888负债股东权益总18446337681680619882计现金流量表百万元主要财务指标指标名称202020212022E2023E2024E指标名称202020212022E2023E2024E税后利润197266513680880增长率折旧和摊销8175199127营业收入331609656455331营运资金的变化-281-504-505-886-622营业利润4362031128325295其他经营现金流-1232-102-95-75净利润459353927326294经营现金流合计-88-189-43-202311利润率资本支出-355-60-500-500-300毛利率438425441446453投资收益1197912EBITDAMargin174176209206204其他投资现金流94-29273619净利率195164191174169投资现金流合计-260-70-466-455-269回报率权益变化03511000净资产收益率1885596113128负债变化207-74-6200总资产收益率10742758489股利支出00000其他其他融资现金流-19-42604944资产负债率431240218255303融资现金流合计1893395-14944所得税率11809100100100现金及现金等价-1603136-511-60885物净增加额股利支付率0000000000资料来源公司公告中信证券研究部预测请务必阅读正文之后的免责条款和声明3分析师声明主要负责撰写本研究报告全部或部分内容的分析师在此声明i本研究报告所表述的任何观点均精准地反映了上述每位分析师个人对标的证券和发行人的看法ii该分析师所得报酬的任何组成部分无论是在过去现在及将来均不会直接或间接地与研究报告所表述的具体建议或观点相联系一般性声明本研究报告由中信证券股份有限公司或其附属机构制作中信证券股份有限公司及其全球的附属机构分支机构及联营机构仅就本研究报告免责条款而言不含CLSAgroupofcompanies统称为中信证券本研究报告对于收件人而言属高度机密只有收件人才能使用本研究报告并非意图发送发布给在当地法律或监管规则下不允许向其发送发布该研究报告的人员本研究报告仅为参考之用在任何地区均不应被视为买卖任何证券金融工具的要约或要约邀请中信证券并不因收件人收到本报告而视其为中信证券的客户本报告所包含的观点及建议并未考虑个别客户的特殊状况目标或需要不应被视为对特定客户关于特定证券或金融工具的建议或策略对于本报告中提及的任何证券或金融工具本报告的收件人须保持自身的独立判断并自行承担投资风险本报告所载资料的来源被认为是可靠的但中信证券不保证其准确性或完整性中信证券并不对使用本报告或其所包含的内容产生的任何直接或间接损失或与此有关的其他损失承担任何责任本报告提及的任何证券或金融工具均可能含有重大的风险可能不易变卖以及不适合所有投资者本报告所提及的证券或金融工具的价格价值及收益可跌可升过往的业绩并不能代表未来的表现本报告所载的资料观点及预测均反映了中信证券在最初发布该报告日期当日分析师的判断可以在不发出通知的情况下做出更改亦可因使用不同假设和标准采用不同观点和分析方法而与中信证券其它业务部门单位或附属机构在制作类似的其他材料时所给出的意见不同或者相反中信证券并不承担提示本报告的收件人注意该等材料的责任中信证券通过信息隔离墙控制中信证券内部一个或多个领域的信息向中信证券其他领域单位集团及其他附属机构的流动负责撰写本报告的分析师的薪酬由研究部门管理层和中信证券高级管理层全权决定分析师的薪酬不是基于中信证券投资银行收入而定但是分析师的薪酬可能与投行整体收入有关其中包括投资银行销售与交易业务若中信证券以外的金融机构发送本报告则由该金融机构为此发送行为承担全部责任该机构的客户应联系该机构以交易本报告中提及的证券或要求获悉更详细信息本报告不构成中信证券向发送本报告金融机构之客户提供的投资建议中信证券以及中信证券的各个高级职员董事和员工亦不为前述金融机构之客户因使用本报告或报告载明的内容产生的直接或间接损失承担任何责任评级说明投资建议的评级标准评级说明报告中投资建议所涉及的评级分为股票评级和行业评级买入相对同期相关证券市场代表性指数涨幅20以上另有说明的除外评级标准为报告发布日后6到12个增持相对同期相关证券市场代表性指数涨幅介于520之间月内的相对市场表现也即以报告发布日后的6到12个股票评级月内的公司股价或行业指数相对同期相关证券市场代持有相对同期相关证券市场代表性指数涨幅介于-105之间表性指数的涨跌幅作为基准其中A股市场以沪深300卖出相对同期相关证券市场代表性指数跌幅10以上指数为基准新三板市场以三板成指针对协议转让标的或三板做市指数针对做市转让标的为基准香港市场强于大市相对同期相关证券市场代表性指数涨幅10以上以摩根士丹利中国指数为基准美国市场以纳斯达克综合行业评级中性相对同期相关证券市场代表性指数涨幅介于-1010之间指数或标普500指数为基准韩国市场以科斯达克指数或韩国综合股价指数为基准弱于大市相对同期相关证券市场代表性指数跌幅10以上4特别声明在法律许可的情况下中信证券可能1与本研究报告所提到的公司建立或保持顾问投资银行或证券服务关系2参与或投资本报告所提到的公司的金融交易及或持有其证券或其衍生品或进行证券或其衍生品交易因此投资者应考虑到中信证券可能存在与本研究报告有潜在利益冲突的风险本研究报告涉及具体公司的披露信息请访问httpsresearchciticsinfocomdisclosure法律主体声明本研究报告在中华人民共和国香港澳门台湾除外由中信证券股份有限公司受中国证券监督管理委员会监管经营证券业务许可证编号Z20374000分发本研究报告由下列机构代表中信证券在相应地区分发在中国香港由CLSALimited于中国香港注册成立的有限公司分发在中国台湾由CLSecuritiesTaiwanCoLtd分发在澳大利亚由CLSAAustraliaPtyLtd商业编号53139992331金融服务牌照编号350159分发在美国由CLSACLSAAmericasLLC除外分发在新加坡由CLSASingaporePteLtd公司注册编号198703750W分发在欧洲经济区由CLSAEuropeBV分发在英国由CLSAUK分发在印度由CLSAIndiaPrivateLimited分发地址8FDalamalHouseNarimanPointMumbai400021电话91-22-66505050传真91-22-22840271公司识别号U67120MH1994PLC083118在印度尼西亚由PTCLSASekuritasIndonesia分发在日本由CLSASecuritiesJapanCoLtd分发在韩国由CLSASecuritiesKoreaLtd分发在马来西亚由CLSASecuritiesMalaysiaSdnBhd分发在菲律宾由CLSAPhilippinesInc菲律宾证券交易所及证券投资者保护基金会员分发在泰国由CLSASecuritiesThailandLimited分发针对不同司法管辖区的声明中国大陆根据中国证券监督管理委员会核发的经营证券业务许可中信证券股份有限公司的经营范围包括证券投资咨询业务中国香港本研究报告由CLSALimited分发本研究报告在香港仅分发给专业投资者证券及期货条例香港法例第571章及其下颁布的任何规则界定的不得分发给零售投资者就分析或报告引起的或与分析或报告有关的任何事宜CLSA客户应联系CLSALimited的罗鼎电话85226007233美国本研究报告由中信证券制作本研究报告在美国由CLSACLSAAmericasLLC除外仅向符合美国1934年证券交易法下15a-6规则界定且CLSAAmericasLLC提供服务的主要美国机构投资者分发对身在美国的任何人士发送本研究报告将不被视为对本报告中所评论的证券进行交易的建议或对本报告中所述任何观点的背书任何从中信证券与CLSA获得本研究报告的接收者如果希望在美国交易本报告中提及的任何证券应当联系CLSAAmericasLLC在美国证券交易委员会注册的经纪交易商以及CLSA的附属公司新加坡本研究报告在新加坡由CLSASingaporePteLtd仅向新加坡财务顾问规例界定的机构投资者认可投资者及专业投资者分发就分析或报告引起的或与分析或报告有关的任何事宜新加坡的报告收件人应联系CLSASingaporePteLtd地址80RafflesPlace18-01UOBPlaza1Singapore048624电话6564167888因您作为机构投资者认可投资者或专业投资者的身份就CLSASingaporePteLtd可能向您提供的任何财务顾问服务CLSASingaporePteLtd豁免遵守财务顾问法第110章财务顾问规例以及其下的相关通知和指引CLSA业务条款的新加坡附件中证券交易服务C部分所披露的某些要求MCIP085112021加拿大本研究报告由中信证券制作对身在加拿大的任何人士发送本研究报告将不被视为对本报告中所评论的证券进行交易的建议或对本报告中所载任何观点的背书英国本研究报告归属于营销文件其不是按照旨在提升研究报告独立性的法律要件而撰写亦不受任何禁止在投资研究报告发布前进行交易的限制本研究报告在英国由CLSAUK分发且针对由相应本地监管规定所界定的在投资方面具有专业经验的人士涉及到的任何投资活动仅针对此类人士若您不具备投资的专业经验请勿依赖本研究报告欧洲经济区本研究报告由荷兰金融市场管理局授权并管理的CLSAEuropeBV分发澳大利亚CLSAAustraliaPtyLtdCAPL商业编号53139992331金融服务牌照编号350159受澳大利亚证券与投资委员会监管且为澳大利亚证券交易所及CHI-X的市场参与主体本研究报告在澳大利亚由CAPL仅向批发客户发布及分发本研究报告未考虑收件人的具体投资目标财务状况或特定需求未经CAPL事先书面同意本研究报告的收件人不得将其分发给任何第三方本段所称的批发客户适用于公司法2001第761G条的规定CAPL研究覆盖范围包括研究部门管理层不时认为与投资者相关的ASXAllOrdinaries指数成分股离岸市场上市证券未上市发行人及投资产品CAPL寻求覆盖各个行业中与其国内及国际投资者相关的公司印度CLSAIndiaPrivateLimited成立于1994年11月为全球机构投资者养老基金和企业提供股票经纪服务印度证券交易委员会注册编号INZ000001735研究服务印度证券交易委员会注册编号INH000001113和商人银行服务印度证券交易委员会注册编号INM000010619CLSA及其关联方可能持有标的公司的债务此外CLSA及其关联方在过去12个月内可能已从标的公司收取了非投资银行服务和或非证券相关服务的报酬如需了解CLSAIndia关联方的更多详情请联系Compliance-Indiaclsacom未经中信证券事先书面授权任何人不得以任何目的复制发送或销售本报告中信证券2023版权所有保留一切权利5