投资要点：前三季度扣非后归母净利润同比增403.62%；在手订单总额达46.44亿元，快速增长；新产品不断推出。
　　2022年前三个季度扣非后归母净利润达4.81亿元，同比增403.62%。盛美上海主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管设备和先进封装湿法设备等。22Q3单季度实现收入8.83亿元，同比增90.87%；归母净利润2.04亿元，同比增245.91%；扣非后归母净利润2.23亿元，同比增379.24%。2022年Q1-Q3收入合计19.78亿元，同比增81.86%；归母净利润4.41亿元，同比增196.42%；扣非后归母净利润4.81亿元，同比增403.62%，增长十分迅速。
　　在手订单饱满，增长明显。根据公司《关于前三季度经营情况暨在手订单情况的自愿性披露公告》，受益于技术优势和产品多元化战略布局，以及市场对公司半导体设备的强劲需求，截止2022年9月30日在手订单总金额为46.44亿元（含已签订合同及已中标尚未签订合同金额），较2021年同期增长105.32%，订单量快速增长。
　　推出SiC衬底、硅片制造用新型Post-CMP清洗设备。根据盛美上海微信公众号报道，2022年7月14日，公司推出新型Post-CMP清洗设备，也是第一款Post-CMP清洗设备，用于制造高质量衬底化学机械研磨（CMP）工艺之后的清洗。该清洗设备6英寸和8英寸的配置适用于SiC衬底制造；8英寸和12英寸配置适用于硅片制造。设备有湿进干出（WIDO）和干进干出（DIDO）两种配置，并可选配2/4/6个腔体，拥有每小时60片晶圆的最大产能（WPH）。我们认为，这类设备的推出将充分受益于国内硅片、SiC衬底制造商的产能扩充而增长明显。
　　立式炉产品系列不断完善。根据盛美上海微信公众号报道，2022年9月28日公司宣布对300mm Ultra Fn立式炉干法工艺平台进行功能拓展，研发出新型Ultra Fn A立式炉设备，该设备的应用丰富了热原子层沉积（ALD）功能，可沉积氮化硅（SiN）和碳氮化硅（SiCN）薄膜。首台Ultra Fn A立式炉设备已于9月底运往中国一家先进的逻辑制造商，计划于2023年底通过验证。
　　盈利预测与估值。我们预计公司2022E-2024E收入分别为27.58亿元、36.12亿元、47.44亿元；归母净利润分别为5.96亿元、7.70亿元、10.01亿元。采用PE估值方法，结合可比公司平均PE（2022E）估值为90.15倍，给予公司PE（2022E）65x~80x，对应合理市值区间为387.30亿元~476.68亿元，对应合理价值区间89.33元/股~109.95元/股，维持“优于大市”评级。
　　风险提示：技术研发不及预期、市场拓展不及预期、下游客户资本开支不及预期、宏观经济下行带来终端需求下滑、中美贸易摩擦加剧等。