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>> 华泰证券-阿斯麦(ASML.US)High NA四项公告点评:三星2028年DRAM量产是最大增量-260909
上传日期:   2026/9/9 大小:   938KB
格式:   pdf  共7页 来源:   华泰证券
评级:   -- 作者:   黄乐平,陈旭东,于可熠
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ASML于9月8日围绕High NA发布四项进展:三星计划最迟2028年将High NA用于DRAMHVM(大批量生产);Intel披露累计处理晶圆超100万片;ASML与台积电共同推动6×12英寸大尺寸光罩,台积电计划2030年开始High NAHVM;BICNorth新园区同日动工。我们认为,最大增量是三星2028年之前使用High NA量产:High NA此前已在Intel先进逻辑量产,这次首次获得存储客户明确的HVM时间表。此外,大尺寸光罩则更偏2030年后的效率升级,四项公告均未披露系统采购数量或金额,我们维持2026–2028E盈利预测与买入评级,维持2,500美元目标价。
  观点一:三星2028年DRAM量产是最大增量
  三星计划最迟2028年将High NA用于未来DRAMHVM,我们认为是本次最重要的信息。其一,这是存储客户首次明确High NA量产时间,台积电则从2030年开始。其二,DRAM有明确的技术经济性:三星称更高分辨率可简化工艺、提升效率,我们认为0.55NA单次曝光可替代部分0.33NA多重曝光,减少工艺步骤并改善成本、缺陷率、良率和周期时间。其三,我们认为DRAM重复阵列更容易规避half-field stitching,因此相比逻辑具备较早导入的可行性。
  观点二:DRAM比逻辑更易导入High NA,关键在于规避stitching
  High NA沿扫描方向一次只能覆盖传统full field的一半,大尺寸逻辑芯片若跨过边界,需要两次曝光后再stitching。Intel公告中也确认,现有6英寸光罩配合floor-planning或stitching/PDK已可量产High NA。而DRAM阵列高度重复,更容易把half-field边界落在器件之间:ASML在本月SEMICONTaiwan演讲表示,DRAM偶数行无需stitching,仅奇数行需要;逻辑侧则需规划175微米stitching compensation zone,版图约束更复杂。因此,DRAM比逻辑更易导入High NA,关键在于stitching需求更少。
  观点三:推动大尺寸光罩核心是取消stitching,提高有效产能
  ASML本次与台积电共同推动6×12英寸大尺寸光罩开发和产业导入,三星也宣布加入。其核心是让High NA一次覆盖完整full field、取消stitching。据ASML,EXE:5200B无/有stitching吞吐量相差约三成,我们将其视为stitching效率损失的参考量级。展望后续,pilot line目标2031年、先进节点生产目标2033年,看好长期效率升级。
  盈利预测与估值
  我们维持预测,预计ASML 2026/2027/2028年收入分别为400.3/508.1/575.4亿欧元(同比+22.6%/+26.9%/+13.2%),归母净利润为127.5/173.8/203.9亿欧元(同比+32.7%/+36.4%/+17.3% ),对应EPS分别为33.13/45.17/ 52.98欧元。参考可比公司30x 2027EPE,考虑到ASML在EUV光刻机领域的垄断地位,High-NA量产导入取得进展,且公司产能扩张迅速,给予48.7x 2027EPE估值,对应目标价2500美元(汇率USD/EUR=0.88),给予“买入”评级。
  风险提示:AI及先进制程需求不及预期,客户扩产进度低于预期,EUV/High-NA研发及量产进展不及预期,出口管制进一步收紧。
  
 
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