投资要点
　　AI拉动Fab厂扩产，全球半导体设备行业景气向上。AI拉动算力芯片、存储等需求旺盛，全球头部Fab厂扩产预期可观。台积电上调全年资本开支至600-640亿美元，三星电子、SK海力士、美光科技等存储大厂资本开支乐观，扩产规模庞大，共同拉动全球半导体设备行业景气向上。根据SEMI数据，2026年，全球晶圆制造设备市场规模将达到1439亿美元，预计2028年将增长到2000亿美元的历史高位，其中，先进制程、NAND、DRAM的设备需求将持续增长。
　　中国大陆存储扩产拉动设备需求，国产化进程稳步推进。中国大陆存储厂扩产规模可观，对薄膜沉积、刻蚀、清洗等较高国产化率的设备品类有望起到立竿见影的拉动作用，而对于光刻、Track、离子注入等国产化率较低的设备品类，还会叠加一个国产替代逻辑。根据沙利文数据，2020-2029年，中国大陆半导体设备市场规模预计将从1291.7亿元增长到4849.5亿元，CAGR 15.8%。同时，设备行情向上传导，供应链安全推动设备零部件国产化替代，中国大陆半导体设备零部件公司预计将受益。
　　投资建议：存储行业景气向上，中国大陆存储厂扩产潜力可观，叠加国产替代逻辑，上游半导体设备及零部件预计将受益，建议关注北方华创、中微公司、拓荆科技、华海清科、中科飞测、芯源微、富创精密、珂玛科技等。
　　风险提示：（1）下游扩产不及预期的风险。（2）中国大陆部分设备类别突破不及预期的风险。（3）供应链安全风险。