核心观点
　　2023年上半年公司营收同比增长28%，其中刻蚀设备、MOCVD设备同比分别增长33%、24%，刻蚀设备增速更高；业绩实现高增，主要系公司出售部分持有拓荆股票。截至2023H1存货38.1亿元，同比+53.0%，合同负债18.0亿元，同比+13.2%，预计在手订单持续增长。公司核心产品进展不断，刻蚀设备CCP竞争力增强，ICP多个产品进展迅速，预计工艺覆盖率将达到50%-70%；MOCVD设备保持领先地位，积极开拓新领域；薄膜沉积设备新产品不断突破，全面拓展先进金属CVD和ALD设备产品市场。
　　事件
　　2023年上半年，公司实现营业收入25.27亿元，同比增长28.13%，归母净利润10.03亿元，同比增长114.40%，扣非后归母净利润5.19亿元，同比增长17.75%。其中，Q2单季度实现营业收入13.03亿元，同比增长27.46%，归母净利润7.28亿元，同比增长107.53%，扣非后归母净利润2.91亿元，同比增长14.46%。
　　简评
　　Q2业绩符合预期，预计在手订单维持增长
　　营收稳健增长，利润受益出售拓荆股票大幅增长。营收端，2023H1公司营收25.27亿元，同比+28.13%，其中Q2单季度实现营收13.03亿元，同比+27.46%。营收稳健增长，主要得益于公司拳头产品刻蚀设备市占率不断提升，上半年营收增长32.53%，CCP设备已实现多次批量销售，ICP设备不断核准更多刻蚀应用，迅速扩大市场并不断得到领先客户的批量订单，另一大主打产品MOCVD保持领先地位，上半年营收增长24.11%。利润端，上半年归母净利润10.03亿元，同比+114.40%，扣非后归母净利润5.19亿元，同比+17.75%，毛、净利率分别为45.89%、39.67%，同比分别+0.52pct、+16.01pct，扣非后净利率20.54%，同比-1.81pct；其中Q2单季度实现归母净利润7.28亿元，同比+107.53%，扣非后归母净利润2.91亿元，同比+14.46%，毛、净利率分别为45.90%、55.80%，同比分别+0.63pct、+21.62pct，扣非后净利率22.33%，同比-2.54pct，归母净利润高增主要系上半年公司出售部分持有的拓荆科技股票，产生税后净收益约4.06亿元。
　　存货、合同负债同比提升，预计在手订单维持增长。截至2023H1存货38.05亿元，相比去年同期+52.98%，相比2022年底+11.85%；合同负债18.05亿元，相比去年同期+13.20%，相比2022年底-17.77%。其中合同负债相比2022年底略有下滑我们推测主要系产品结构变化影响，付款条件更好的MOCVD设备在订单中比例下降，预计公司在手订单维持良好增长。
　　核心产品刻蚀与MOCVD设备竞争力持续提升，薄膜沉积设备加速布局
　　刻蚀设备：CCP竞争力增强，ICP进展迅速。2023H1刻蚀设备收入17.22亿元，同比+32.53%，毛利率达46.16%，同比+0.11pct。（1）CCP：公司CCP设备已对28 nm以上的绝大部分应用和28nm及以下的大部分应用形成较为全面的覆盖。截至2023Q2，已累计生产付运超过2500个CCP刻蚀反应台。逻辑领域，应用于28nm及以下的大马士革刻蚀工艺的SD-RIE进入客户验证阶段，存储领域，超高深宽比刻蚀机已在客户端验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的能力。（2）ICP：公司产品已在50多个客户的生产线上量产，持续进行更多刻蚀应用的验证。Nanova VEHP和LUX新产品推出后，公司未来工艺覆盖率有望扩展到50%-70%，目前VEHP在DRAM的高深宽比的多晶硅掩膜应用，已在客户产线上认证成功，LUX也发货至多个客户产线验证。Twin-Star在海内外客户的逻辑芯片、汽车功率器件Power Device、微型发光二极管Micro-LED、AR眼镜用的超透镜Meta Lens等特色器件的产线上实现量产并取得重复订单。深硅刻蚀设备在晶圆级先进封装、2.5D封装和微机电系统芯片生产线等成熟市场继续获得重复订单，在12英寸3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证，并在欧洲客户新建的12英寸微机电系统芯片产线获得认证机会。
　　MOCVD设备：保持领先地位，积极开拓新领域。2023H1 MOCVD设备收入2.99亿元，同比+24.11%，毛利率达37.90%，同比+2.48pct。公司持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，并开启新领域拓展，针对Micro-LED应用的专用MOCVD设备正开发中。公司已启动碳化硅功率器件外延生产设备，后续将与潜在客户合作开展实验室样品测试，并于2023年内交付样机至客户端验证。
　　薄膜沉积设备：全面拓展先进金属CVD和ALD设备。公司首台CVD钨设备2022年底付运关键存储客户端验证评估，如期完成多道工艺验证，更多应用正在验证当中。另外，公司开发了新型号CVD钨和ALD钨设备，以实现更高深宽比结构的材料填充，已通过关键客户实验室测试，首台量产验证机已在客户端进行测试。ALD氮化钛设备也取得重大进展，预期在2023年下半年发往客户端进行量产验证。
　　投资建议
　　预计公司2023-2025年实现归母净利润分别为17.58、18.86、23.37亿元，同比分别增长50.28%、7.30%、23.88%，对应PE分别为45.91x、42.79x、34.54x，维持“买入”评级。
　　风险分析
　　（1）下游扩产不及预期：公司客户包含国内外知名厂商，若疫情、行业周期下行等导致下游投资、扩产意