1Q23业绩高增，在手订单充裕，股权激励彰显公司长期信心
　　盛美上海23Q1实现营收6.16亿元（yoy+74.09%），归母净利润1.31亿元(yoy+2937.19%)；受益于产品组合优化，毛利率提升至54.61%（yoy+7.45pcts，qoq+1.46pcts）；1Q公司合同负债环比增加1.2亿元至9.44亿元。展望2023，公司预计全年营业收入在36.5亿-42.5亿（中值yoy+37.5%），高增长主要受益于1）公司清洗设备已覆盖90%以上工艺；2）炉管设备有望迎来增长周期；3）海内外客户渗透率提升。我们维持23/24/25年收入预测37.2/46.0/58.9亿元，考虑到股权激励费用影响，调整对应归母净利润至5.7/6.6/10.1亿元。我们以行业Wind一致预期均值10.1x 23PS为基础给一定的溢价，基于14.7倍23年PS，维持买入及目标价126.5元。
　　2023展望：炉管有望迎来良好产品周期，长期看好平台化与海外市场拓展
　　展望2023，公司预计全年营业收入在36.5亿到42.5亿之间（中值yoy+37.5%）。22年底ArFTrack设备已经送往客户端验证，公司预计23年将交付首台PECVD设备，下半年将交付i-line的型号设备，此外，公司也已经开始着手研发KrF型号的设备。公司成功将立式炉管ALD设备推向国内的两家关键客户及与海外重点客户的合作推进，未来ALD、Track及PECVD有望迎来良好的产品周期并贡献公司收入增长。长期我们看好公司清洗、电镀、先进封装湿法、炉管、涂胶显影、PECVD六大业务平台化布局及海外市场拓展。
　　公司发布2023年限制性股票激励计划，彰显长期增长信心
　　公司拟授予1,331万股限制性股票，约占总股本3.07%：授予对象515人，覆盖公司员工总数的42.95%。本次激励计划考核年度为2023-2026年，考核指标(A)营业收入增长率累计值（对标企业为Gartner公布的全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司）（B）各考核年度的专利申请数，公司预计2023-2027年股权激励费用分别为2.02/2.51/1.35/0.67/0.18亿元。我们认为公司股权激励计划一方面显示公司对六大平台齐发力稳健成长的信心，另一方面有利于调动核心团队积极性，增强研发团队凝聚力。
　　维持买入及目标价126.5元
　　考虑到公司新品进展顺利及毛利率提升，我们维持23/24/25年收入预测37.2/46.0/58.9亿元，考虑到股权激励费用影响，调整对应归母净利润至5.7/6.6/10.1亿元。维持“买入”，考虑到公司涂胶显影、PECVD未来对收入的提升，我们以行业Wind一致预期均值10.1x 23PS为基础给一定的溢价，基于14.7倍23年PS，维持买入及目标价126.5元。
　　风险提示：中美贸易摩擦加剧、清洗设备竞争加剧。