核心观点
　　2022年公司各版块业务均取得大幅增长，营收、利润均实现高增，电子工艺设备板块带动盈利能力稳步提升，全年新接合同41.34亿元，同比增长53%，为后续业绩提供保障。进入2023Q1，公司新签及在手订单仍保持较高速增长，公司三位一体服务已取得初步成效，展望全年，CAPEX业务期待下游光伏及半导体行业扩产和鸿舸半导体GASBOX业务快速增长，OPEX业务关注气体业务产能扩张落地带来的规模增长，全年业绩表现值得期待。
　　事件
　　①公司发布2022年年报，2022年公司实现营业收入27.05亿元，同比增长47.26%，归母净利润2.59亿元，同比增长53.61%，扣非归母净利润2.14亿元，同比增长55.87%。其中，Q4单季度实现营收9.01亿元，同比增长49.75%，归母净利润1.21亿元，同比增长99.33%，扣非归母净利润0.87亿元，同比增长92.60%。②公司发布2023年一季报，2023Q1公司实现营业收入4.11亿元，同比增长13.42%；归母净利润0.11亿元，同比下降0.97%；扣非归母净利润0.07亿元，同比增长119.11%。
　　简评
　　业绩持续高增长，订单支撑强劲
　　营业收入高速增长，电子工艺设备为主要来源。下游太阳能光伏和平板显示行业发展提速，2022年公司实现营业收入27.05亿元，同比增长47.26%，实现大幅增长。2022年新签合同达41.34亿元，同比增长53%，订单支撑强劲。营收分产品来看，公司电子工艺设备、生物制药设备、电子气体、MRO业务分别实现营收18.99、3.45、2.43、2.15亿元，同比分别+47.92pct、+105.43pct、+38.09pct、+14.50pct，传统业务电子工艺设备为主要收入来源。营收分下游来看，2022年公司集成电路、光伏、生物医药、显示、化合物半导体领域营收分别为10.76、7.90、3.77、1.37、1.07亿元，同比分别+131.90pct、+24.47pct、+102.30pct、-42.09pct、+9.27pct。2022年公司集成电路、光伏领域营收占比分别为39.79%、29.22%，同比分别+14.53pct、-5.35pct，集成电路领域营收占比持续提升，成为公司主要收入来源。
　　电子工艺设备毛利率提升带动整体盈利能力改善。从盈利能力角度来看，公司毛、净利率分别为27.46%、9.66%，同比分别+1.28pct、+0.50pct，分产品来看，电子工艺设备、生物制药设备、电子气体、MRO业务毛利率分别为27.66%、24.35%、17.73%、41.29%，同比+2.85pct、-1.10pct、-1.98pct、+0.65pct，电子工艺设备带动公司整体盈利能力提升。分下游来看，2022年公司光伏、集成电路、生物医药、化合物半导体及显示领域毛利率分别为31.31%、25.72%、25.14%、24.33%、20.14%，同比分别+7.10pct、-4.21pct、-4.14pct、-0.95pct、-2.52pct，光伏领域毛利率实现较大幅增长。
　　费用端来看，2022年公司期间费用率为17.41%，同比+1.26pct，其中销售、管理、研发、财务费用率分别为1.77%、9.82%、5.54%、0.28%，同比分别-0.45pct、-0.05pct、+1.28pct、+0.48pct，公司加强运营管理，销售及管理费用率均有所下降，同时持续加大研发投入，推进技术拓展更新与产业升级，2022年研发投入达1.50亿元，同比增长91.65%。归结到利润端，2022年公司归母净利润为2.59亿元，同比+53.61%，扣非归母净利润达2.14亿元，同比+55.87%；2022年期权激励造成的股份支付费用0.40亿元，剔除股份支付的因素，公司实现归母净利润2.98亿元，同比增长64.77%，扣非归母净利润2.54亿元，同比增长69.13%，盈利能力大幅提升。
　　Q1营收小幅增长，合同负债持续提升
　　2023Q1收入小幅增长，研发投入持续加大。2023Q1公司营收4.11亿元，同比增长13.42%，一季度为公司经营淡季，在2023年1月疫情影响尚未完全消除的情况下，公司营收仍实现小幅增长。归母净利润0.11亿元，同比下降0.97%，主要由于2022年一季度政府补助约769.78万元，导致2022Q1归母净利润基数相对较高导致。从盈利能力来看，公司毛、净利率分别31.35%、3.64%，同比分别+7.07pct、+0.36pct。一季度公司期间费用率同比+7.19pct，其中研发费用率同比+3.87pct，持续加大研发投入。
　　新签及在手订单大幅增长，业绩支撑强劲。2023年一季度公司新签合同14.79亿元，同比增长25.9%。截至2023年一季度末，公司合同负债达14.25亿元，相比2022年底增长28.17%，在手订单支撑强劲，预计公司2023年营收仍将维持高速增长。
　　CAPEX业务：电子工艺设备横向扩张初见成效，生物制药设备蓬勃发展
　　①电子工艺设备：下游扩产支撑业绩增长，GASBOX贡献新收入增长极。2022年公司电子工艺设备营收18.99亿元，同比增长47.92%，收入占比达84.64%，为公司现阶段主要收入来源，分为高纯介质供应系统（传统主营业务）与泛半导体工艺设备模块与子系统（2022年新开发业务）两块业务，具体而言：
　　1）高纯介质供应系统：公司产品已具备国际竞争力，长期服务国内包括中芯国际、海力士、长江存储、京东方、惠科、通威、隆基、三安等在内的头部泛半导体行业客户。下游IC、光伏扩产持续，公司高纯介质供应系统业务有望维持较高增速。
　　2）泛半导体