22年业绩保持高速成长。公司披露22年年度报告，实现营业收入27.0亿元，同比+47.3%；归母净利润2.6亿元，同比+53.6%；扣非净利润2.1亿元，同比+55.9%；若剔除股份支付影响，扣非净利润为2.5亿元，同比+69.1%；综合毛利率为27.5%，同比+1.3pct。
　　23Q1收入确认季节性波动，但扣非利润大幅增长。公司披露23年一季报，实现营业收入4.1亿元，同比+13.4%；归母净利润0.1亿元，同比-1.0%；扣非净利润0.07亿元，同比+119.1%；综合毛利率为31.4%，同比+7.1pct。一季度并非公司通常的客户端收入集中确认时间、波动较大，收入增长符合预期，政府补助波动影响归母净利润。
　　新签订单增速持续快于收入，IC业务收入占比提升。22年公司新签订单41.3亿元，同比+52.5%；23Q1新签订单14.8亿元，同比+25.9%，充足的订单彰显业绩持续性。同时，22年公司集成电路领域收入占比同比提升15pct至40%，收入结构持续优化。
　　 Capex纵向延伸至零部件，新签订单放量。22年公司依托其电子工艺+生物制药的业务基础拓展泛半导体工艺模组与子系统业务，添补了国产化空白，并实现向华创、拓荆、中微、晶盛、迈为等客户批量供货。
　　Opex产能扩张持续，由“卖镐人”到“卖水人”。公司实施电子特气+大宗气双轮驱动布局，新项目扩产持续，铜陵电子特气、潍坊大宗气、合肥高纯氢气项目都在稳步推进实施并将于23H2逐步投产释放产能，Opex业务体系持续完善。
　　盈利预测与投资建议：预计公司2023-2025年实现归母净利润4.10/5.52/8.00亿元，EPS分别为1.49、2.01、2.91元/股。给予公司2023年35xPE，对应合理价值52.26元/股，维持“买入”评级。
　　风险提示：宏观环境风险，供应链风险，市场竞争加剧风险等