2022年营收再攀新高，维持“买入”评级
　　2023年4月17日，公司发布2022年年报，2022年实现营收17.06亿元，同比+125.02%；归母净利润3.69亿元，同比+438.09%；扣非净利润1.78亿元，同比+317.2%；毛利率49.27%，同比+5.26pcts；截止2022年末合同负债为13.97亿元，相比三季度末+51%；扣非净利率达10.44%，同比+21.26pcts，盈利能力持续提升。计算得2022Q4单季度实现营收7.14亿元，同比+85.92%，环比+52.47%；归母净利润1.31亿元，同比+1145.16%，环比+1.28%；扣非净利润0.66亿元，同比+212.52%，环比+5.92%。公司产品持续突破，在手订单充足，我们上调2023-2024年业绩预测并新增2025年业绩预测，预计2023-2025年归母净利润为5.38（+1.55）/7.76（+1.95）/11.05亿元，对应EPS为4.25（+1.22）/6.14（+1.54）/8.74元，当前股价对应PE为102.0/70.7/49.7倍，维持“买入”评级。
　　订单量稳定增长，产品持续升级提升市场占有率
　　公司持续拓展以PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD为主的薄膜系列产品工艺应用领域，获得逻辑芯片、存储芯片等领域现有客户重复订单及新客户订单。公司2022年签订销售订单金额为43.62亿元（不含Demo订单），新增订单同比+95.36%。截至2022年底公司在手销售订单金额为46.02亿元（不含Demo订单），为后续业绩的增长提供了有力保障。分产品看，PECVD方面，该系列产品在客户产线验证进展顺利，2022年实现该系列产品销售收入15.63亿元，同比+131.44%。公司PECVD订单量稳定增长，工艺覆盖率不断提升，市场占有率持续攀升，获得现有及新客户的批量订单和批量验收。ALD方面，PE-ALD设备已实现产业化应用，2022年实现该系列产品销售收入0.33亿元，同比+13.85%，Thermal-ALD设备已完成开发，已发货至客户端验证。SACVD方面，SACVD系列产品持续拓展应用领域，SATEOS、BPSG、SAF薄膜工艺设备在芯片制造领域均取得客户验收，实现该系列产品销售收入0.89亿元，同比+117.39%，SACVD系列产品不断扩大应用工艺覆盖度，提升市场占有率。
　　风险提示：下游景气度不及预期；技术研发不及预期；行业竞争加剧。