投资要点:
　　受益规模效应、新品量产等因素，2026H1归母净利润同比高增。2026H1公司实现收入29.13亿元，同比增长49.06%；实现归母净利润13.43亿元，同比增长1324.10%；实现扣非归母净利润3.67亿元，同比增长861.92%。2026H1公司PECVD系列设备不断扩大量产规模，尤其是应用于先进存储、先进逻辑等领域的PECVDStack（ONO叠层）、ACHM系列工艺等产品已进入规模化量产阶段，批量通过客户验证，同时OPN、SiB及PECVDBianca等产品不断扩大量产规模，并实现收入转化；公司ALD系列设备在先进存储领域量产规模快速攀升，多台PE-ALDSiO2、SiCO等工艺设备在客户端完成重复订单验证，并实现收入转化。2026H1公司归母净利润增速显著高于营收增速，主要原因：1）公司生产规模效应逐步释放，叠加新产品、新工艺设备已实现量产应用，有效降低产品单位生产成本，毛利率同比提升约9pct；2）业务规模化带动整体期间费用率同比有所下降；3）公司交易性金融资产产生的公允价值变动收益同比增加约9.60亿元。2026Q2公司实现收入18.00亿元，同比增长44.56%，环比增长61.85%；实现归母净利润7.72亿元，同比增长220.08%，环比增长35.32%；实现扣非归母净利润2.65亿元，同比增长21.42%，环比增长159.73%。
　　2026H1毛利率同比显著增长，控费能力优化。2026H1公司毛利率为41%，同比增长9.05pct，净利率为45.35%，同比增长41.14pct。2026Q2公司毛利率为40.58%，同比增长1.76pct，环比减少1.11pct，净利率为42.14%，同比增长23.35pct，环比减少8.40pct。2026H1公司期间费用率为27.45%，同比下降4.42pct。
　　盈利预测和投资评级
　　我们预计公司2026-2028年收入分别为91.31、133.38、180.30亿元，归母净利润分别为17.46、28.35、39.84亿元，对应PE分别为111、69、49倍。公司是薄膜沉积设备国产替代先锋，近年积极布局混合键合，打开长期发展空间，维持“买入”评级。
　　风险提示下游扩产不及预期；新品研制及客户拓展不及预期；市场竞争加剧风险；部分关键零部件依赖进口；研发布局与下游发展趋势不匹配；存货减值及应收账款等风险。