营收同比稳步提升，利润率环比显著修复。2026Q1，公司实现营收103.2亿元，同比+25.8%，环比-14.3%；归母净利润16.35亿元，同比+3.4%，环比+317.4%；扣非归母净利16.27亿元，同比+3.6%，环比+595.5%；毛利率为40.8%，同环比分别-2.2/+3.6pct，净利率为15.2%，同环比分别-3.9/+11.6pct。
　　持续加大研发投入，费用率同比略有提升。2026年第一季度，公司销售、管理、研发和财务费用率分别为4.1%/7.5%/13.6%/0.7%，同比分别+0.5/+1.7/+1.1/+0.2pct，环比分别-2.4/-5.4/-4.3/+0.03pct。
　　全链条平台化布局，构建差异化竞争优势。作为国内平台型设备商，公司构建了半导体装备、真空新能源装备、精密元器件等多位一体的业务矩阵，涵盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、电镀、键合等全系列产品，可为客户提供一站式工艺装备解决方案。2026年第一季度，公司集成电路装备领域刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、涂胶显影、键合等多款设备市占率稳步提升，工艺覆盖度实现增长，带动营收稳步提升。
　　盈利预测和投资评级：我们预计公司2026-2028年营收分别为502亿元、622亿元、765亿元，同比增速分别为27%、24%、23%，归母净利润分别为79亿元、110亿元、146亿元，同比增速分别为43%、40%、33%，对应当前市值的PE分别为51倍、36倍、27倍。公司是国产半导体设备龙头，我们维持“买入”评级。
　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期、新设备验证进度不及预期、行业竞争程度超预期、毛利率提升不及预期、海外上游零部件断供风险。