北方华创发布一季报，26Q1实现营收103.23亿元（yoy+25.80%，qoq-14.35%），归母净利16.35亿元（yoy+3.42%，qoq+317.40%），符合我们预期（103.06/16.0亿元）。收入增长源于多款设备工艺覆盖度及市场占有率持续提升。26Q1公司持续加大高端设备研发投入，研发费用达14.02亿元（yoy+36.64%），利润端受研发费用高增阶段性承压。2025年公司集成电路设备营收同比增长超50%，刻蚀及薄膜设备收入均突破100亿元，据Gartner 2025数据，公司在集成电路装备企业中排名中国第一、全球第六。展望2026，国内存储及先进制程扩产有望加速，公司刻蚀、薄膜、热处理、湿法、离子注入、涂胶显影、键合等多产品线发力，看好公司内生+外延带动持续成长，维持买入。
　　26Q1回顾：营收稳健增长，毛利率环比改善，研发费用影响净利润
　　26Q1公司实现营收103.23亿元（yoy+25.80%，qoq-14.35%），主要系公司集成电路装备领域刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法清洗、离子注入、涂胶显影、键合等多款设备工艺覆盖度及市场占有率增长。公司积极布局多款高端半导体设备研发，26Q1研发费用达14.02亿元（yoy+36.64%），对应费用率13.59%（yoy+1.08pct）。盈利能力方面，26Q1毛利率环比修复3.62pct至40.77%，归母净利16.35亿元（yoy+3.42%，qoq+ 317.40%），增幅低于收入主要系研发费用影响。经营活动现金流净额7.48亿元（yoy+143.27%），体现报告期内公司产品交付良好、客户回款顺利。
　　刻蚀、薄膜、热处理、湿法设备收入高增，核心竞争力凸显
　　公司刻蚀、薄膜、热处理、湿法设备收入高增，1)刻蚀布局ICP、CCP、干法去胶、高选择性刻蚀、Bevel刻蚀和IBE刻蚀等，25年刻蚀收入超100亿元。2)薄膜沉积设备布局了物理气相沉积、化学气相沉积、外延、原子层沉积、电镀和金属有机化学气相沉积设备，25年薄膜沉积设备收入超100亿元。3)公司形成了管式氧化设备、管式退火设备和快速热处理设备的全系列布局；4)公司已形成了单片设备、槽式设备全面布局，并购芯源微丰富物理刷洗和单片清洗布局；5）公司已推出12英寸浸没式离子注入设备等多款产品；6）公司并购芯源微切入涂胶显影领域，产品矩阵进一步完善。
　　平台化优势竞争力强，内生及外延加快新产品布局
　　SEMI预计2026-2028年全球300mm晶圆厂设备支出将持续增长，中国大陆继续引领市场，展望2026年，国内先进制程与存储扩产有望加速，华创作为龙头仍将持续核心受益。公司离子注入、电镀、键合等高端设备顺利落地，公司于2026年3月正式发布12英寸晶圆对晶圆混合键合设备、12英寸芯片对晶圆混合键合设备。外延并购方面，公司完成对芯源微的并购整合，切入涂胶显影领域，产品矩阵进一步完善；此外公司完成对成都国泰真空的收购，补全了公司在高端光学镀膜设备赛道的产品矩阵。
　　盈利预测与估值
　　我们维持公司26-28年收入预测497.9/609.9/734.0亿元，对应公司26-28年归母净利润至70.9/100.5/127.7亿元。下游晶圆厂扩产拉动设备行业高景气，近期板块估值整体上调，我们看好公司平台化布局以及业绩增长稳健性，基于可比公司62.1倍2026年PE给予目标价607.34元（前值：518.34元，对应53倍2026年PE），维持买入。
　　风险提示：全球半导体下行周期，设备需求不及预期，行业竞争加剧。