投资要点
　　事件：公司发布2025年报及2026年一季报。
　　半导体设备收入持续增长，光伏设备收入利润承压
　　2025年公司实现营收26.3亿元，同比-2%，归母净利润2.2亿元，同比-3%，毛利率32.7%，同比-7.3pct，净利率8.3%，同比-0.1pct。分业务看，光伏设备营收15.9亿元，同比-31%，毛利率37.3%，同比-3.4pct；半导体设备营收8.8亿元（营收占比提升至34%），同比+169%，毛利率18.5%，同比-9.2pct。公司利润下滑主要系1）光伏设备验收数量减少，导致整体营收小幅下降；2）产品结构变动、新建产能导致折旧摊销增加、叠加光伏相关项目计提资产减值损失；3）为推进半导体业务的发展并保持在新一代光伏电池技术的领先优势，继续保持高研发投入。
　　2026Q1公司实现营收4.82亿元，同比-5.5%，归母净利2102万元，同比-75%，扣非归母净利2208万元，同比-73%，毛利率32.8%，同比-3.3pct，环比-0.5pct，净利率4.4%，同比-12.1pct，环比+7.6pct，研发投入大幅增长至1.17亿元，同比增长73%。2026Q1净利润大幅下滑主要系光伏设备收入下滑31%、研发投入大幅增长73%、债务重组损失1092万元、折旧摊销及汇兑损失增加所致。
　　半导体设备：ALD全面覆盖先进工艺，高端CVD实现关键工艺量产
　　1）ALD设备：公司是国内领先的ALD设备公司，产品涵盖行业主流ALD薄膜材料及工艺。2025年，公司多款ALD和CVD设备获得重点客户验证和量产导入，核心产品High？k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与新技术市场渗透率稳步提升。公司持续拓展技术覆盖面，陆续研发和推出HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3DNAND、3DDRAM、TSV技术等工艺解决方案，可覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体和新型显示中ALD技术的主要应用场景。
　　2）CVD设备：①PECVD设备：发展思路为从高端材料到通用材料，逐步打开市场。在高端材料领域，公司从高温硬掩模PECVD设备出发，已获得客户验证并形成批量订单，未来目标是覆盖全温阈、全工艺（各类化学源）、全应用（逻辑、DRAM、3DNAND）的碳薄膜领域。在通用膜层材料领域，公司已研发SiO2、SiN、SiON、a-Si等通用膜层PECVD设备，已通过多家客户的产品性能测试，目前处于测试阶段。②LPCVD设备：LPCVD设备已覆盖SiGe、polySi、doped a-Si工艺，已经产业化验证并取得重复订单。
　　光伏设备：ALD设备龙头，持续研发、加速出海
　　公司是国内光伏ALD设备龙头，技术方案覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿等高效电池技术。目前光伏行业经历全面过剩到结构性修复收缩的调整阶段，阶段性供需错配矛盾仍未完全化解，产业链盈利压力对设备验收节奏形成一定影响，导致公司订单及营收形成压力。公司持续开展前瞻性技术布局，加速出海战略，长期受益于光伏技术迭代。
　　新兴领域：持续拓展薄膜沉积设备多领域应用，打造新增长极
　　公司已在固态电池、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进行深耕布局。受益于固态电池、柔性电子等市场需求增加和技术迭代升级，新兴领域高端薄膜沉积技术的应用前景广阔。
　　盈利预测：预计2026-2028年营收30、39、52亿元，同比增长14%、28%、35%，归母净利润3.1、4.1、6.8亿元，同比增长42%、33%、65%，对应2026年4月29日PE 108、82、49倍，维持“买入”评级。
　　风险提示：光伏应收账款坏账风险、新品验证不及预期风险、市场竞争加剧风险