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>> 兴业证券-电子行业跟踪报告:CBA+4F2 DRAM有望打开半导体制造&设备成长空间-250928
上传日期:   2025/9/28 大小:   1363KB
格式:   pdf  共12页 来源:   兴业证券
评级:   推荐 作者:   姚康,胡园园,刘培锐
行业名称:   电子
下载权限:   此报告为加密报告
投资要点:
  DRAM作为现代计算系统的存储器,其重要性不言而喻。但受限于电容物理特性,过去十年密度提升速度较慢,平面微缩难以进展。同时,AI算力爆发推动内存需求,HBM其成本达DDR5的3倍以上,HBM在NVIDIAH100/Blackwell的成本中占比超50%/60%。为突破成本与性能瓶颈,DRAM行业内聚焦4F2垂直晶体管架构(提升平面微缩密度)与CMOSBonding技术(优化存储阵列面积)等新技术。
  4F2 DRAM: 4F2架构通过垂直沟道晶体管实现单元面积的进一步缩减,其核心创新在于将源极、栅极及漏极结构由平面布局转为垂直堆叠。具体而言,下层源极直接连接位线,中间栅极与字线相连,上层漏极则与电容器集成,该设计有效降低了电气干扰。4F2技术可使单元面积缩小,同时兼具高速与低功耗特性。东京电子预测,基于垂直沟道晶体管(VCT)与4F2架构的DRAM产品将于2027至2028年间实现商业化落地。国内厂商长鑫存储2023年也发表了相关4F2 DRAM的专利。
  CBA技术:据YOLE数据,DRAM未来有望采用4F2+CBA技术混合方案。行业在4F2单元架构实现平面结构微缩的基础上,目前同步发展出CMOS键合阵列(CBA)技术方案。该技术通过分离式制造工艺,将外围电路与存储阵列分别置于独立晶圆完成加工,随后通过混合键合工艺实现集成。通过将CMOS电路转移至专用Logic晶圆,CBA架构有效释放了存储阵列的平面空间资源,为存储密度的持续提升提供了新的技术路径。YOLE预计4F2+CBA技术相结合的方案将于2028年实现应用,届时头部DRAM制造商将通过4F2+CBA技术组合,在存储密度与性能指标上实现突破性提升。
  之前国际市场上主流的3DNAND主要分为传统并列式架构和CuA(CMOS under Array)架构,国内长江存储通过Xtacking架构,在3DNAND上走出独特的技术特点。依靠Xtacking技术在3DNAND上优势,长江存储在全球NAND的份额正在逐步提高,据锐芯闻援引的Techinsights数据,其份额在2025Q1达到了6%,其NAND层数也达到国际领先水平。未来DRAM技术发展路径或将借鉴NAND闪存的3D技术演进模,国内厂商有望通过类似长存Xtacking的创新技术方案,在DRAM领域实现突破。
  投资建议:随着CBA架构的兴起,需要在CMOS晶圆上集成HKMG和FinFET等先进逻辑电路,所以对于Logic芯片的代工需求也随之提升。随着存储厂商技术的不断发展,其有望采用的CBA架构的需求将会给国内代工厂带来新的机遇和发展。建议关注:晶合集成、中芯国际、华虹公司;CBA架构需要混合键合。在DRAM领域,相较于融合键合,混合键合在W2W领域具备工艺复杂度低,成本更低的优势,故对于众多DRAM制造商来说,混合键合是4F2 DRAM+CBA方案的首选,适合高密度制造需求。随着国内DRAM厂商的不断发展,将会给国内半导体设备厂商带来新的需求。建议关注:拓荆科技。
  风险提示:技术发展不及预期,资本开支不及预期,终端需求不及预期。
  
 
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