应变片为应变式力传感器核心部件，可分为金属和半导体两类
　　常见的扭矩和六维力传感器多为电阻应变式原理，其通常由弹性体和应变片构成。应变片在受到弹性体传递的外力作用时产生形变导致电阻变化，最终传感器通过校准和线性化将电信号转换为实际扭矩值。作为核心零部件的应变片可分为金属式和半导体式两类。金属式可分为丝式、箔式和金属膜式，原理是基于应变效应下金属电阻值的变化。半导体式可分为薄膜式、扩散式和外延式，原理是基于压阻效应下半导体材料电阻率的变化。半导体应变片的精度、灵敏度高于金属应变片，MEMS工艺下半导体应变片可实现高精度和低成本并存。
　　应变式力传感器最为常见，MEMS助力半导体应变片实现高精度低成本
　　力传感器中电阻应变式最为常见。应变式扭矩传感器和六维力传感器主要由弹性体和应变片构成。弹性体通常是一个柔性金属组件（如弹性杆），连接在输入轴和输出轴之间，应变片则固定在弹性体上。当外力施加到输入轴上时，弹性体发生形变，应变片随之形变，电阻值发生变化。最终通过校准和线性化，可以将传感器输出的电信号转换为实际的扭矩值。应变片可分为金属式和半导体式两类，半导体应变片的精度、灵敏度高于金属应变片，并且采用MEMS工艺制造的半导体应变片可实现高精度和低成本，但其本身存在温度稳定性差、大应力下非线性误差大、机械强度低等缺点。
　　金属应变片：可分为丝式/箔式/膜式，原理基于应变效应下的电阻变化
　　金属应变片基于金属应变效应测量受力，应变效应指材料在受到外力时发生形变，对应的电阻发生变化的情况。为了测量应变力，金属会被绕成栅状（敏感栅），因此可分为丝式、箔式和金属膜式应变片。金属丝式用0.01-0.05mm的金属丝做敏感栅，优点是价格便宜，缺点是蠕变较大，金属丝易脱落；金属箔式是利用照相制版或光刻技术，将厚约为0.003-0.01mm的金属箔片制成敏感栅，优点是接触面积大散热好，蠕变小，目前被广泛使用；金属薄膜式采用真空蒸发或真空沉积等方法，在绝缘基底上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻薄膜，优点是灵敏度高，电流密度大，工作温度范围广。
　　半导体应变片：可分为薄膜/扩散/外延式，原理基于压阻下的电阻率变化
　　半导体应变片利用压阻效应测量受力，压阻效应指的是材料在外力作用下电阻率产生变化，导致电阻发生变化的情况。半导体应变片可分为薄膜式、扩散式和外延式。薄膜式将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上或蓝宝石上，通过改变沉积时衬底温度来控制沉积层电阻率，优点是能制造出各种温度自补偿薄膜应变片；扩散式将P型杂质扩散到高电阻N型硅基底上，形成一层极薄的P型导电层，优点是稳定性好，机械滞后和蠕变小，电阻温度系数小，缺点是由于存在P-N结，高温时绝缘电阻大大下降；外延式在多晶硅或蓝宝石的衬底上外延一层单晶硅，优点是工作温度可达300℃以上。
　　风险提示：力传感器技术变更、半导体应变片降本不及预期、半导体应变片量产不及预期。