投资要点：
　　投资建议：公司公告拟推出2023年限制性股票激励计划，激励对象共计1,283人，授予价格为100元/股。本激励计划授予的限制性股票的公司层面的业绩考核目标为以2022年净利润为基，23-25年净利润增长率不低于60%/120%/180%。考虑到股权激励目标及23-26年预计摊销费用分别为0.16/0.31/0.15/0.05亿元，调整23-25年EPS为7.28/10.05/13.29(+0.03/-0.1/-0.09)元，维持目标价227.05元，对应公司2023年25.9倍PE，增持。
　　下游组件端扩产加速，核心产品订单提升且保持快速增长。1）串焊机、划片机：2022H2至今披露订单金额共22.23亿元。2）单晶炉：2022至2023Q1大尺寸单晶炉新单超18.6亿元，拓展天合/Adani/中成榆/晶品等新客户，产品广受下游认可。
　　布局晶圆制造多个环节，逐渐形成长期业绩增长曲线。1）晶圆制造环节：持股立朵科技70%，立朵科技主要产品为晶圆端划片机。2）封装测试环节：募投在研装片机；铝线键合机获通富微电、华润安盛、杰群电子等知名客户的小批量订单，市场反馈积极；检测端募投先进封装AOI光学检测设备在研。4）抛光环节：拟成立合资公司，开展CMP设备相关业务。
　　募投项目助推公司成为平台化高端智能装备供应商，形成长期业绩增长曲线。公司拟募投11.4亿资金建设“平台化高端智能装备智慧工厂”项目，项目以丝网印刷整线、储能PACK线等为重点，此项目有助于加强对光伏电池片、锂电池、半导体封装测试等领域设备的产能建设投入。
　　风险提示：募投项目实施后效益不及预期、项目研发失败风险