半导体刻蚀机持续突破，加大布局薄膜与量测设备
　　我们将中微公司23-24年归母净利润上调至15.1/19.9亿元（前值为13.5/16.9亿元），并新增2025年盈利预测，预计2025年归母净利润为25.6亿元。上调盈利预测主要考虑到：1）公司在手订单充裕，刻蚀机市场份额不断提升；2）公司薄膜沉积、量测设备等平台化布局顺利，打开长期成长空间。由于半导体设备厂家利润逐渐兑现，摆脱了依赖高额政府补助补贴研发的阶段，因此我们改用PE估值，23年可比公司PE为77倍，给予公司23年77倍PE，对应目标价188.05元（前值为169.09元），维持“增持”。
　　2024年半导体设备市场规模有望回升，关注半导体去库存节奏
　　美国加州时间2023年6月6日，SEMI在其发布的《全球半导体设备市场报告》中宣布，2023Q1全球半导体设备出货金额达268亿美元，同比+9%，环比-3%。根据SEMI 23年3月预测显示，全球用于前端设施的晶圆厂设备支出预计将从2022年980亿美元同比下降22%至2023年的760亿美元。但2024年，将同比增长21%。2023年设备市场萎缩主要系除AI等场景外终端需求乏力以及较高的库存导致。随着下游去库存推进，24年半导体设备市场有望恢复增长。
　　半导体设备国产率仍有空间，受管制环节有望迎来突破
　　根据中国国际招标网显示的半导体设备中标数据推算，截至2023年4月，国内部分晶圆厂设备累计国产化率约为16.7%，仍有较大提升空间。随着日本、美国等国家对中国的半导体设备出口管制升温，10nm-14nm及以下先进逻辑半导体所需设备，包括清洗、薄膜沉积、热处理、光刻、刻蚀、测试等设备国产替代诉求继续加强，有望推动相关环节本土设备商产品加速验证，并取得订单。
　　公司刻蚀设备市占率持续提升，薄膜沉积及量测领域平台化进展顺利
　　2022年公司刻蚀设备收入31.5亿元，同比+57.1%，MOCVD收入7.0亿元，同比+39.1%，新签订单63.2亿元，同比+53.0%；2023Q1公司收入12.23亿元，同比+28.9%，保持稳健增长。公司CCP刻蚀机在国际最先进的5纳米芯片产线及下一代更先进的产线上实现多次批量销售；ICP刻蚀机订单进展迅速；薄膜沉积方面，公司积极研发EPI设备，并于近日推出12英寸LPCVD设备。此外，公司于5月17日与国家集成电路产业投资基金签署关于睿励科学的产权交易合同，以5790万元获睿励科学6.76%股权。在巩固刻蚀设备优势同时，强化薄膜沉积与量测布局。
　　风险提示：半导体复苏低预期，新产品研发不及预期，国外技术管制风险。