>> 方正证券-中微公司(688012)12英寸LPCVD新突破,三维发展战略新动能-230510
| 上传日期: |
2023/5/11 |
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pdf 共3页 |
来源: |
方正证券 |
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推荐 |
作者: |
吴文吉 |
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事件:中微公司推出12英寸LPCVDPreforma UniflexCW。 自主研发12英寸LPCVD新品,产出效率高且性能卓越。1)自主研发:Preforma UniflexCW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台,具有优秀的薄膜均一性、填充能力及工艺调节灵活性,对于弯曲度较大的晶圆亦具备良好的工艺处理能力。2)支持接触孔及金属钨线的填充:在可预见的2nm及更高节点,钨接触孔依然是最有竞争力的解决方案。该款LPCVD设备凭借优异的阶梯覆盖率和填充能力,可满足先进逻辑器件、DRAM和3DNAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。3)高效率:Preforma UniflexCW可灵活配置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),每个反应腔可以同时加工两片晶圆。4)彰显高效研发属性:该款LPCVD设备从研发立项以来,公司仅用不到半年时间完成产品设计、生产样机开发以及实验室评价,目前已顺利导入客户端进行生产线核准。 三维发展扬帆起航。在等离子体刻蚀设备和MOCVD设备的基础上,LPCVD新产品进一步赋能公司业务的多元化增长,也增强了半导体设备的自主可控性。公司将继续瞄准世界科技前沿,持续践行三维发展战略,深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。 盈利预测:我们预计公司2023-2025年营业收入62.03/79.21/100.21亿元,归母净利润14.35/17.88/21.96亿元,维持“推荐”评级。 风险提示:(1)下游扩产不及预期;(2)产品研发不及预期;(3)贸易争端影响上游供应与客户拓展。
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