事件概述：
　　公司发布23Q1季报，单季收入12.23亿元，YoY+29%；归母净利为2.75亿元，YoY+135%——主要系22Q1公司有较大的负投资收益、基数较低；扣非净利在2.28亿元，YoY+22%。23Q1主要非经项目为政府补助0.37亿元。
　　23Q1毛利率为45.87%，YoY+0.4pcts；扣非净利率为18.64%，YoY-0.96pcts——主要系22Q1公司利息收入较多。
　　刻蚀设备市占率不断提高，MOCVD快速放量
　　23Q1公司刻蚀设备市占率不断提升，单季收入为8.14亿元，YoY+14%，营收比重因MOCVD高增从22Q1的75%降至67%。公司MOCVD设备领先优势持续巩固，单季实现收入1.67亿元，YoY+300%，营收占比从22Q1的4%提升至14%。
　　 CCP和ICP工艺齐升级，先进逻辑&3DNAND空间进一步打开
　　1）CCP：已进入2D和3D存储产线。大马士革（28nm及以下逻辑）和高深宽比（存储）工艺攻关，取得良好进展。中微2021年进行60:1高深比设备研发，有望在未来存储扩产中发挥至关重要作用。2）ICP：工艺覆盖超100个环节，在先进封装、2.5D封装和MCU领域获得批量重复订单。2022年公司在单台机Nanov SE的基础上，推出高深宽比结构刻蚀的Nanova VE和高均匀性刻蚀的Nanova UE两种ICP设备，丰富了ICP产品种类。
　　内升+外延打造高端装备平台企业
　　1）内升：公司开发的钨CVD具备优秀的阶梯覆盖率和填充能力，能够满足先进逻辑器件、64/128层3DNAND中多个关键应用，正在开发的ALD钨设备，已和关键客户开始对接验证，用于高端存储和逻辑器件的ALD氮化钛设备也在稳步推进，进入实验室测试阶段。此外，公司正筹划更先进制程的薄膜设备。2）外延：2022年公司对睿励增资1.08亿元，并0.43亿元受让睿励老股东股权。睿励12寸量测已进入至28nm及以上制程产线，14nm验证中，并支持64层3DNAND生产、96层工艺验证中。
　　投资建议
　　我们维持公司2023/24/25年归母净利预测为14/18/22亿元不变，对应PE为81/62/50倍，考虑到公司作为国内刻蚀、MOCVD设备领军企业之一，技术实力国内领先，维持“买入”评级。
　　风险提示
　　行业景气不及预期，研发进展不及预期，客户处产品验证不及预期。