投资要点：
　　维持“增持”评级，维持目标价372.74元。公司为国内半导体设备平台化龙头，不断增大研发的投入，客户覆盖率不断上升，考虑到Q1业绩超预期，上调2023-2025年营收为200.0/273.3/345.4亿元（原预测值2023-2024年198.89/249.6亿元）。考虑到半导体设备国产化率持续提升，给予2024年7倍PS，维持目标价372.74元。
　　在手订单饱满，盈利能力有望进一步提升。1Q23公司实现营收38.71亿元，YOY+81.26%；归母净利润5.92亿元，YOY+186.58%，盈利水平显著提升。公司合同负债和存货分别为78.22和150.12亿元，分别同比增长+54%和+55%，均表明在手订单充足。
　　国产半导体设备平台化龙头，产品不断进行革新。公司重视研发，不断提升产品覆盖度和产品渗透度，在刻蚀设备、薄膜设备、立式炉装备、外延装备、清洗装备、卧式炉管设备等多个产品领域实现主流客户覆盖，累计出货量不断提升。公司下游客户为半导体及泛半导体龙头公司，客户粘性较高，具有较强的议价能力和壁垒，盈利能力较为稳定。
　　受半导体设备国产化提速影响，平台化龙头充分收益。受外部制裁影响，国产设备需求不断提升。作为平台化龙头在国内客户设备验证意愿强烈的背景下有望实现快速增长，盈利能力进一步增强。
　　风险提示：产品验证不及预期；半导体国产化不及预期。