一季度收入确认较少，营收利润相对承压。公司2022年实现营业收入6.8亿元，同比+60.0%；实现归母净利润0.5亿元，同比+17.4%。23Q1实现营收0.8亿元，同比-43%，环比-75%；实现归母净利润-0.01亿元，同比-142%，环比-102%。23Q1公司营收明显下降，而研发费用相对刚性，导致净利润出现微亏。营收下降的主要原因是公司的专用设备产品从发货到验收周期较长（一般6-14个月），而2022年上半年受到江浙沪地区疫情影响，因此公司2022年的设备产品发货交付主要集中在下半年，导致23Q1确认收入较少。
　　行业TOPCon技术率先放量，公司光伏设备销量大幅提升。经过2022年部分组件商、电池商的先驱探索，N型TOPCon技术的经济性已得到充分验证。目前N型TOPCon正面氧化铝钝化膜基本全部采用ALD技术，微导纳米在该环节竞争优势明显。公司2022年光伏设备销售102台，同比增加76%；光伏设备实现营业收入5.0亿元，同比增加82%。在P型电池转换效率接近天花板的背景下，降本增效需求将进一步驱动光伏电池技术的迭代，TOPCon产能有望呈现加速扩张趋势，公司有望充分受益。
　　半导体设备进展顺利。半导体领域内，公司加速了各细分领域的产品研发、产业验证和应用，实现多项ALD、CVD技术产业化的突破，在保持ALD产品市场竞争力的同时，不断推出更多具备竞争力的CVD系列产品。半导体设备半导体设备销售6台，同比提升500%。半导体设备实现营业收入0.47亿元，同比增长86%。
　　在手订单充裕，后续增长可期。截止2022年12月底，公司在手专用设备订单22.9亿元，其中光伏设备订单19.7亿元，半导体设备订单2.6亿元，其他设备订单0.69亿元。2023年1-4月，公司新增专用设备订单22.7亿元。公司在手订单充裕，保障后续销售规模和经营业绩持续快速增长。
　　风险提示：光伏电池技术迭代风险，公司产品拓展不及预期，光伏设备行业竞争加剧等。
　　投资建议：维持盈利预测。我们预计23-25年公司实现归母净利润1.57/2.54/3.31亿元，同比增速189%/62%/31%，对应5月12日收盘价的动态PE为126.8/78.2/60.0x