事件：
　　 4月21日，公司发布2023年一季度报告，实现营收4.02亿元，同比增加274.24%，归母净利润0.54亿元，同比增加552.25%。
　　点评：
　　营收大幅增长，利润高速释放。公司2022年实现营收17.06亿元，同比增加125.02%，归母净利润3.69亿元，同比增加438.09%，扣非归母净利润1.78亿元，同比大幅扭亏。受2021年国内晶圆厂大幅扩产影响，因销售收入滞后，公司2022年营收大幅增长，利润快速释放。22Q4实现营收7.14亿元，同比增加85.92%，归母净利润1.31亿元，同比增加1145.16%，单季度业绩再创新高。受益于公司产品结构改善，公司毛利率为49.27%，同比增加5.26pct。受公司营收增加，规模效应下期间费用率下降影响，净利率大幅增加12.52pct达到21.35%。
　　分业务看，PECVD和SACVD产品营收快速增长。公司2022年PECVD产品营收15.63亿元，同比增加131.44%；ALD设备营收3258.67万元，同比增加13.85%，同时Thermal-ALD研发成功并送样；SACVD营收8947.62万元，同比增加117.39%。
　　在手订单大幅增长，业绩增长确定性高。公司2021年新签订单22.33亿元，2022年实现营收17.06亿元，2022年新签订单43.62亿元，同比增长95.36%，为后续业绩增长奠定基础。
　　积极研发投入，不断推出新产品扩充产品线。公司保持较高水平的研发投入，研发投入金额达到3.79亿元，同比增加31.37%，研发投入占比达22.21%。公司基于原有的产品体系，不断推出新产品，并取得突破性进展：紫外线固化设备、HDPCVD设备通过验证并实现销售收入；PE-ALD设备验证顺利，ThermalALD研发成功并送样；晶圆对晶圆键合产品送样并取得突破性进展，芯片对晶圆键合表面预处理产品研发成功并送样。公司产品线不断扩充，有望实现“卡脖子”环节的突破，推动半导体设备国产化进程，打开公司业绩增长空间。
　　维持“买入”评级。我们看好公司在薄膜沉积领域持续深耕，同时扩产产品线，在国产替代的背景下实现业绩高增。预计公司2023-2025年营收分别为28.13/39.31/55.92亿元，归母净利润分别为5.15/8.06/11.18亿元。
　　风险提示：下游需求不及预期，盈利与估值不及预期，新产品推广不及预期